JP7374815B2

JP7374815B2 - 検査方法

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Publication number: JP7374815B2
Application number: JP2020036726A
Authority: JP
Inventors: 信次小林; 尚人田岡; 麻耶尾崎; 里恵曽我部
Original assignee: Sumitomo Chemical Co Ltd
Current assignee: Sumitomo Chemical Co Ltd
Priority date: 2020-03-04
Filing date: 2020-03-04
Publication date: 2023-11-07
Anticipated expiration: 2040-03-04
Also published as: TW202134636A; WO2021176797A1; JP2021139999A

Description

本発明は、検査方法に関する。

位相差膜は、直線偏光を円偏光や楕円偏光に変換したり、逆に円偏光や楕円偏光を直線偏光に変換したりできることから、この位相差膜と直線偏光板とを組み合わせた（楕）円偏光板が、有機ＥＬ表示装置や反射型液晶表示装置に適用されている。位相差膜の中でも重合性液晶化合物を配向及び硬化させることで得られる位相差膜は極めて薄膜のものとなることから、薄型の表示装置を製造するうえで注目されてきている（例えば、特許文献１参照）。

製造した（楕）円偏光板は、製品として出荷する前にその欠陥の有無を検査できることも重要である。一般に光学フィルムの検査方法としては、被検査物とした光学フィルムに対して検査光を照射して、暗黒モード又は白色モードにて輝点欠陥又は暗点欠陥として検出することが行われる（例えば、特許文献２参照）。

特開２００６－５８５４６号公報特開２０１５－１３８０３１号公報

特許文献２の検査方法では複数種の波長の光（複数の光源）を用いる必要がある。また、欠陥部分は実際には正常部分との透過光量の差が小さく、自動検出を確実に行える程にはその差は大きくない。そこで本発明は、位相差膜の欠陥の有無を判断する検査方法であって、単一の波長を用い、かつ、正常部分と欠陥部分とにおいて検査光の透過光量の差を大きくすることができる検査方法を提供することを目的とする。

本発明は、第１の偏光板と、第１の偏光板の片面に形成された重合性液晶化合物の硬化物からなる第１の位相差膜とを備えるフィルム状の被検査物に検査光を入射して第１の位相差膜の欠陥の有無を判断する検査方法であって、被検査物、及び、第２の偏光板と第２の偏光板の片面に形成された第２の位相差膜とを備える位相差フィルタを、被検査物の第１の位相差膜側が位相差フィルタ側を向くように、かつ、位相差フィルタの第２の位相差膜側が被検査物側を向くように、かつ、第１の位相差膜の遅相軸と第２の位相差膜の遅相軸とのなす角度が、検査光の光軸方向から見た場合に１０°～８０°となるように配置し、第１の位相差膜の波長５５０ｎｍにおける面内位相差値と、第２の位相差膜の波長５５０ｎｍにおける面内位相差値とは互いに略同一であり、検査光は、強度ピークの半値幅が３０ｎｍ以下であり、かつ、波長５００～６００ｎｍの範囲内で被検査物及び位相差フィルタの透過光量が最小となる波長の光であり、被検査物の第１の偏光板側又は位相差フィルタの第２の偏光板側のいずれか一方側から、光軸が被検査物上の所定の検査領域を通過するように検査光を入射し、その他方側から第２の偏光板又は第１の偏光板を観察する、検査方法を提供する。

この検査方法では、検査光として、被検査物及び位相差フィルタの透過光量が最小となる波長の光を用いる。正常部分の透過光量が最小となる波長では、第１の位相差膜のうち位相差値が所望の値とずれている部分（欠陥部分）の透過光量が大きくなりやすく、特に、波長が５００～６００ｎｍの範囲の波長である場合は、欠陥部分の位相差値が正常部分の位相差値よりも大きくなるようにずれている場合でも、小さくなるようにずれている場合でも、正常部分よりも透過光量が大きくなるので、欠陥として検出しやすい。また、強度ピークの半値幅が３０ｎｍ以下である光を検査光として用いることから、正常部分と欠陥部分とのコントラスト比が高くなり、欠陥部分を輝度の違いとして認識することが容易となる。

本発明では、検査を行う前に、第１の偏光板と同一構成である第３の偏光板と、第３の偏光板の片面に形成された第１の位相差膜と同一構成である第３の位相差膜とを備えるフィルム状の試験片を用意し、試験片、及び、位相差フィルタを、試験片の第３の位相差膜側が位相差フィルタ側を向くように、かつ、位相差フィルタの第２の位相差膜側が試験片側を向くように、かつ、第３の位相差膜の遅相軸と第２の位相差膜の遅相軸とのなす角度が、検査光の光軸方向から見た場合に９０°以外の角度となるように配置し、試験片の第３の偏光板側又は位相差フィルタの第２の偏光板側のいずれか一方側から、光軸が試験片上の欠陥のない領域を通過するように、様々な波長の光を入射し、その他方側から第２の偏光板又は第１の偏光板を観察し、透過光量が最小となる波長を求め、その波長の光を検査光として採用することを決定することが好ましい。

本発明の欠陥検査では、検査対象である第１の位相差膜のうち、所望の位相差値から位相差値がずれている部分（欠陥部分）を見出すために、欠陥部分の透過光量が少しでも大きくなる波長の光を用いることが望ましい。したがって、検査に先立って最適な波長を見出し、これを検査光として採用することを決定することが好ましい。その波長を見出す過程において、第２の位相差膜の遅相軸と第３の位相差膜の遅相軸（＝後の第１の位相差膜７Ａの遅相軸）とのなす角度を上記の角度とすると、波長の変化度合いに対する透過光量の変化量が大きく、欠陥検査に有用な波長を見出しやすい。

本発明によれば、位相差膜の欠陥の有無を判断する検査方法であって、単一の波長を用い、かつ、正常部分と欠陥部分とにおいて検査光の透過光量の差を大きくすることができる検査方法を提供することができる。

本実施形態の検査方法のうち、欠陥検査工程における各部材の配置を示す図である。本実施形態の検査方法のうち、光源波長選定工程における各部材の配置を示す図である。（Ａ）は、試験片における第３の位相差膜の遅相軸と、位相差フィルタにおける第２の位相差膜の遅相軸との関係を示す図である。（Ｂ）は、（Ａ）を光軸側から見た図である。（Ａ）は、被検査物における第１の位相差膜の遅相軸と、位相差フィルタにおける第２の位相差膜の遅相軸との関係を示す図である。（Ｂ）は、（Ａ）を光軸側から見た図である。他の実施形態の欠陥検査工程における各部材の配置を示す図である。

以下、本発明の好適な実施形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。なお、各図において同一部分又は相当部分には同一符号を付し、重複する説明は省略する。

＜用語および記号の定義＞
本明細書における用語および記号の定義は下記のとおりである。
（１）屈折率（ｎｘ、ｎｙ、ｎｚ）
「ｎｘ」は面内の屈折率が最大となる方向（すなわち、遅相軸方向）の屈折率であり、「ｎｙ」は面内で遅相軸と直交する方向、「ｎｚ」は厚み方向の屈折率である。
（２）面内位相差値
面内位相差値（Ｒｅ（λ））は、２３℃、波長λ（ｎｍ）におけるフィルムの面内の位相差値をいう。Ｒｅ（λ）は、フィルムの厚みをｄ（ｎｍ）としたとき、Ｒｅ（λ）＝（ｎｘ－ｎｙ）×ｄによって求められる。
（３）厚み方向の位相差値
厚み方向の位相差値（Ｒｔｈ（λ））は、２３℃、波長λ（ｎｍ）におけるフィルムの厚み方向の位相差値をいう。Ｒｔｈ（λ）は、フィルムの厚みをｄ（ｎｍ）としたとき、Ｒｔｈ（λ）＝（（ｎｘ＋ｎｙ）／２－ｎｚ）×ｄによって求められる。

＜検査装置と被検査物＞
本実施形態の検査装置は、位相差膜の表面欠陥の有無を検査するものである。図１に示されているとおり、検査装置１Ａは、光源２、位相差フィルタ４、及び、カメラ（検出手段）６がこの順に配置されてなるものである。検査装置１Ａは、光源２と位相差フィルタ４との間に、検査対象である被検査物１０を配置する場所が用意されており、図１では、被検査物１０をそこに配置した様子を描いている。

はじめに、検査対象であるフィルム状の被検査物１０について説明する。被検査物１０は長尺の円偏光板（位相差板）であり、第１の偏光板３Ａと、検査対象の本体である第１の位相差膜７Ａとが積層されて成るものである。ここで、第１の偏光板３Ａの吸収軸と第１の位相差膜７Ａの遅相軸とは互いに４５°となるように両者は貼合されている。なお、本明細書において「円偏光板」とは、円偏光板及び楕円偏光板を含むものとする。また、「円偏光」は、円偏光と楕円偏光を含むものとする。

第１の位相差膜７Ａは、例えばλ／４板である。本実施形態において、第１の位相差膜７Ａは、重合性液晶化合物の硬化物からなる。重合性液晶化合物の硬化物からなる第１の位相差膜７Ａは、通常厚みが０．２μｍ～１０μｍ程度と薄く、異物等を含む場合にその部分で位相差値が低下しやすい。

第１の位相差膜７Ａを形成し得る重合性液晶化合物は、例えば、特開２００９－１７３８９３号公報、特開２０１０－３１２２３号公報、ＷＯ２０１２／１４７９０４号公報、ＷＯ２０１４／１０３２５号公報及びＷＯ２０１７－４３４３８号公報に開示されたものを挙げることができる。これらの公報に記載の重合性液晶化合物は、広い波長域において一様の偏光変換が可能な、いわゆる逆波長分散性を有する位相差膜を形成可能である。

第１の位相差膜７Ａの形成方法としては、当該重合性液晶化合物を含む溶液（重合性液晶化合物溶液；液状組成物）を基材フィルム上に塗布（塗工）して塗工膜をつくり、これを光重合させることで、上述のように極めて薄いものを形成することができる。かかる基材フィルムには、重合性液晶化合物を配向させるために配向膜が設けられていてもよい。配向膜は偏光照射により光配向させるものや、ラビング処理により機械的に配向させたもののいずれでもよい。なお、かかる配向膜の具体例としては、上記公報に記載されているものを用いることができる。このようにして形成した第１の位相差膜７Ａは、第１の偏光板３Ａに対して基材フィルムごと貼合し、その後、基材フィルムを剥がすことで、第１の位相差膜７Ａを第１の偏光板３Ａ上に転写することができる。あるいは、第１の偏光板３Ａ上に直接、重合性液晶化合物を含む溶液を塗布することで第１の位相差膜７Ａを形成してもよい。

第１の位相差膜７Ａの形成に際し、重合性液晶化合物溶液を塗布する基材フィルムに異物等が存在していたり、基材フィルム又は第１の偏光板３Ａ自体に傷等があったりする場合に、重合性液晶化合物溶液を塗布して得られる塗布膜自体に欠陥が生じることがある。例えば、塗布膜の厚みムラにより位相差値が変動する。

また、配向膜をラビング処理した場合には、ラビング布の屑が配向膜上に残り、これが重合性液晶化合物溶液（液晶硬化膜形成用組成物）の塗布膜に欠陥を生じさせることもある。このように、重合性液晶化合物から位相差膜を形成する場合、厚みが極めて薄い位相差膜を形成可能であるが、上記のような屑や傷等が当該位相差膜に光学欠陥を生じる要因となることがある。

検査装置１Ａにおいて、第１の偏光板３Ａは、光源２から入射した光を直線偏光に変換するフィルムであり、偏光フィルムの少なくとも一方の面に保護フィルムが貼合されてなるものである。偏光フィルムとしては、例えば、ポリビニルアルコールフィルムにヨウ素や二色性色素が吸着・配向されたものや、重合性液晶化合物を配向・重合したものに、二色性色素が吸着・配向したものが挙げられる。

第１の偏光板３Ａは、直線偏光を出射する透過軸方向と、それとは直交する方向に吸収軸を持つ。本実施形態では、便宜的に直線偏光を出射する方向を透過軸方向、遮断する方向を吸収軸方向と定義するが、遮断する方向の偏光が反射される偏光フィルムについて排除しているものではない。

ここで保護フィルムは、偏光フィルムを保護するためのものである。保護フィルムとしては、適度な機械的強度を有する偏光板を得る目的で、偏光板の技術分野で汎用されているものが用いられる。典型的には、トリアセチルセルロース（ＴＡＣ）フィルム等のセルロースエステル系フィルム；環状オレフィン系フィルム；ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルム等のポリエステル系フィルム：ポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）フィルム等の（メタ）アクリル系フィルム等である。また、偏光板の技術分野で汎用されている添加剤が、保護フィルムに含まれていてもよい。直線偏光板に用いられる保護フィルムの位相差は小さいことが好ましく、例えば、Ｒｅ（５５０）では、１０ｎｍ以下が好ましく、５ｎｍ以下が特に好ましい。

なお、被検査物１０は、第１の位相差膜７Ａ上に、さらにポジティブＣプレートを備えていてもよい。ポジティブＣプレートの厚み方向の位相差値（Ｒｔｈ（５５０））は、検査する第１の位相差膜７Ａの厚み方向の位相差値によって適宜選択すればよい。

光源２は、種々の市販品を用いることができるが、例えばレーザ光等の直線光（直線光に近似するものも含む）であることが有利である。光源２が発する光は無偏光であり、第１の偏光板３Ａを通過し所定方向の偏光となり、更に第１の位相差膜７Ａを通過して円偏光となる。すなわち、無偏光の光が第１の偏光板３Ａ及び第１の位相差膜７Ａを通過することで、円偏光となる。

位相差フィルタ４は、第２の偏光板３Ｂと、これに積層された第２の位相差膜７Ｂとを備えるものである。ここで、第２の偏光板３Ｂの吸収軸と第２の位相差膜７Ｂの遅相軸とは互いに４５°となるように両者は貼合されている。位相差フィルタ４は、波長５５０ｎｍにおける面内位相差値が、検査対象である第１の位相差膜７Ａの波長５５０ｎｍにおける面内位相差値と略同一であるものを用いる。当該面内位相差値は、例えばλ／４である。ここで「λ」とは測定波長（ここでは５５０ｎｍ）である。光学欠陥を輝度（明度）情報ΔＬ＊より判定するために、位相差フィルタ４は、被検査物１０と同一の構成を有するフィルムを用いることが好ましい。

また、位相差フィルタ４は、さらにポジティブＣプレートを備えていてもよい。ポジティブＣプレートは、第１の位相差膜７Ａと向かい合う側の面に備えていてもよく、その反対側の面に備えていてもよい。ポジティブＣプレートを用いることで検査領域を拡大することができる。ポジティブＣプレートの厚み方向の位相差値（Ｒｔｈ（５５０））は、検査する第１の位相差膜７Ａの厚み方向の位相差値によって適宜選択すればよいが、例えば、第１の位相差膜７Ａがλ／４板である場合には、厚み方向の位相差値（Ｒｔｈ（５５０））を－５０ｎｍ～－３００ｎｍのものを用いることで効果を得られやすい。

位相差フィルタ４は、第２の位相差膜７Ｂと、第２の位相差膜７Ｂが積層された基材フィルムとを備えるものでもよい。基材フィルムは、第２の位相差膜７Ｂの光学特性を損なわないように面内位相差値（Ｒｅ（５５０））が、実質的にゼロのものを用いることが好ましい。ここで面内位相差が実質的にゼロとは、面内位相差値（Ｒｅ（５５０））が３ｎｍ以下であることをいう。

ここで、波長５５０ｎｍにおける面内位相差値（Ｒｅ（５５０））及び厚み方向の位相差値（Ｒｔｈ（５５０））の求め方を示しておく。上記のとおり、測定対象のフィルムから例えば、４０ｍｍ×４０ｍｍ程度の大きさの片を分取（長尺フィルムから、適当な切断具を用いて分取する等）する。この片のＲｅ（５５０）を３回測定し、Ｒｅ（５５０）の平均値を求める。片のＲｅ（５５０）は、位相差測定装置ＫＯＢＲＡ－ＷＰＲ（王子計測機器株式会社製）を用い、測定温度室温（２３℃）で測定することができる。

第２の偏光板３Ｂの構成や材料については、第１の偏光板３Ａと同様である。

本実施形態の検査装置１Ａでは、被検査物１０及び位相差フィルタ４を通過した光を観察するために、光軸９上、且つ、位相差フィルタ４の両側のうち光源２がある側とは反対側の位置に、カメラ（検出手段）６が配置されている。カメラ６は、例えばＣＣＤカメラであり、この場合ＣＣＤカメラと画像処理装置を組み合わせた画像処理解析により自動的に検出し、これによって被検査物１０の検査を行うことができる。

＜検査方法＞
以下、検査装置１Ａを用いた円偏光板の検査方法について説明する。円偏光板を被検査物１０として検査を開始する前に、光源２が発する光の波長を設定する。波長の設定のために、試験片を用いて波長を選定する。

（光源波長選定工程）
光源２が発する光の波長は、以下のようにして選定することができる。

はじめに、図２に示されているとおり、検査装置１Ａにおいて、被検査物１０を配置する場所に試験片２０を配置する。試験片２０は、円偏光板（位相差板）であり、第３の偏光板３Ｃと、その片面に積層された第３の位相差膜７Ｃとを備えている。試験片２０は、長尺の被検査物１０の一部を切り出したものであり、実質的に被検査物１０と同一構成である。すなわち、試験片２０は、被検査物１０と材料、厚さ、積層構成が実質的に同一である積層体である。

試験片２０は、第３の位相差膜７Ｃが位相差フィルタ４側を向くようにして検査装置１Ａ内に配置する。また、このとき、図３に示されているとおり、試験片２０が備える第３の位相差膜７Ｃの遅相軸ｐと位相差フィルタ４が備える第２の位相差膜７Ｂの遅相軸ｑとのなす角度θ_１が、光軸９の方向から見た場合に９０°以外の角度となるように配置する。この角度は、１０°～８０°とすることが好ましく、２０°～７０°とすることがより好ましく、３０°～６０°とすることが更に好ましい。ここで角度θ_１は０°以上９０°以下の値をとりうるものとし、９０°を超える角度は、０°以上９０°以下の値で表現するものとする。このような角度で配置することにより、欠陥検査に有用な波長を見出しやすくなる。すなわち、欠陥検査では、検査対象である第１の位相差膜７Ａのうち、所望の位相差値から位相差値がずれている部分（欠陥部分）を見出すために、欠陥部分の透過光量が少しでも大きくなる波長の光を用いることが望ましい。ここで、第２の位相差膜７Ｂの遅相軸ｑと第３の位相差膜７Ｃの遅相軸ｐ（＝後の第１の位相差膜７Ａの遅相軸ｒ）とのなす角度が上記の角度である場合、波長の変化度合いに対する透過光量の変化量が大きく、欠陥検査に有用な波長を見出しやすくなる。

試験片２０の表面のうち、第３の位相差膜７Ｃに欠陥がないと推定される正常部位を光軸上に位置させ、光源２から任意の波長の光をその正常部位に照射する。位相差フィルタ４を跨いだ反対側からカメラ６を用い、透過光量を測定する。次に、波長を変えた光を照射し、その透過光量を測定する。このように、波長を様々に変えた光で透過光量を測定し、その透過光量が最小となる波長を求める。透過光量が最小となる波長を検査光として採用する。

当該波長の検討は、５００～６００ｎｍの間で行うことが好ましい。また、検査光として採用する波長は、例えば５２０～５９０ｎｍであってもよく、５３０～５８０ｎｍであってもよく、５４０～５７０ｎｍであってもよい。これらの波長の範囲内では、正常部位における検査光の透過光量よりも、欠陥部位における検査光の透過光量が大きくなりやすいので、欠陥の有無の検出に有利である。

（欠陥検査工程）
検査光の波長を決定したら、次に、被検査物１０の欠陥検査を行う。図１に示されているとおり、検査装置１Ａの光源２と位相差フィルタ４との間に、被検査物１０を配置する。このとき、第１の位相差膜７Ａが位相差フィルタ４側を向くように配置する。また、図４に示されているとおり、被検査物１０が備える第１の位相差膜７Ａの遅相軸ｒと位相差フィルタ４が備える第２の位相差膜７Ｂの遅相軸ｑとのなす角度θ_２が、光軸９の方向から見た場合に１０°～８０°となるように配置する。この角度は、２０°～７０°とすることが好ましく、３０°～６０°とすることがより好ましい。ここで角度θ_２は０°以上９０°以下の値をとりうるものとし、９０°を超える角度は、０°以上９０°以下の値で表現するものとする。このような角度で配置することにより、上記光源波長選定工程で決定した、正常部分の透過光量が最小となる波長において、第１の位相差膜７Ａのうち位相差値が所望の値とずれている部分（欠陥部分）の透過光量が大きくなりやすい。特に、用いる波長が５００～６００ｎｍの範囲の波長である場合は、欠陥部分の位相差値が正常部分の位相差値よりも大きくなるようにずれている場合でも、小さくなるようにずれている場合でも、正常部分よりも透過光量が大きくなり、欠陥として検出しやすい。他の波長領域では、欠陥部分の位相差値が正常部分の位相差値よりも大きくなるようにずれている場合、又は、小さくなるようにずれている場合のいずれか一方のみで正常部分よりも透過光量が大きくなることが多く、この場合、それぞれに対応した二種類の波長の検査光を用いて検査を行う必要がある。しかしながら、本実施形態では検査に最適な波長を見出したことによって、単一の波長の検査光のみを用いて欠陥検査を行うことができる。

被検査物１０を配置した後、光源２から、上記光源波長選定工程で決定した波長の光を被検査物１０の所定の検査領域に照射する。このとき、検査光は、その強度ピークの半値幅が３０ｎｍ以下であるものを使用する。検査光は、当該半値幅が２０ｎｍ以下のものであってもよく、１０ｎｍ以下のものであってもよい。このような検査光を用いることで、正常部分と欠陥部分とのコントラスト比が高くなり、正常部分とは色が異なる部分として認識される欠陥部分の輝度が強くなり、欠陥部分を輝度の違いにより認識することが容易になる。

位相差フィルタ４は上述したとおり、波長５５０ｎｍにおける面内位相差値が、検査対象である第１の位相差膜７Ａの波長５５０ｎｍにおける面内位相差値と略同一であるものを用いているので、カメラ６で位相差フィルタ４を観察すると、被検査物１０のうち正常部分は暗く認識される。欠陥部分は正常部分とは色が違って認識されるところ、上記半値幅を有する検査光を用いているので輝度が高くなった状態で検出される。したがって、本実施形態の検査方法によれば、被検査物１０における第１の位相差膜７Ａの欠陥の有無を容易に判断することができる。

被検査物１０の所定の検査領域の検査を終えたら、被検査物１０を搬送して次の検査領域を対象として検査を行うことができる。

以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に何ら限定されるものではない。例えば、上記実施形態では、光源２が発した検査光が被検査物１０、位相差フィルタ４の順に入射し、位相差フィルタ４から出射する検査光をカメラ６で捉える態様を示したが、光源２とカメラ６は、位置を逆としてもよい。すなわち、図５に示されているとおり、光源２が発した検査光が位相差フィルタ４、被検査物１０の順に入射し、被検査物１０から出射する検査光をカメラ６で捉える態様（検査装置１Ｂ）としてもよい。

また、上記実施形態では被検査物が長尺のものである態様を示したが、被検査物は例えば矩形の枚葉状のものであってもよい。

本発明は、位相差膜の欠陥の有無を判断する検査に利用することができる。

１Ａ，１Ｂ…検査装置、２…光源、３Ａ…第１の偏光板、３Ｂ…第２の偏光板、３Ｃ…第３の偏光板、４…位相差フィルタ、６…カメラ（検出手段）、７Ａ…第１の位相差膜、７Ｂ…第２の位相差膜、７Ｃ…第３の位相差膜、９…光軸、１０…被検査物、２０…試験片、ｐ…第３の位相差膜の遅相軸、ｑ…第２の位相差膜の遅相軸、ｒ…第１の位相差膜の遅相軸、θ_１，θ_２…角度。

Claims

第１の偏光板と、前記第１の偏光板の片面に形成された重合性液晶化合物の硬化物からなる第１の位相差膜とを備えるフィルム状の被検査物に検査光を入射して前記第１の位相差膜の欠陥の有無を判断する検査方法であって、
前記被検査物、及び、第２の偏光板と前記第２の偏光板の片面に形成された第２の位相差膜とを備える位相差フィルタを、前記被検査物の第１の位相差膜側が前記位相差フィルタ側を向くように、かつ、前記位相差フィルタの第２の位相差膜側が前記被検査物側を向くように、かつ、前記第１の位相差膜の遅相軸と第２の位相差膜の遅相軸とのなす角度が、前記検査光の光軸方向から見た場合に１０°～８０°となるように配置し、
前記第１の位相差膜の波長５５０ｎｍにおける面内位相差値と、前記第２の位相差膜の波長５５０ｎｍにおける面内位相差値とは互いに略同一であり、
前記検査光は、強度ピークの半値幅が３０ｎｍ以下であり、かつ、波長５００～６００ｎｍの範囲内で前記被検査物及び前記位相差フィルタの透過光量が最小となる波長の光であり、
前記被検査物の前記第１の偏光板側又は前記位相差フィルタの前記第２の偏光板側のいずれか一方側から、前記光軸が前記被検査物上の所定の検査領域を通過するように前記検査光を入射し、その他方側から前記第２の偏光板又は前記第１の偏光板を観察する、検査方法。
前記検査を行う前に、
前記第１の偏光板と同一構成である第３の偏光板と、前記第３の偏光板の片面に形成された前記第１の位相差膜と同一構成である第３の位相差膜とを備えるフィルム状の試験片を用意し、
前記試験片、及び、前記位相差フィルタを、前記試験片の第３の位相差膜側が前記位相差フィルタ側を向くように、かつ、前記位相差フィルタの第２の位相差膜側が前記試験片側を向くように、かつ、前記第３の位相差膜の遅相軸と第２の位相差膜の遅相軸とのなす角度が、前記検査光の光軸方向から見た場合に９０°以外の角度となるように配置し、
前記試験片の前記第３の偏光板側又は前記位相差フィルタの前記第２の偏光板側のいずれか一方側から、前記光軸が前記試験片上の欠陥のない領域を通過するように、様々な波長の光を入射し、その他方側から前記第２の偏光板又は前記第１の偏光板を観察し、透過光量が最小となる波長を求め、その波長の光を前記検査光として採用することを決定する、請求項１記載の検査方法。