WO2022092005A1 - 検査方法 - Google Patents

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WO2022092005A1
WO2022092005A1 PCT/JP2021/039254 JP2021039254W WO2022092005A1 WO 2022092005 A1 WO2022092005 A1 WO 2022092005A1 JP 2021039254 W JP2021039254 W JP 2021039254W WO 2022092005 A1 WO2022092005 A1 WO 2022092005A1
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WO
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light
polarizing
film
polarizing plate
wavelength
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PCT/JP2021/039254
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French (fr)
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信次 小林
俊介 松田
里恵 曽我部
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住友化学株式会社
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M11/00—Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00—Optical elements other than lenses
    • G02B5/30—Polarising elements

Definitions

  • the present invention relates to an inspection method.
  • a polarizing plate used in a liquid crystal display device, an organic EL display device, or the like is generally composed of a polarizing element sandwiched between two protective films.
  • an adhesive layer is laminated on one of the protective films, and a release film is further laminated on the adhesive layer. Further, in many cases, a release film (surface protective film) that protects the surface of the other protective film is also attached.
  • the polarizing plate is distributed and conveyed in a state where the release films are laminated in this way, and the release film is peeled off when the polarizing plate is attached to the display device in the manufacturing process of the display device.
  • defects By the way, in the manufacturing stage of the polarizing plate, if foreign matter is mixed between the polarizing element and the protective film, bubbles remain, or if the protective film has the function of a retardation film, an orientation defect is inherent. (Hereinafter, these foreign substances, bubbles and orientation defects are collectively referred to as "defects").
  • the defective portion When a polarizing plate having a defect is attached to a display device, the defective portion may be visually recognized as a bright spot, or the image may appear distorted at the defective portion. In particular, defects visually recognized as bright spots are easily visible when the display device displays black.
  • an inspection for detecting the defect of the polarizing plate is performed.
  • the inspection of this defect is generally an optical inspection using the polarization axis of the polarizing plate.
  • a polarizing filter is provided between the polarizing plate to be inspected and the light source, and then the polarizing plate or the polarizing filter is rotated in the plane direction.
  • Each of these polarization axis directions has a specific relationship.
  • the linearly polarized light passing through the polarizing filter does not pass through the polarizing plate.
  • the polarizing plate and the polarizing filter are parallel to each other in the polarization axis direction, the linearly polarized light that has passed through the polarizing filter passes through the polarizing plate.
  • the linear polarization is blocked at the portion, and the presence of the defect is found by not detecting the light.
  • the inspector visually detects the light transmitted through the polarizing plate, or automatically detects it by the image analysis processing value obtained by combining the CCD camera and the image processing device, thereby inspecting the presence or absence of defects in the polarizing plate. It can be carried out.
  • the polarizing plate is a circular polarizing plate and the release film is made of a polyethylene terephthalate resin (PET resin), a phase difference filter (corresponding to the above polarizing filter) suitable for the wavelength dispersion of the PET resin to some extent is used.
  • PET resin polyethylene terephthalate resin
  • a phase difference filter suitable for the wavelength dispersion of the PET resin to some extent is used.
  • the circularly polarizing plate and the retardation filter are arranged so as to form a cross Nicol, the defect is visually recognized as a bright spot according to the above principle, but the retardation film of the circularly polarizing plate has.
  • the bright spot defect may be visually recognized as a black spot, and in that case, it is more difficult to determine the detection than to detect it as a bright spot. This tendency is particularly remarkable when the circularly polarizing plate contains a retardation film made of a cured product of a polymerizable liquid crystal compound.
  • the principle of the inspection method shown in Patent Document 1 is to observe the light transmitted through the inspected object. According to this principle, when a deformation defect (for example, a wrinkle generated during cutting of a circularly polarizing plate) is present in the object to be inspected, the optical path length hardly changes between the normal portion and the deformation defect portion, so that the deformation defect is optically detected. It is difficult to do.
  • a deformation defect for example, a wrinkle generated during cutting of a circularly polarizing plate
  • the polarizing plate when the polarizing plate includes a release film, the polarization characteristics of the circular polarizing plate are impaired by the birefringence of the release film. The defect could not be detected accurately.
  • an object of the present invention is to provide a reflection type inspection method, which can easily determine the presence or absence of defects in the circularly polarizing plate.
  • the present invention comprises a circular polarizing plate in which a polarizing film and a retardation film are laminated, and a release film laminated on the retardation film side of the circular polarizing plate and made of a polyethylene terephthalate resin. It is an inspection method for determining the presence or absence of defects, and is an inspection method in which a light source, a bandpass filter that transmits light of a predetermined wavelength, a first polarizing portion, and a release film side are directed toward the first polarizing portion side.
  • the object and the object are arranged in this order on the optical path of the light emitted by the light source, and the first polarizing portion and the second polarizing portion constituting the cross Nicol are arranged on the optical path of the light reflected by the object to be inspected. Then, the light of the light source is incident on the bandpass filter, the angle of incidence of the light on the inspected object is changed so that the influence of the phase difference of the release film is reduced, and the light reflected by the inspected object is seconded.
  • an inspection method for determining the presence or absence of a defect in a circular polarizing plate by observing from the polarizing portion side of the light beam.
  • the first polarizing portion and the second polarizing portion are arranged so as to form a cross Nicol, the light reflected by the normal portion of the object to be inspected (for example, reflected by the surface of the release film). Since the light is blocked by the second polarizing portion, the observation field of view can be sufficiently darkened, and if there is a defect portion, it becomes easy to observe it as a bright spot.
  • the phase difference of the light reflected by the defective part generated inside the object to be inspected and the light reflected after passing through the defective part is out of phase with the ideal due to the defect (unintended elliptically polarized light).
  • the second polarizing portion is transmitted by the amount of the deviation, and it can be detected as a defective portion of the object to be inspected.
  • the brightness of the entire observation field of view will increase due to the phase difference of the release film, which will hinder defect detection.
  • the influence of the phase difference of the release film is reduced. Since the angle of incidence of the light on the object to be inspected is changed, that is, the angle of incidence of the light is changed so that the phase difference developed by the release film is close to an integral multiple of the wavelength of the incident light, the release film causes the phase difference.
  • the observation field of view can be sufficiently darkened even when the light is present.
  • the inspection method of the present invention can easily determine the presence or absence of defects in the circularly polarizing plate.
  • the inspection is performed using the bandpass filter, the inspection is performed using the bandpass filter that transmits the light of the wavelength different from the wavelength of the light most transmitted by the bandpass filter.
  • the bandpass filter that transmits the light of the wavelength different from the wavelength of the light most transmitted by the bandpass filter.
  • the phase difference value is smaller than the predetermined value.
  • red dot unevenness because it often looks red when visually recognized as a defect
  • two test pieces of a light source and a circular polarizing plate having the same configuration as the circular polarizing plate included in the object to be inspected are prepared before the inspection, and the two test pieces are used as a retardation film.
  • minimum wavelength it is preferable to obtain (referred to as "minimum wavelength") and determine that at least one wavelength having a wavelength 5 nm to 50 nm larger than the wavelength and a wavelength 5 nm to 50 nm smaller than the wavelength is adopted as a predetermined wavelength.
  • the inspection using light of a predetermined wavelength means using a bandpass filter that transmits light of that wavelength.
  • both the first polarizing portion and the second polarizing portion may be circular polarizing plates or linear polarizing plates. Further, in the case of a circular polarizing plate, it may be composed of a single circular polarizing plate in common.
  • the retardation film may be made of a cured product of a polymerizable liquid crystal compound.
  • the retardation film is made of a cured product of a polymerizable liquid crystal compound, its general thinness increases the possibility of observing black spot defects. Therefore, it is suitable as an object to which the present invention is applied.
  • an inspection method that is a reflection type inspection method and can easily determine the presence or absence of defects in the circularly polarizing plate.
  • Refractive index (nx, ny, nz) "Nx" is the refractive index in the direction in which the refractive index in the plane is maximized (that is, the slow phase axis direction), “ny” is the direction orthogonal to the slow phase axis in the plane, and “nz” is the thickness direction.
  • Refractive index nx, ny, nz
  • the inspection device of the present embodiment inspects the surface of the circularly polarizing plate, between the layers constituting the circularly polarizing plate, or the presence or absence of internal defects.
  • the inspection device 100 in the inspection device 100, the light source 4, the bandpass filter 2, and the phase difference filter 3 are arranged in this order.
  • the inspection device 100 also includes an inspection table 20 for mounting the object to be inspected 10 on the opposite side of the phase difference filter 3 when viewed from the light source 4.
  • the surface of the inspection table 20 is processed to suppress light reflection.
  • FIG. 1 shows a state in which the inspected object 10 is placed on the inspection table 20.
  • the phase difference filter 3 is a single broadband circular polarizing plate having a width wider than that of the bandpass filter 2, and has a first polarizing portion 3A which is a region where light transmitted through the bandpass filter 2 is incident, and a first polarizing portion 3A, which will be described later. It has both functions as the second polarizing unit 3B, which is a region where the light reflected from the object 10 to be inspected is incident. That is, the first polarizing section 3A and the second polarizing section 3B are composed of a single circular polarizing plate in common, and the first polarizing section 3A and the second polarizing section 3B are on the same plane as each other. ..
  • the object to be inspected 10 is in the form of a film, and is a release film laminated on the circularly polarizing plate 1 which is the main body to be inspected and the circularly polarizing plate 1 via the pressure-sensitive adhesive layer 15. It is equipped with 16a.
  • protective films 12a and 12b are bonded to both sides of the polarizing film 11, and further, a retardation film 14 is formed on the protective film 12a on the side provided with the release film 16a via the pressure-sensitive adhesive layer 13. It is formed.
  • the surface protective film 16b is laminated on the surface of the circular polarizing plate 1 on the side not provided with the release film 16a.
  • the circular polarizing plate 1 is generally used for a display device, for example, a liquid crystal display device or an organic EL display device, and when used, the release film 16a is peeled off and attached to the display device via the pressure-sensitive adhesive layer 15. ..
  • circular polarizing plate includes a circular polarizing plate and an elliptical polarizing plate.
  • circularly polarized light includes circularly polarized light and elliptically polarized light.
  • the polarizing film 11 is a film that converts or absorbs light incident from the surface protective film 16a side into linear polarization.
  • Examples of the polarizing film 11 include a polyvinyl alcohol film in which iodine and a dichroic dye are adsorbed and oriented, and a film in which a polymerizable liquid crystal compound is oriented and polymerized, and a dichroic dye is adsorbed and oriented. Can be mentioned.
  • the protective films 12a and 12b are for protecting the polarizing film 11.
  • those widely used in the technical field of polarizing plates are used for the purpose of obtaining a polarizing plate having appropriate mechanical strength.
  • a cellulose ester film such as a triacetyl cellulose (TAC) film; a cyclic olefin film; a polyester film such as a polyethylene terephthalate (PET) film: a (meth) acrylic film such as a polymethylmethacrylate (PMMA) film. It is a film or the like.
  • an additive widely used in the technical field of the polarizing plate may be contained in the protective film.
  • the protective films 12a and 12b are attached to the display device together with the polarizing film 11 as a component of the circularly polarizing plate 1, strict control of the phase difference value or the like is required.
  • the protective film 12a a film having an extremely small retardation value is preferably used.
  • the protective film 12b for example, a film having a phase difference of ⁇ / 4 or a film having a small phase difference value is used for easy viewing when the display device is visually recognized through polarized sunglasses.
  • the protective films 12a and 12b are attached to the polarizing film 11 via an adhesive.
  • the retardation film 14 is a film that reflects light from the surface protection film 16b side and is linearly polarized by the polarizing film 11 to convert it into circularly polarized light. Seen from the release film 16a side, the retardation film 14 is a film that converts the circularly polarized light incident from the release film 16a side into linear polarization.
  • the retardation film 14 is not particularly limited as long as it is a film having a retardation, but may be a laminated ⁇ / 2 film and a ⁇ / 4 film. In this case, the ⁇ / 2 film and the ⁇ / 4 film may be in this order from the closest to the polarizing film 11.
  • the retardation film 14 is made of a cured product of a polymerizable liquid crystal compound.
  • the retardation film 14 made of a cured product of a polymerizable liquid crystal compound is usually as thin as about 0.2 ⁇ m to 10 ⁇ m, and when foreign matter or the like is contained, the retardation value is likely to change at that portion. In such a portion, the linear polarization cannot be completely converted into the ideal circular polarization, resulting in unintended elliptically polarized light. Further, as will be described later, there are cases where black spots are observed even though they should be observed as bright spot defects during the inspection.
  • the polymerizable liquid crystal compound capable of forming the retardation film 14 is described in, for example, JP-A-2009-173893, JP-A-2010-31223, WO2012 / 147904, WO2014 / 10325 and WO2017-433438.
  • the disclosed ones can be mentioned.
  • the polymerizable liquid crystal compounds described in these publications can form a retardation film having so-called anti-wavelength dispersibility, which enables uniform polarization conversion in a wide wavelength range.
  • an extremely thin retardation film can be formed as described above.
  • a circularly polarizing plate having such a retardation film can form a circularly polarizing plate having an extremely thin thickness.
  • Such a circularly polarizing plate having an extremely thin thickness is advantageous as a circularly polarizing plate for flexible display materials, which has been attracting attention in recent years.
  • Examples of the base material to which the polymerizable liquid crystal compound solution is applied include those described in the above-mentioned publication.
  • Such a base material may be provided with an alignment film for orienting the polymerizable liquid crystal compound.
  • the alignment film may be either one that is photo-aligned by polarization irradiation or one that is mechanically oriented by a rubbing treatment.
  • the alignment film is also described in the above publication.
  • the coating film itself obtained by applying the polymerizable liquid crystal compound solution is defective. May occur.
  • the alignment film is subjected to the rubbing treatment, debris of the rubbing cloth remains on the alignment film, which may cause a defect in the coating film of the polymerizable liquid crystal compound solution (composition for forming a liquid crystal cured film).
  • the retardation film formed from the polymerizable liquid crystal compound can form a retardation film having an extremely thin thickness, but there is a factor that causes defects. Then, as will be described later, the defect of the retardation film may cause a defect observed as a black spot.
  • the inspection method of the present embodiment is particularly useful in detecting the presence or absence of defects in an object to be inspected having a circularly polarizing plate having a retardation film having such defects and a release film.
  • the retardation film 14 can be produced by applying a composition for forming an alignment film on a substrate and further applying a composition for forming a liquid crystal cured film containing a polymerizable liquid crystal compound on the composition.
  • the retardation film 14 thus created is attached to the pressure-sensitive adhesive layer 13 formed on the protective film 12a together with the base material, and then the base material is peeled off to protect the retardation film 14 from the protective film 12a. Can be transferred onto.
  • the release film 16a is peeled off from the circular polarizing plate 1 when it is attached to the display device, and the peeled release film 16a is usually discarded. Therefore, unlike the protective films 12a and 12b, strict control of the phase difference value is not required. Therefore, when a commercially available film is used as the release film 16a, if the phase difference value is not compensated, a malfunction may occur in the defect inspection. That is, in the defect inspection of the circular polarizing plate 1 to which the release film 16a whose retardation value is not strictly controlled is adhered, the phase difference of the release film 16a reduces the inspection accuracy of the inspection device 100. Can be.
  • a surface protective film 16b which is a kind of release film, is often provided on the opposite surface of the release film 16a.
  • the surface protective film 16b is bonded to the protective film 12b side.
  • This surface protective film 16b is also usually peeled off from the circularly polarizing plate 1 when it is attached to a display device, and unlike the protective films 12a and 12b, strict control of the retardation value is not required. ..
  • the protective film 12b and the surface protective film 16b may be bonded to each other via an appropriate adhesive layer or adhesive layer (in FIG. 2, the adhesive layer or adhesive layer may be bonded). Is not shown).
  • the release film 16a is made of a PET-based resin.
  • the surface protective film 16b one made of PET-based resin is used.
  • the film made of PET-based resin has an advantage that it is versatile as a release film and is inexpensive.
  • the inexpensive PET-based resin film does not require strict control of the phase difference value. Therefore, for example, the phase difference value may vary from product lot to product lot. Further, even if the same PET resin film is used, the phase difference value may vary in the plane. Even with a circularly polarizing plate in which such an inexpensive PET resin-based film is bonded as a release film, the presence or absence of defects can be accurately detected by the inspection method of the present embodiment.
  • the in-plane retardation value (Re (550)) of the release film 16a of the present embodiment is, for example, 1500 nm to 3000 nm.
  • Re (550) of the release film 16a is shown.
  • these release films are PET-based resin films, and such films are readily available on the market.
  • a piece having a size of about 40 mm ⁇ 40 mm is separated from this film (from a long film, separated using an appropriate cutting tool, etc.).
  • Re (550) of this piece is measured three times, and the average value of Re (550) is obtained.
  • One piece of Re (550) can be measured at a measurement temperature of room temperature (about 25 ° C.) using a phase difference measuring device KOBRA-WPR (manufactured by Oji Measuring Instruments Co., Ltd.). The same test may be performed when Re (550) of the surface protective film 16b is obtained.
  • KOBRA-WPR manufactured by Oji Measuring Instruments Co., Ltd.
  • the light source 4 is, for example, linear light such as laser light (including one that approximates straight light).
  • the light emitted by the light source 4 is unpolarized, passes through the first polarizing unit 3A described later, and becomes circularly polarized light.
  • the first polarizing unit 3A and the second polarizing unit 3B are both wide-band circular polarizing plates, and a polarizing film for converting linear polarization and a retardation film for converting linear polarization to circular polarization.
  • the first polarizing unit 3A and the second polarizing unit 3B always form a cross Nicol when inspecting the object 10 to be inspected.
  • the slow axis of the retardation film included in the first polarizing section 3A and the delay of the retardation film contained in the second polarizing section 3B are used.
  • the absorption axis of the polarizing film included in the first polarizing section 3A and the absorption axis of the polarizing film included in the second polarizing section 3B are substantially parallel. It may be arranged (arrangement ⁇ ). Further, as another configuration, when viewed from the light source side, the slow axis of the retardation film included in the first polarizing section 3A and the slow axis of the retardation film included in the second polarizing section 3B are substantially defined.
  • the absorption axes of the polarizing film included in the first polarizing section 3A and the absorption axes of the polarizing film contained in the second polarizing section 3B are arranged so as to be substantially orthogonal to each other.
  • the cross Nicol is configured by the former arrangement ⁇
  • the first polarizing portion 3A and the second polarizing portion 3B can be configured by using one circular polarizing plate.
  • a so-called defect-free filter 3 is adopted as the phase difference filter 3 constituting the first polarizing section 3A and the second polarizing section 3B.
  • a detection means 5 including a CCD camera or the like is installed on the optical path of the reflected light and at a position on both sides of the second polarizing unit 3B where the light source 4 is located. It may be arranged. For example, it can be automatically detected by image processing analysis in which a CCD camera and an image processing device are combined, thereby inspecting an inspected object.
  • the detecting means 5 may not be a member, but a human may visually observe the second polarizing portion 3B. Further, there may be a partition plate between the light source 4 and the CCD camera as appropriate.
  • the inspection device 100 includes a mechanism for tilting or rotating the inspection table 20 so as to change the incident angle ⁇ of light with respect to the object to be inspected 10, or a light source 4, a bandpass filter 2, and a phase difference filter 3. It is preferable to have a mechanism for tilting or rotating the arrangement. By moving these mechanisms, the phase difference expressed by the release film 16a can be adjusted, and the brightness of the observation field of view can be adjusted to be dark so as to be suitable for inspection.
  • the inspection method of the present embodiment includes a step of selecting two wavelengths as the light used in the inspection (wavelength selection step) and a step of performing the inspection using the light of the wavelength (defect inspection step).
  • the wavelength of the light used in the inspection is selected.
  • the wavelength of the light used in the inspection can be selected by using the transmitted light of the circularly polarizing plate prepared as the test piece, as described below.
  • the wavelength selection step by transmitted light measurement can be performed using a spectrophotometer (for example, “V7100” manufactured by JASCO Corporation).
  • a spectrophotometer has a light source (transmission system light source) and a transmitted light amount measuring means, and by placing a sample on an optical path connecting the transmission system light source and the transmitted light amount measuring means, the transmission system light source can be used. The amount of light (transmitted light) that is applied to the sample and transmitted through the sample can be measured.
  • This transmitted light measurement will be described with reference to FIGS. 3 and 4.
  • the measuring instrument 500 used for the transmitted light measurement has a transmitted light source 4A and a transmitted light amount measuring means 5A.
  • test pieces 1A and 1B As a sample used for the transmitted light measurement, two test pieces (test pieces 1A and 1B) of a circularly polarizing plate having the same configuration as that of the circularly polarizing plate 1 included in the object to be inspected 10 are prepared.
  • “same composition” means that the material, the thickness, and the laminated composition are substantially the same.
  • the test piece 1A includes a polarizing film 11A and a retardation film 14A
  • the test piece 1B includes a polarizing film 11B and a retardation film 14B.
  • FIG. 4A is a schematic perspective view showing a main part of mounting the test pieces 1A and 1B. Since FIG. 4B shows the angles formed by the slow axes of the retardation films 14A and 14B, the angles ⁇ 1 formed by the slow axes p and q when the test pieces 1A and 1B are viewed from the optical path 9 direction are shown. It is a figure which shows schematically that it is other than 90 °.
  • the angle ⁇ 1 is preferably 10 ° to 80 °, more preferably 20 ° to 70 °, and even more preferably 30 ° to 60 °. By arranging at such an angle ⁇ 1, it becomes easy to find a wavelength useful for defect inspection.
  • the wavelength of the transmission system light source can be changed in various ways, and the amount of absorbed light in the case of light of various wavelengths can be automatically analyzed, so that the minimum wavelength can be more easily set. You can ask.
  • the wavelength between 500 and 600 nm it is preferable to examine the wavelength between 500 and 600 nm. Then, when the minimum wavelength (the wavelength at which the amount of transmitted light is minimized) is obtained, two types of wavelengths, a wavelength 5 nm to 50 nm larger than the wavelength and a wavelength 5 nm to 50 nm smaller than the wavelength, are adopted as the wavelength of the light used for the inspection. For example, when the minimum wavelength is 565 nm, two types of wavelengths, 535 nm and 595 nm, are adopted as the wavelengths of light used for the inspection as ⁇ 30 nm.
  • the half width of the spectrum of the wavelength of the transmitted light is preferably ⁇ 10 nm, and more preferably ⁇ 5 nm.
  • These bandpass filters have different spectra of transmitted light and different wavelengths of the most transmitted light.
  • the half width of the light having the wavelength (peak wavelength) to be transmitted most is preferably ⁇ 10 nm, and more preferably ⁇ 5 nm.
  • the defect inspection of the object 10 to be inspected is performed next.
  • the object to be inspected 10 is placed on the inspection table 20 in the inside of the inspection device 100.
  • the side of the object 10 to be inspected to include the release film 16a and the retardation film 14 faces the light source 4, and the retard axis of the retardation film 14 of the circular polarizing plate 1 and the retardation film included in the retardation filter 3 are provided.
  • the angle formed with the slow axis of the light source 4 is arranged so as to be 10 ° to 80 ° when viewed from the light source 4 side. This angle is preferably 15 ° to 50 °, more preferably 20 ° to 40 °.
  • the first polarizing unit 3A and the second polarizing unit 3B are composed of the same circular polarizing plate (phase difference filter 3), the light reflected from the object 10 to be inspected is the first.
  • the polarizing portion 3A of 1 and the polarizing portion 3B of the second are arranged in a cross Nicol.
  • the bandpass filter 2 which is one of the two bandpass filters found in the wavelength selection process, is prepared and placed in the inspection device 100.
  • Light is incident on the bandpass filter 2 from the light source 4.
  • the angle of incidence on the object to be inspected 10 (the angle based on the perpendicular to the surface of the object to be inspected 10) ⁇ may be, for example, 3 ° to 30 ° or 5 ° to 20 °.
  • the reflection angle from the object to be inspected 10 is within the above angle range.
  • the light emitted by the light source 4 passes through the bandpass filter 2 and then is incident on the first polarizing unit 3A, and is transmitted through this to become circularly polarized light (optical path 9a).
  • the light transmitted through the first polarizing portion 3A is then incident on the object 10 to be inspected. Then, it passes through the release film 16a in the object to be inspected 10, is ideally converted into linearly polarized light by the retardation film 14 constituting the circular polarizing plate 1, and is finally absorbed by the polarizing film 11 (optical path).
  • the end of 9a) a part of the light transmitted through the first polarizing portion 3A is reflected on the surface of the release film 16a in the object to be inspected 10 (optical path 9b).
  • a part of the light incident on the inspected object 10 is present in the defect D existing in the inspected object 10 (for example, the defect D existing at the interface between the retardation film 14 and the polarizing film 11) or in the retardation film 14.
  • the reflection becomes stronger at the portion of the existing defect D') (optical path 9c). Since the phase difference of this reflected light is out of phase with the ideal due to the defects D and D'(unintentional elliptically polarized light), the reflected light is not absorbed by the polarizing film and the reflected light at the interface is emitted. Occurs. This reflected light is transmitted without being blocked by the second polarizing unit 3B. When this is observed from the detection means 5 side, the defective portion is observed as a bright spot.
  • the phase difference (in-plane phase difference) of the release film 16a may interfere with this inspection. That is, when the phase difference developed by the release film 16a is an integral multiple of the wavelength of the light transmitted through the bandpass filter 2, the polarization state of the circularly polarized light incident on the release film 16a is not disturbed, but in many cases. Since it is not an integral multiple, the polarization state of circularly polarized light is disturbed, and as shown in FIG. 5, it cannot be converted into linearly polarized light by the retardation film 14 and is not absorbed by the polarizing film, so that reflected light is generated at the interface (). Optical path 9d). Therefore, the amount of transmitted light transmitted through the second polarizing unit 3B increases, and the observation field of view becomes brighter.
  • the bright spot of the defect portion that is originally desired to be observed is buried in the brightness of the entire observation field of view, and it becomes difficult to distinguish the defect. Further, due to in-plane variation of the phase difference value of the release film 16a or variation from lot to lot, defects that should be originally observed as bright spots may be observed as black spots.
  • the incident angle ⁇ of light with respect to the object to be inspected 10 is changed so that the influence of the phase difference of the release film 16a is reduced. That is, since the phase difference expressed by the release film 16a changes if the incident angle ⁇ is changed, the observation field of view can be further darkened by searching for the incident angle ⁇ that is an “integer multiple”.
  • the object to be inspected 10 may be tilted or rotated in various ways (may be moved together with the inspection table 20), the light source 4, the bandpass filter 2, and the phase difference filter 3. The sides may be tilted or rotated in various ways.
  • the incident angle ⁇ is variously changed, and an angle at which the influence of the phase difference of the release film 16a is small is searched for.
  • the slow-phase axial direction of the circularly polarizing plate 1 may be tilted as the axial direction, or the phase-advancing axial direction may be tilted as the axial direction.
  • the bandpass filter 2 is replaced with the other bandpass filter of the two bandpass filters found in the wavelength selection process, and the same inspection is performed again.
  • the bandpass filter 2 is replaced with the other bandpass filter of the two bandpass filters found in the wavelength selection process, and the same inspection is performed again.
  • light having a wavelength 5 nm to 50 nm larger than the wavelength at which the amount of light transmitted by the second polarizing unit 3B is minimized and light having a wavelength 5 nm to 50 nm smaller are used for the inspection. Therefore, the blue dot unevenness appears to be emphasized by one band pass filter, and the red dot unevenness appears to be emphasized by the other band path filter. Therefore, it is possible to inspect the presence or absence of both blue dot unevenness and red dot unevenness under the condition that the brightness of the entire observation field of view is sufficiently darkened.
  • the inspection method shown above it is possible to easily determine the presence or absence of defects in the circularly polarizing plate. Further, since this inspection method is a reflection type inspection method, the optical path in the object to be inspected 10 becomes longer than that of the transmission type inspection method, and deformation such as wrinkles, which is difficult to detect by the transmission type inspection method, is formed. Defects can also be easily detected.
  • FIG. 1 shows a case where the retardation film 14 of the circularly polarizing plate 1 has a defect, the defect can be detected by the inspection method of the present embodiment even if the polarizing film 11 has a defect.
  • the inspection method of the present invention is preferably performed in a state where outside light such as a dark room is blocked in order to increase the detection sensitivity. Further, from the viewpoint of suppressing the reflected light reflected by the inspection table 20 as much as possible from the light transmitted through the inspection table 10, the mounting surface of the inspection table 20 may be subjected to low reflection treatment. preferable.
  • the inspection method of the second embodiment will be described.
  • the inspection method of the second embodiment is different from the inspection method of the first embodiment in that a linear polarizing plate is used instead of the circular polarizing plate of the first polarizing portion 3A and the second polarizing portion 3B. be.
  • the inspection device 200 Inspection equipment and objects to be inspected, the light source 4, the bandpass filter 2, and the first linear polarizing plate 7A are arranged in this order, and are arranged next to the first linear polarizing plate 7A.
  • the second linear polarizing plate 7B is arranged therein.
  • the planes of the first linear polarizing plate (first polarizing portion) 7A and the second linear polarizing plate (second polarizing portion) 7B are parallel to each other and are arranged on substantially the same plane.
  • Other configurations of the inspection device 200 are the same as those of the inspection device 100 in the first embodiment.
  • the orientations of the first linear polarizing plate 7A and the second linear polarizing plate 7B are always adjusted so as to form cross Nicols with each other when inspecting the object 10 to be inspected. At this time, it should be noted that the light incident on the second linear polarizing plate 7B is the reflected light reflected by the object 10 to be inspected. As the first linear polarizing plate 7A and the second linear polarizing plate 7B, so-called defect-free ones are adopted.
  • the wavelength selection step is the same as that in the first embodiment.
  • the defect inspection of the object 10 to be inspected is performed next.
  • the inspection method using the inspection device 200 is as follows. First, the object to be inspected 10 is placed on the inspection table 20 in the inspection device 200. Then, the object 10 to be inspected is arranged on the other side of the first linear polarizing plate 7A and the second linear polarizing plate 7B when viewed from the light source 4. At this time, the side of the object 10 to be inspected 10 provided with the release film 16a and the retardation film 14 faces the light source 4, and the angle formed by the absorption axis of the polarizing film 11 and the absorption axis of the first linear polarizing plate 7A is the light source 4. Arrange so that it is 45 ° when viewed from the side.
  • This angle may take a value of 0 ° or more and 90 ° or less, and an angle exceeding 90 ° shall be expressed by a value of 0 ° or more and 90 ° or less.
  • the first linear polarizing plate 7A is such that the light before being incident on the object 10 is transmitted
  • the second linear polarizing plate 7B is such that the light reflected by the object 10 is incident.
  • the bandpass filter 2 which is one of the two bandpass filters found in the wavelength selection process, is prepared and placed in the inspection device 200.
  • Light is incident on the bandpass filter 2 from the light source 4.
  • the angle of incidence on the object to be inspected 10 (the angle based on the perpendicular to the surface of the object to be inspected 10) ⁇ may be, for example, 3 ° to 30 ° or 5 ° to 20 °.
  • the reflection angle from the object to be inspected 10 is within the above angle range.
  • the light emitted by the light source 4 passes through the bandpass filter 2 and then is incident on the first linear polarizing plate 7A, and is transmitted through this to become linearly polarized light (optical path 9a).
  • it is incident on the object to be inspected 10 (optical path 9a).
  • it is transmitted through the release film 16a in the object to be inspected 10, converted into circularly polarized light by the retardation film 14 constituting the circularly polarizing plate 1, and the absorption axial component of the circularly polarized light is absorbed by the polarizing film 11.
  • End of optical path 9a a part of the light transmitted through the first linear polarizing plate 7A is reflected on the surface of the release film 16a in the object 10 (optical path 9b).
  • This reflected light is blocked by the second linear polarizing plate 7B because the first linear polarizing plate 7A and the second linear polarizing plate 7B are arranged so as to form a cross Nicol (optical path 9b). The end of). Therefore, the observation field of view of the second linear polarizing plate 7B by the detecting means 5 is dark enough to observe defects.
  • a part of the light incident on the inspected object 10 is present in the defect D existing in the inspected object 10 (for example, the defect D existing at the interface between the retardation film 14 and the polarizing film 11) or in the retardation film 14.
  • the reflection becomes stronger at the portion of the existing defect D') (optical path 9c). Since the phase difference of this reflected light is shifted from the ideal due to the defects D and D'(unintentional elliptically polarized light is obtained), the amount of light absorbed by the polarizing film 11 by the shift.
  • the amount of light absorbed by the second linear polarizing plate 7B is smaller than that of the normal portion, and the light is transmitted through the second linear polarizing plate. When this is observed from the detection means 5 side, the defective portion is observed as a bright spot.
  • the method for reducing the influence of the phase difference of the release film 16a in the present embodiment and the principle that the effect of the present embodiment is exhibited are the same as those in the first embodiment.
  • the present invention is not limited to the above embodiment.
  • the first polarizing section 3A and the second polarizing section 3B are carried by one phase difference filter 3, but the first polarizing section 3A and the second polarizing section 3A are carried. 3B may be prepared as separate phase difference filters.
  • the minimum wavelength is obtained by using the transmitted light, but instead, the minimum wavelength may be obtained by using the reflected light.
  • a laminated body in which the circular polarizing plate 1 is arranged on a reflector such as a mirror is prepared, and light of an arbitrary wavelength is incident on the laminated body from a light source. The light reflected from the laminated body is observed by the detecting means, and the amount of transmitted light is confirmed. Next, the light having a different wavelength is irradiated, and the amount of transmitted light is confirmed. In this way, the amount of transmitted light can be measured with light having various wavelengths, and the wavelength at which the amount of transmitted light is minimized can be obtained.
  • the present invention can be used for quality inspection of circularly polarizing plates.
  • Circular polarizing plate 1 ... Circular polarizing plate, 1A, 1B ... Test piece (circular polarizing plate), 2 ... Band pass filter, 3 ... Phase difference filter, 3A ... First polarizing unit, 3B ... Second polarizing unit, 4 ... Light source, 4A ... Transmission system light source, 5 ... Detection means, 5A ... Transmitted light amount measuring means, 7A ... First linear polarizing plate (first polarizing section), 7B ... Second linear polarizing plate (second polarizing section), 9 (9a, 9b, 9c) ... optical path, 10 ... inspected object, 11 (11A, 11B) ... polarizing film, 12a, 12b ... protective film, 13 ...

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Abstract

偏光フィルム１１と位相差膜１４とが積層されてなる円偏光板１、及び、円偏光板１の位相差膜１４側に積層されポリエチレンテレフタレート系樹脂からなる剥離フィルム１６ａを備えるフィルム状の被検査物１０の欠陥の有無を判断する検査方法である。光源４と、所定の波長の光を透過させるバンドパスフィルタ２と、第１の偏光部３Ａと、被検査物１０と、第２の偏光部３Ｂを配置し、剥離フィルム１６ａが有する位相差の影響が小さくなるように被検査物１０への光の入射角θを変化させる。被検査物１０によって反射された光を第２の偏光部３Ｂ側から観察して円偏光板１の欠陥の有無を判断する。

Description

検査方法
　本発明は、検査方法に関する。
　液晶表示装置や有機ＥＬ表示装置等に用いられる偏光板は、一般的に偏光子が２枚の保護フィルムに挟まれて構成されている。偏光板を表示装置に貼り付けるため、片方の保護フィルムには粘着剤層が積層され、更に粘着剤層に剥離フィルムが積層される。また、他方の保護フィルムにもその表面を保護する剥離フィルム（表面保護フィルム）が貼合される場合が多い。偏光板はこのように剥離フィルムが積層された状態で流通搬送され、表示装置の製造工程で表示装置に貼合する際に剥離フィルムが剥離される。
　ところで、偏光板はその製造段階において、偏光子と保護フィルムとの間に異物が混入したり、気泡が残ったり、あるいは、保護フィルムが位相差フィルムの機能を持つ場合には配向欠陥が内在していることがある（以下、これらの異物、気泡及び配向欠陥をまとめて、「欠陥」ということがある）。欠陥が存在する偏光板を表示装置に貼合した場合、その欠陥の箇所が輝点として視認されたり、欠陥の箇所で画像がゆがんで見えたりすることがある。特に、輝点として視認される欠陥は、当該表示装置の黒表示時に視認されやすい。
　そこで、偏光板を表示装置に貼合する前段階（剥離フィルムを備えた状態の偏光板）で、この偏光板の欠陥を検出するための検査が行われる。この欠陥の検査は、一般的には偏光板の偏光軸を利用した光検査である。具体的には、特許文献１に示されているように、被検査物である偏光板と光源との間に偏光フィルタを設けたうえで、この偏光板又は偏光フィルタを平面方向に回転させ、これらのそれぞれの偏光軸方向を特定の関係とする。偏光軸方向同士が互いに直交する場合（すなわちクロスニコルを構成する配置の場合）、偏光フィルタを通過した直線偏光は、偏光板を通過しない。しかしながら、偏光板に欠陥が存在すると、当該箇所では直線偏光が透過してしまうので、その光が検出されることで欠陥の存在が判明する。一方、偏光板と偏光フィルタとの偏光軸方向同士が平行である場合、偏光フィルタを通過した直線偏光は偏光板を透過する。しかしながら、偏光板に欠陥が存在すると、当該箇所では直線偏光が遮断されるので、その光が検出されないことで欠陥の存在が判明する。偏光板を透過してきた光を検査者が目視により検出するか、あるいはＣＣＤカメラと画像処理装置とを組み合わせた画像解析処理値により自動的に検出することで、偏光板の欠陥の有無の検査を行うことができる。
特開平９－２２９８１７号公報
　偏光板が円偏光板であり、且つ、剥離フィルムがポリエチレンテレフタレート系樹脂（ＰＥＴ系樹脂）からなる場合は、当該ＰＥＴ系樹脂の波長分散にある程度合わせた位相差フィルタ（上記偏光フィルタに相当）を、当該偏光板の検査に用いる。ここで、円偏光板と位相差フィルタとをクロスニコルを構成するように配置した場合、上記原理によれば欠陥は輝点として視認されることになるが、円偏光板が有する位相差膜の配向欠陥やピンホール等の位相差値が低い領域では輝点欠陥が黒点として視認されてしまうことがあり、その場合、輝点として検出するよりも検出判断が難しかった。特に、円偏光板が重合性液晶化合物の硬化物からなる位相差膜を含む場合にはその傾向が顕著である。
　また、特許文献１に示されている検査方法の原理は、被検査物を透過した光を観察するというものである。この原理では被検査物に変形欠陥（例えば、円偏光板の裁断時に生じた皺）が存在した場合、正常部分と変形欠陥部分とで光路長がほとんど変化しないので、光学的に変形欠陥を検出することが困難である。
　また、上述したように偏光板が剥離フィルムを備える場合は、この剥離フィルムが有する複屈折により円偏光板の偏光特性が阻害されるため、従来の検査装置では偏光板に存在する輝点等の欠陥を精度よく検出することができなかった。
　そこで本発明は、反射型の検査方法であって、円偏光板の欠陥の有無を容易に判断することができる検査方法を提供することを目的とする。
　本発明は、偏光フィルムと位相差膜とが積層されてなる円偏光板、及び、円偏光板の位相差膜側に積層されポリエチレンテレフタレート系樹脂からなる剥離フィルムを備えるフィルム状の被検査物の欠陥の有無を判断する検査方法であって、光源と、所定の波長の光を透過させるバンドパスフィルタと、第１の偏光部と、剥離フィルム側を第１の偏光部側へ向けた被検査物と、を光源が発する光の光路上にこの順に並ぶように、かつ、第１の偏光部とクロスニコルを構成する第２の偏光部を被検査物によって反射される光の光路上に配置し、バンドパスフィルタに光源の光を入射し、剥離フィルムが有する位相差の影響が小さくなるように被検査物への光の入射角を変化させ、被検査物によって反射された光を第２の偏光部側から観察して円偏光板の欠陥の有無を判断する、検査方法を提供する。
　この検査方法では、第１の偏光部と第２の偏光部とがクロスニコルを構成するように配置されていることから、被検査物の正常部分で反射した光（例えば剥離フィルムの表面で反射した光）が、第２の偏光部で遮断されるので、観察視野を十分に暗くすることができ、欠陥部分があった場合にこれを輝点として観察しやすくなる。被検査物の内部に生じている欠陥部分で反射した光や欠陥部分を通過したあとに反射した光は、その欠陥に起因して位相差が理想よりもずれている（意図しない楕円偏光となっている）ので、そのずれの分だけ第２の偏光部を透過することとなり、被検査物の欠陥部分として検出することができる。ここで、剥離フィルムが有する位相差によって観察視野全体の明るさが増してしまい欠陥検出の障害になることが予想されるが、この検査方法では剥離フィルムが有する位相差の影響が小さくなるように被検査物への光の入射角を変化させるので、すなわち、剥離フィルムによって発現される位相差が入射光の波長の整数倍に近づくように光の入射角を変化させるので、剥離フィルムが位相差を有する場合であっても観察視野を十分に暗くすることができる。また、このような反射型の検査方法は、透過型の検査方法と比べて被検査物中の光路が長くなるので、透過型の検査方法では検出が困難であった変形欠陥も容易に検出することができる。以上のことから、本発明の検査方法では円偏光板の欠陥の有無を容易に判断することができる。
　この検査方法では、バンドパスフィルタを用いて検査を行った後に、そのバンドパスフィルタが最も透過させる光の波長とは別の波長の光を最も透過させるバンドパスフィルタを用いて検査を行うことが好ましい。これにより、例えば、位相差値が所定の値より大きい欠陥の場合（欠陥として視認される場合に青く見えることが多いことから、以下青点ムラと称する）と位相差値が所定の値より小さい欠陥の場合（欠陥として視認される場合に赤く見えることが多いことから、以下赤点ムラと称す）のように、二種類の欠陥の有無を検査することができる。
　本発明の検査方法では、検査を行う前に、光源と、被検査物が備える円偏光板と同一構成である円偏光板の試験片を２枚用意し、２枚の試験片を位相差膜側が対向するように配置し、かつ、位相差膜の遅相軸同士のなす角度が、光源の光路方向から見た場合に９０°以外の角度となるように配置し、試験片の偏光フィルムのいずれか一方側から、光路が試験片上の欠陥のない領域を通過するように、様々な波長の光を入射し、その他方側から偏光フィルムを観察し、透過光量が最小となる波長（以下、「最小波長」という）を求め、その波長よりも５ｎｍ～５０ｎｍ大きい波長及びその波長よりも５ｎｍ～５０ｎｍ小さい波長の少なくとも一つの波長を所定の波長として採用することを決定することが好ましい。このようにして決定した最小波長よりも５ｎｍ～５０ｎｍ大きい波長と、５ｎｍ～５０ｎｍ小さい波長の光との少なくとも一つの波長の光を検査に用いることによって、観察視野全体の明るさを十分に暗く抑えた状態で、青点ムラ又は赤点ムラが強調されて見えるようになる。具体的には、このようにして決定した最小波長よりも５ｎｍ～５０ｎｍ大きい波長の光と、５ｎｍ～５０ｎｍ小さい波長の光の両方を用いて二回にわたる検査をすることによって、それぞれ青点ムラと赤点ムラが強調される状況で検査することができる。なお、ここで所定の波長の光を用いての検査とは、その波長の光を透過させるバンドパスフィルタを用いることを意味している。
　本発明の検査方法では、第１の偏光部及び第２の偏光部は、いずれも円偏光板であってもよく、いずれも直線偏光板であってもよい。また、円偏光板である場合は、共通する一枚の円偏光板から構成されていてもよい。
　位相差膜は、重合性液晶化合物の硬化物からなるものであってもよい。位相差膜が重合性液晶化合物の硬化物からなる場合、その一般的な薄さから、黒点欠陥が観察される可能性が高まる。従って、本発明を適用する対象として好適である。
　本発明によれば、反射型の検査方法であって、円偏光板の欠陥の有無を容易に判断することができる検査方法を提供することができる。
第１の実施形態の検査方法を行うための検査装置の構成図である。 被検査物の断面図である。 透過光測定による波長選定工程における各部材の配置を示す図である。 （Ａ）は、二枚の試験片における遅相軸同士の関係を示す図である。（Ｂ）は、（Ａ）を光路側から見た図である。 第１の実施形態の検査方法において、剥離フィルムが有する位相差の影響を説明する図である。 第２の実施形態の検査方法を行うための検査装置の構成図である。
　以下、本発明の好適な実施形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。なお、各図において同一部分又は相当部分には同一符号を付し、重複する説明は省略する。
＜用語および記号の定義＞
　本明細書における用語および記号の定義は下記のとおりである。
（１）屈折率（ｎｘ、ｎｙ、ｎｚ）
　「ｎｘ」は面内の屈折率が最大となる方向（すなわち、遅相軸方向）の屈折率であり、「ｎｙ」は面内で遅相軸と直交する方向、「ｎｚ」は厚み方向の屈折率である。
（２）面内位相差値
　面内位相差値（Ｒｅ（λ））は、２３℃、波長λ（ｎｍ）におけるフィルムの面内の位相差値をいう。Ｒｅ（λ）は、フィルムの厚みをｄ（ｎｍ）としたとき、Ｒｅ（λ）＝（ｎｘ－ｎｙ）×ｄによって求められる。
＜第１の実施形態＞
　第１の実施形態の検査方法について説明する。
（検査装置と被検査物）
　本実施形態の検査装置は、円偏光板の表面、円偏光板を構成する各層の間、又は内部の欠陥の有無を検査するものである。図１に示されているとおり、検査装置１００は、光源４、バンドパスフィルタ２、位相差フィルタ３がこの順に配置されたものである。また、検査装置１００は、光源４からみて位相差フィルタ３の反対側に、被検査物１０を載置するための検査台２０も備えている。検査台２０は、その表面に光の反射を抑制する加工がなされている。
　図１は検査台２０に被検査物１０を載置した様子を示している。位相差フィルタ３は、バンドパスフィルタ２よりも幅広である一枚の広帯域の円偏光板であり、バンドパスフィルタ２を透過した光が入射する領域である第１の偏光部３Ａと、後述する被検査物１０から反射した光が入射する領域である第２の偏光部３Ｂとの両方の機能を兼ねるものである。すなわち、第１の偏光部３Ａと第２の偏光部３Ｂは共通する一枚の円偏光板から構成されており、第１の偏光部３Ａと第２の偏光部３Ｂは互いに同一平面上にある。
　図２に示されているとおり、被検査物１０はフィルム状であり、検査対象の本体である円偏光板１と、円偏光板１に対して粘着剤層１５を介して積層された剥離フィルム１６ａとを備えている。円偏光板１は、偏光フィルム１１の両面に保護フィルム１２ａ，１２ｂが貼合されており、更に、剥離フィルム１６ａを備える側の保護フィルム１２ａ上に粘着剤層１３を介して位相差膜１４が形成されてなるものである。そして、円偏光板１のうち剥離フィルム１６ａを備えていない側の面には表面保護フィルム１６ｂが積層されている。円偏光板１は、一般的に表示装置、例えば液晶表示装置や有機ＥＬ表示装置に用いられるものであり、使用時には剥離フィルム１６ａを剥がして、粘着剤層１５を介して表示装置に貼り付けられる。
　なお、本明細書において「円偏光板」とは、円偏光板及び楕円偏光板を含むものとする。また、「円偏光」は、円偏光と楕円偏光を含むものとする。
　偏光フィルム１１は、表面保護フィルム１６ａ側から入射した光を直線偏光に変換する又は吸収するフィルムである。偏光フィルム１１としては、例えば、ポリビニルアルコールフィルムにヨウ素や二色性色素が吸着・配向されたものや、重合性液晶化合物を配向・重合したものに、二色性色素が吸着・配向したものが挙げられる。
　保護フィルム１２ａ，１２ｂは、偏光フィルム１１を保護するためのものである。保護フィルム１２ａ，１２ｂとしては、適度な機械的強度を有する偏光板を得る目的で、偏光板の技術分野で汎用されているものが用いられる。典型的には、トリアセチルセルロース（ＴＡＣ）フィルム等のセルロースエステル系フィルム；環状オレフィン系フィルム；ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルム等のポリエステル系フィルム：ポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）フィルム等の（メタ）アクリル系フィルム等である。また、偏光板の技術分野で汎用されている添加剤が、保護フィルムに含まれていてもよい。
　保護フィルム１２ａ，１２ｂは、円偏光板１の構成要素として偏光フィルム１１とともに表示装置に貼合されるものであるので、位相差値の厳密な管理等が要求される。保護フィルム１２ａとしては，典型的には、位相差値が極めて小さいものが好ましく用いられる。また、保護フィルム１２ｂとしては、例えば、偏光サングラスを介して表示装置を視認したときの見易さのため、λ／４の位相差を有するものや位相差値の小さいものが用いられる。保護フィルム１２ａ，１２ｂは、接着剤を介して偏光フィルム１１に貼合される。
　位相差膜１４は、表面保護フィルム１６ｂ側から反射し偏光フィルム１１によって直線偏光とされた光を円偏光に変換する膜である。剥離フィルム１６ａ側からみれば、位相差膜１４は、剥離フィルム１６ａ側から入射した円偏光を直線偏光に変換する膜である。位相差膜１４は、位相差を有する膜であれば特に制限はないが、λ／２膜とλ／４膜とが積層されたものであってもよい。この場合、偏光フィルム１１から近いほうからλ／２膜、λ／４膜の順にしてもよい。
　また、位相差膜１４は、重合性液晶化合物の硬化物からなるものであることが好ましい。重合性液晶化合物の硬化物からなる位相差膜１４は、通常厚さが０．２μｍ～１０μｍ程度と薄く、異物等を含む場合にその部分で位相差値が変化しやすい。このような部位では、直線偏光が理想どおりの円偏光に変換しきらず、意図しない楕円偏光になる。また、後述するとおり、検査中に本来は輝点欠陥として観察されるべきものであるにも関わらず、黒点となって観察される場合がある。
　位相差膜１４を形成し得る重合性液晶化合物は、例えば、特開２００９－１７３８９３号公報、特開２０１０－３１２２３号公報、ＷＯ２０１２／１４７９０４号公報、ＷＯ２０１４／１０３２５号公報及びＷＯ２０１７－４３４３８号公報に開示されたものを挙げることができる。これらの公報に記載の重合性液晶化合物は、広い波長域において一様の偏光変換が可能な、いわゆる逆波長分散性を有する位相差膜を形成可能である。例えば、当該重合性液晶化合物を含む溶液（重合性液晶化合物溶液）を適当な基材上に塗布して光重合させることで、上述のように極めて薄い位相差膜を形成することができるので、かかる位相差膜を有する円偏光板は、厚みが極めて薄い円偏光板を形成することができる。このように厚みが極めて薄い円偏光板は、近年着目されているフレキシブル表示材料用の円偏光板として有利である。
　重合性液晶化合物溶液を塗布する基材としては、上述の公報に記載されたものを挙げることができる。かかる基材には、重合性液晶化合物を配向させるために配向膜が設けられていてもよい。配向膜は偏光照射により光配向させるものや、ラビング処理により機械的に配向させたもののいずれでもよい。なお、かかる配向膜に関しても、上記公報に記載されている。
　しかしながら、重合性液晶化合物溶液を塗布する基材に異物等が存在していたり、基材自体に傷等があったりする場合に、重合性液晶化合物溶液を塗布して得られる塗布膜自体に欠陥が生じることがある。また、配向膜をラビング処理した場合には、ラビング布の屑が配向膜上に残り、これが重合性液晶化合物溶液（液晶硬化膜形成用組成物）の塗布膜に欠陥を生じさせることもある。このように、重合性液晶化合物から形成される位相差膜は、厚みが極めて薄い位相差膜を形成可能であるが、欠陥を生じる要因がある。そして、位相差膜の欠陥は後述するとおり、黒点となって観察される欠陥が生じることがある。このような欠陥を有する位相差膜を備えた円偏光板及び剥離フィルムを有する被検査物の欠陥の有無を判定する検出において、本実施形態の検査方法は特に有用である。
　位相差膜１４は、基材上に配向膜形成用組成物を塗布し、更にその上に重合性液晶化合物を含んだ液晶硬化膜形成用組成物を塗布することによって作製することができる。そうして作成した位相差膜１４を、保護フィルム１２ａ上に形成された粘着剤層１３に対して基材ごと貼合し、その後、基材を剥がすことで、位相差膜１４を保護フィルム１２ａ上に転写することができる。
　剥離フィルム１６ａは、表示装置に貼合するときに円偏光板１から剥がされるものであり、通常は、剥がされた剥離フィルム１６ａは廃棄される。したがって、保護フィルム１２ａ，１２ｂとは異なり、位相差値の厳密な管理が要求されることはない。そのため、市販されているフィルムを剥離フィルム１６ａとして採用する場合に、その位相差値を補償しないと、欠陥の検査において誤動作を招きかねない。すなわち、このように位相差値が厳密に管理されていない剥離フィルム１６ａが貼合された円偏光板１の欠陥検査では、当該剥離フィルム１６ａの位相差が検査装置１００の検査精度を低下させる原因になり得る。
　なお、上記背景技術に記したように、円偏光板１において、剥離フィルム１６ａの反対面には、剥離フィルムの一種である表面保護フィルム１６ｂが設けられることが多い。図２に示されている円偏光板１では保護フィルム１２ｂ側に表面保護フィルム１６ｂが貼合されている。この表面保護フィルム１６ｂも通常、表示装置に貼合するときに円偏光板１から剥がされるものであり、保護フィルム１２ａ，１２ｂとは異なり、位相差値の厳密な管理が要求されることはない。なお、図２において、保護フィルム１２ｂと表面保護フィルム１６ｂとは、適当な接着剤層又は粘着剤層を介して貼合されていてもよい（図２においては、この接着剤層又は粘着剤層は、図示はしていない）。
　本実施形態において、剥離フィルム１６ａはＰＥＴ系樹脂からなるものである。また、表面保護フィルム１６ｂについてもＰＥＴ系樹脂からなるものを用いる。ＰＥＴ系樹脂からなるフィルム（ＰＥＴ系樹脂フィルム）は、剥離フィルムとして汎用であり、且つ安価であるという利点がある。一方、安価なＰＥＴ系樹脂フィルムは上記のとおり、位相差値の厳密な管理が要求されることはない。そのため、例えば、製品ロットごとに位相差値にバラツキがあることがある。また、同一のＰＥＴ樹脂系フィルムであっても、面内に位相差値のバラツキがあることもある。このような安価なＰＥＴ樹脂系フィルムを剥離フィルムとして貼合した円偏光板であっても、本実施形態の検査方法により、その欠陥の有無を精度よく検出することができる。
　本実施形態の剥離フィルム１６ａの面内方向の位相差値（Ｒｅ（５５０））は、例えば１５００ｎｍ～３０００ｎｍである。
　ここで、剥離フィルム１６ａのＲｅ（５５０）の求め方を示しておく。上記のとおり、これら剥離フィルムはＰＥＴ系樹脂フィルムであり、このようなフィルムは市場から容易に入手できる。このフィルムから例えば、４０ｍｍ×４０ｍｍ程度の大きさの片を分取（長尺フィルムから、適当な切断具を用いて分取する等）する。この片のＲｅ（５５０）を３回測定し、Ｒｅ（５５０）の平均値を求める。片のＲｅ（５５０）は、位相差測定装置ＫＯＢＲＡ－ＷＰＲ（王子計測機器株式会社製）を用い、測定温度室温（２５℃程度）で測定することができる。なお、表面保護フィルム１６ｂのＲｅ（５５０）を求める場合にも、同様の試験を行えばよい。
　光源４は、種々の市販品を用いることができるが、例えばレーザ光等の直線光（直線光に近似するものも含む）であることが有利である。光源４が発する光は無偏光であり、後述する第１の偏光部３Ａを通過し円偏光となる。
　第１の実施形態において、第１の偏光部３Ａと第２の偏光部３Ｂは、ともに広帯域の円偏光板であり、直線偏光に変換する偏光フィルムと直線偏光を円偏光に変換する位相差膜を有する。第１の偏光部３Ａと第２の偏光部３Ｂは、被検査物１０を検査する場面では、常にクロスニコルを構成している。円偏光板でクロスニコルを構成するには、光源側から見た時に、第１の偏光部３Ａに含まれる位相差膜の遅相軸と第２の偏光部３Ｂに含まれる位相差膜の遅相軸が略平行となっている場合は、第１の偏光部３Ａに含まれる偏光フィルムの吸収軸と第２の偏光部３Ｂに含まれる偏光フィルムの吸収軸が略平行となっているように配置すればよい（配置α）。また、もう一つの構成として、光源側から見た時に、第１の偏光部３Ａに含まれる位相差膜の遅相軸と第２の偏光部３Ｂに含まれる位相差膜の遅相軸が略直交となっている場合は、第１の偏光部３Ａに含まれる偏光フィルムの吸収軸と第２の偏光部３Ｂに含まれる偏光フィルムの吸収軸が略直交となっているように配置してもよい（配置β）。前者の配置αによりクロスニコルを構成した場合には、第１の偏光部３Ａと第２の偏光部３Ｂを１枚の円偏光板を用いて構成できる。この第１の偏光部３Ａ及び第２の偏光部３Ｂを構成する位相差フィルタ３は、いわゆる無欠陥のものが採用される。
　被検査物１０から反射した光を観察するために、反射光の光路上、且つ、第２の偏光部３Ｂの両側のうち光源４がある側の位置に、ＣＣＤカメラ等を含む検出手段５を配置してもよい。例えば、ＣＣＤカメラと画像処理装置を組み合わせた画像処理解析により自動的に検出し、これによって被検査物の検査を行うことができる。或いは、検出手段５は部材ではなく、人間が第２の偏光部３Ｂを人が目視観察することであってもよい。また、適宜、光源４とＣＣＤカメラとの間には仕切り版があってもよい。
　また、検査装置１００は、被検査物１０に対する光の入射角θを変化させるように、検査台２０を傾けたり回転させたりする機構、又は、光源４、バンドパスフィルタ２、位相差フィルタ３の配置を傾けたり回転させたりする機構を備えていることが好ましい。これらの機構を動かすことで、剥離フィルム１６ａによって発現される位相差を調整することができ、観察視野の明るさを検査に適するように暗く調整することができる。
（検査方法）
　以下、検査装置１００を用いた円偏光板の検査方法について説明する。本実施形態の検査方法は、検査で使用する光として二つの波長を選定する工程（波長選定工程）と、その波長の光を用いて検査を行う工程（欠陥検査工程）を有している。
・波長選定工程
　円偏光板１を含む被検査物１０の検査を開始する前に、検査で使用する光の波長を選定する。検査で使用する光の波長は、以下に説明するとおり、試験片として用意した円偏光板の透過光を用いて選定することができる。
　透過光測定による波長選定工程（以下、単に「透過光測定」という）は、分光光度計（例えば、日本分光株式会社製の「Ｖ７１００」）を用いて行うことができる。かかる分光光度計では、光源（透過系光源）と、透過光量測定手段と有し、その透過系光源と、透過光量測定手段とを結ぶ光路上にサンプルを載置することで、透過系光源からサンプルに照射され、当該サンプルを透過した光（透過光）の光量を測定することができる。この透過光測定を、図３及び図４を参照して説明する。図３に示されているとおり、透過光測定に用いる測定器５００は、透過系光源４Ａ及び透過光量測定手段５Ａを有する。透過光測定に用いるサンプルとして、検査対象である被検査物１０が備える円偏光板１と同一構成を備える円偏光板の試験片（試験片１Ａ，１Ｂ）を２枚用意する。ここで「同一構成」とは、材料、厚さ、積層構成が実質的に同一であることを意味している。試験片１Ａは偏光フィルム１１Ａと位相差膜１４Ａを備え、試験片１Ｂは偏光フィルム１１Ｂと位相差膜１４Ｂを備えている。
　この試験片２枚を、位相差膜１４Ａ，１４Ｂ側が対向するように、かつ、これらの遅相軸ｐ，ｑのなす角度が、透過系光源４Ａの光路方向から見た場合に９０°以外の角度となるように配置する。図４（Ａ）は、試験片１Ａ，１Ｂの載置の要部を示す模式斜視図である。そして図４（Ｂ）は、位相差膜１４Ａ，１４Ｂの遅相軸のなす角度を示すため、試験片１Ａ，１Ｂを光路９方向からみた場合に、遅相軸ｐ，ｑのなす角度θ１が９０°以外であることを模式的に示す図である。この角度θ１は、１０°～８０°とすることが好ましく、２０°～７０°とすることがより好ましく、３０°～６０°とすることがさらに好ましい。このような角度θ１で配置することにより、欠陥検査に有用な波長を見出しやすくなる。
　その後、試験片１Ａ，１Ｂの偏光フィルム１１Ａ，１１Ｂのいずれか一方側から、光路９が試験片１Ａ，１Ｂ上の欠陥のない領域を通過するように、様々な波長の光を入射し、その他方側から偏光フィルム１１Ａ，１１Ｂを観察し、透過光量が最小となる波長を求める。このような市販の分光光度計は、透過系光源の波長を種々変更することができ、種々の波長の光のときの吸収光量を自動的に分析することができるので、最小波長をより簡便に求めることができる。
　当該波長の検討は、５００～６００ｎｍの間で行うことが好ましい。そして最小波長（透過光量が最小となった波長）を求めたら、その波長よりも５ｎｍ～５０ｎｍ大きい波長、及び、５ｎｍ～５０ｎｍ小さい波長の二種類を検査に用いる光の波長として採用する。例えば、最小波長が５６５ｎｍであった場合、その±３０ｎｍとして、５３５ｎｍ及び５９５ｎｍの二種類を検査に用いる光の波長として採用する。すなわち、検査では波長５３５ｎｍの光を透過させるバンドパスフィルタと、波長５９５ｎｍの光を透過させるバンドパスフィルタとの二つのバンドパスフィルタを用いることを決定する。これらのバンドパスフィルタは、透過させる光の波長のスペクトルの半値幅が±１０ｎｍであるものが好ましく、±５ｎｍであるものがより好ましい。これらのバンドパスフィルタは、透過させる光のスペクトルが互いに異なっており、最も透過させる光の波長も互いに異なっている。これらのバンドパスフィルタは、最も透過させる波長（ピーク波長）の光の半値幅が±１０ｎｍであるものが好ましく、±５ｎｍであるものがより好ましい。
・欠陥検査工程
　検査で使用する光の波長を決定したら、次に、被検査物１０の欠陥検査を行う。
　図１に示されているとおり、検査装置１００の内部のうち、検査台２０に被検査物１０を載置する。このとき、被検査物１０中の剥離フィルム１６ａや位相差膜１４を備える側が光源４側を向くとともに、円偏光板１の位相差膜１４の遅相軸と位相差フィルタ３が備える位相差膜の遅相軸とのなす角が光源４側から見たときに１０°～８０°となるように配置する。この角度は、１５°～５０°とすることが好ましく、２０°～４０°とすることがより好ましい。なお、本実施形態では第１の偏光部３Ａと第２の偏光部３Ｂとは同一の円偏光板（位相差フィルタ３）から構成されているので、被検査物１０から反射される光に関して第１の偏光部３Ａと第２の偏光部３Ｂとはクロスニコルの配置となっている。
　波長選定工程で見出した二つのバンドパスフィルタのうちの一方であるバンドパスフィルタ２を用意して検査装置１００内に配置する。光源４から、バンドパスフィルタ２へ光を入射する。このとき、被検査物１０に対する入射角（被検査物１０の表面に対する垂線を基準とする角度）θを例えば３°～３０°としてもよく、５°～２０°としてもよい。光源４が発する光が指向性が低い光である場合は、被検査物１０からの反射角（又は検出手段５による観察角度）が上記の角度範囲となるようにすることが好ましい。
　光源４が発した光はバンドパスフィルタ２を透過して、続いて第１の偏光部３Ａに入射し、これを透過して円偏光となる（光路９ａ）。第１の偏光部３Ａを透過した光は次に、被検査物１０に入射する。そして、被検査物１０中の剥離フィルム１６ａを透過し、理想的には円偏光板１を構成する位相差膜１４にて直線偏光に変換され、最終的に偏光フィルム１１で吸収される（光路９ａの終末）。ここで、第１の偏光部３Ａを透過した光の一部は被検査物１０中の剥離フィルム１６ａの表面で反射する（光路９ｂ）。この反射光は、第１の偏光部３Ａと第２の偏光部３Ｂとがクロスニコルを構成していることから、第２の偏光部３Ｂで遮断され（光路９ｂの終末）、このため検出手段５による第２の偏光部３Ｂの観察視野は暗くなっている。
　他方、被検査物１０に入射した光の一部は、被検査物１０中に存在する欠陥（例えば位相差膜１４と偏光フィルム１１との界面に存在する欠陥Ｄや、位相差膜１４中に存在する欠陥Ｄ’）の部分で反射が強くなる（光路９ｃ）。この反射光は、その欠陥Ｄ，Ｄ’に起因して位相差が理想よりもずれている（意図しない楕円偏光となっている）ので、偏光フィルムに吸収されず、その界面での反射光が生じる。この反射光は第２の偏光部３Ｂでは遮断されずに透過することとなる。これを検出手段５側から観察すると、欠陥部分が輝点として観察される。
　ここで、剥離フィルム１６ａが有する位相差（面内位相差）がこの検査の障害になる場合がある。すなわち、剥離フィルム１６ａが発現する位相差がバンドパスフィルタ２を透過した光の波長の整数倍になっている場合は剥離フィルム１６ａに入射した円偏光の偏光状態が乱されないが、多くの場合は整数倍になっていないので円偏光の偏光状態が乱され、図５に示すとおり、位相差膜１４によって直線偏光に変換できず、偏光フィルムに吸収されないため、その界面での反射光が生じる（光路９ｄ）。このため、第２の偏光部３Ｂを透過する透過光量が上がり、観察視野が明るくなる。これにより、本来観察したい欠陥部分の輝点が観察視野全体の明るさに埋もれてしまい、欠陥の判別が困難になる。また、剥離フィルム１６ａの位相差値の面内ばらつき又はロット毎のばらつきによって、本来輝点として観察されるべき欠陥が黒点として観察されてしまうことが起こりうる。
　これを解決するため、本実施形態の検査方法では被検査物１０に対する光の入射角θを変化させ、剥離フィルム１６ａが有する位相差の影響が小さくなるようにする。すなわち、入射角θを変化させれば剥離フィルム１６ａによって発現される位相差が変化するので、上記「整数倍」になる入射角θを探すことで観察視野を一層暗くすることができる。ここで、入射角θを変化させるためには、被検査物１０を様々に傾斜又は回転させてもよく（検査台２０ごと動かしてもよい）、光源４、バンドパスフィルタ２、位相差フィルタ３側を様々に傾斜又は回転させてもよい。このように、検査装置１００を構成する部材の相対的な位置関係を調整することによって入射角θを様々に変化させながら、剥離フィルム１６ａが有する位相差の影響が小さくなる角度を探す。被検査物１０側を傾斜させる場合は、円偏光板１の遅相軸方向を軸線方向として傾けてもよく、進相軸方向を軸線方向として傾けてもよい。
　検査を終えたら、バンドパスフィルタ２を、波長選定工程で見出した二つのバンドパスフィルタのうちの他方のバンドパスフィルタに差し替えて、再度同様の検査を行う。この二度にわたる検査によって、第２の偏光部３Ｂが透過する光の光量が最小になる波長よりも５ｎｍ～５０ｎｍ大きい波長の光、及び、５ｎｍ～５０ｎｍ小さい波長の光を検査に用いることになるので、一方のバンドパスフィルタでは青点ムラが強調されて見え、他方のバンドパスフィルタでは赤点ムラが強調されて見える。したがって、観察視野全体の明るさを十分に暗く抑えた状況下で、青点ムラ及び赤点ムラの両方の有無を検査することができる。
　以上に示した検査方法によれば、円偏光板の欠陥の有無を容易に判断することができる。また、この検査方法は反射型の検査方法であるので、透過型の検査方法と比べて被検査物１０中の光路が長くなり、透過型の検査方法では検出が困難であった皺等の変形欠陥も容易に検出することができる。なお、図１では円偏光板１のうち位相差膜１４に欠陥がある場合について示したが、偏光フィルム１１に欠陥がある場合でも本実施形態の検査方法によって欠陥を検出することができる。
　本発明の検査方法は、その検出感度を上げるために、暗室などの外光が遮断されている状態で行うことが好ましい。また、被検査物１０を透過した光が検査台２０で反射してなる反射光を極力抑える観点から、検査台２０の被検査物１０の載置面は、低反射処理がなされていることが好ましい。
＜第２の実施形態＞
　第２の実施形態の検査方法について説明する。第２の実施形態の検査方法が第１の実施形態の検査方法と異なる点は、第１の偏光部３Ａと第２の偏光部３Ｂの円偏光板に変えて、直線偏光板を用いる点である。
（検査装置と被検査物）
　図６に示されているとおり、検査装置２００は、光源４、バンドパスフィルタ２、第１の直線偏光板７Ａがこの順に配置され、かつ、第１の直線偏光板７Ａの隣に並べられるようにして第２の直線偏光板７Ｂが配置されてなるものである。第１の直線偏光板（第１の偏光部）７Ａと第２の直線偏光板（第２の偏光部）７Ｂとは面が互いに平行で略同一面上に並んでいる。検査装置２００におけるその他の構成は第１の実施形態における検査装置１００のものと同様である。
　第１の直線偏光板７Ａ、及び、第２の直線偏光板７Ｂは、被検査物１０を検査する場面では、常に互いにクロスニコルを構成するようにその向きが調整される。このとき、第２の直線偏光板７Ｂに入射する光は被検査物１０で反射した反射光であることに留意する。そして、第１の直線偏光板７Ａ及び第２の直線偏光板７Ｂは、いわゆる無欠陥のものが採用される。
（検査方法）
　以下、検査装置２００を用いた円偏光板の検査方法について説明する。円偏光板を含む被検査物１０の検査を開始する前に、検査で使用する光の波長を選定する。
・波長選定工程
　波長選定工程は、第１の実施形態におけるものと同様である。
・欠陥検査工程
　検査で使用する光の波長を決定したら、次に、被検査物１０の欠陥検査を行う。
　検査装置２００を用いた検査方法は、以下のとおりである。はじめに、検査装置２００の内部のうち、検査台２０に被検査物１０を載置する。そして、光源４から見て第１の直線偏光板７Ａ及び第２の直線偏光板７Ｂの向こう側に被検査物１０を配置する。このとき、被検査物１０中の剥離フィルム１６ａや位相差膜１４を備える側が光源４側を向くとともに偏光フィルム１１の吸収軸と第１の直線偏光板７Ａの吸収軸とのなす角が光源４側から見たときに４５°となるように配置する。この角度は０°以上９０°以下の値をとりうるものとし、９０°を超える角度は、０°以上９０°以下の値で表現するものとする。ここで、第１の直線偏光板７Ａは被検査物１０に入射する前の光が透過するように、かつ、第２の直線偏光板７Ｂは被検査物１０が反射した光が入射するように、光源４と検出手段５との位置関係を調整する。そして、第１の直線偏光板７Ａが第２の直線偏光板７Ｂとクロスニコルを構成するように調整する。
　波長選定工程で見出した二つのバンドパスフィルタのうちの一方であるバンドパスフィルタ２を用意して検査装置２００内に配置する。光源４から、バンドパスフィルタ２へ光を入射する。このとき、被検査物１０に対する入射角（被検査物１０の表面に対する垂線を基準とする角度）θを例えば３°～３０°としてもよく、５°～２０°としてもよい。光源４が発する光が指向性が低い光である場合は、被検査物１０からの反射角（又は検出手段５による観察角度）が上記の角度範囲となるようにすることが好ましい。
　光源４が発した光はバンドパスフィルタ２を透過して、続いて第１の直線偏光板７Ａに入射し、これを透過して直線偏光となる（光路９ａ）。次に被検査物１０に入射する（光路９ａ）。そして、被検査物１０中の剥離フィルム１６ａを透過し、円偏光板１を構成する位相差膜１４にて円偏光に変換され、その円偏光の吸収軸方向成分が偏光フィルム１１で吸収される（光路９ａの終末）。ここで、第１の直線偏光板７Ａを透過した光の一部は被検査物１０中の剥離フィルム１６ａの表面で反射する（光路９ｂ）。この反射光は、第１の直線偏光板７Ａと第２の直線偏光板７Ｂとがクロスニコルを構成するように配置されていることから、第２の直線偏光板７Ｂで遮断される（光路９ｂの終末）。このため検出手段５による第２の直線偏光板７Ｂの観察視野は欠陥が観察できる程度には暗くなっている。
　他方、被検査物１０に入射した光の一部は、被検査物１０中に存在する欠陥（例えば位相差膜１４と偏光フィルム１１との界面に存在する欠陥Ｄや、位相差膜１４中に存在する欠陥Ｄ’）の部分で反射が強くなる（光路９ｃ）。この反射光は、その欠陥Ｄ，Ｄ’に起因して位相差が理想よりもずれている（意図しない楕円偏光となっている）ので、そのずれの分だけ偏光フィルム１１での光の吸収量や第２の直線偏光板７Ｂの光の吸収量が正常部と比較し小さくなり、第２の直線偏光板をその光が透過することとなる。これを検出手段５側から観察すると、欠陥部分が輝点として観察される。
　本実施形態において剥離フィルム１６ａが有する位相差の影響を小さくする方法や本実施形態の効果が奏される原理は、第１の実施形態におけるものと同様である。
　以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に何ら限定されるものではない。例えば、第１の実施形態では、第１の偏光部３Ａと第２の偏光部３Ｂとを一枚の位相差フィルタ３に担わせていたが、第１の偏光部３Ａと第２の偏光部３Ｂをそれぞれ別の位相差フィルタとして用意してもよい。
　また、上記実施形態の波長選定工程では透過光を利用して最小波長を求めたが、代わりに反射光を利用して最小波長を求めてもよい。例えば、鏡などの反射板に円偏光板１を配置した積層体を準備し、光源から任意の波長の光を前記積層体に入射させる。前記積層体から反射した光を検出手段で観察し、透過光量を確認する。次に、波長を変えた光を照射し、その透過光量を確認する。このように、波長を様々に変えた光で透過光量を測定し、その透過光量が最小となる波長を求めることができる。
　本発明は、円偏光板の品質検査に利用することができる。
　１…円偏光板、１Ａ、１Ｂ…試験片（円偏光板）、２…バンドパスフィルタ、３…位相差フィルタ、３Ａ…第１の偏光部、３Ｂ…第２の偏光部、４…光源、４Ａ…透過系光源、５…検出手段、５Ａ…透過光量測定手段、７Ａ…第１の直線偏光板（第１の偏光部）、７Ｂ…第２の直線偏光板（第２の偏光部）、９（９ａ，９ｂ，９ｃ）…光路、１０…被検査物、１１（１１Ａ、１１Ｂ）…偏光フィルム、１２ａ，１２ｂ…保護フィルム、１３…粘着剤層、１４（１４Ａ、１４Ｂ）…位相差膜、１５…粘着剤層、１６ａ…剥離フィルム、１６ｂ…表面保護フィルム、２０…検査台、１００，２００…検査装置、５００…測定器、Ｄ，Ｄ’…欠陥、ｐ，ｑ…位相差膜の遅相軸方向、θ…入射角、θ１…遅相軸同士がなす角度。

Claims (7)

  1. 　偏光フィルムと位相差膜とが積層されてなる円偏光板、及び、前記円偏光板の前記位相差膜側に積層されポリエチレンテレフタレート系樹脂からなる剥離フィルムを備えるフィルム状の被検査物の欠陥の有無を判断する検査方法であって、
    　光源と、
    　所定の波長の光を透過させるバンドパスフィルタと、
    　第１の偏光部と、
    　前記剥離フィルム側を前記第１の偏光部側へ向けた前記被検査物と、を前記光源が発する光の光路上にこの順に並ぶように、かつ、
    　前記第１の偏光部とクロスニコルを構成する第２の偏光部を前記被検査物によって反射される前記光の光路上に配置し、
    　前記バンドパスフィルタに前記光源の光を入射し、
    　前記剥離フィルムが有する位相差の影響が小さくなるように前記被検査物への前記光の入射角を変化させ、
    　前記被検査物によって反射された前記光を前記第２の偏光部側から観察して前記円偏光板の欠陥の有無を判断する、検査方法。
  2. 　前記バンドパスフィルタを用いて検査を行った後に、前記バンドパスフィルタが最も透過させる光の波長とは別の波長の光を最も透過させるバンドパスフィルタを用いて検査を行う、請求項１記載の検査方法。
  3. 　前記検査を行う前に、
    　光源と、
    　前記被検査物が備える前記円偏光板と同一構成である円偏光板の試験片を２枚用意し、　前記２枚の試験片を位相差膜側が対向するように配置し、かつ、前記位相差膜の遅相軸同士のなす角度が、前記光源の光路方向から見た場合に９０°以外の角度となるように配置し、
    　前記試験片の偏光フィルムのいずれか一方側から、前記光路が前記試験片上の欠陥のない領域を通過するように、様々な波長の光を入射し、その他方側から偏光フィルムを観察し、透過光量が最小となる波長を求め、その波長よりも５ｎｍ～５０ｎｍ大きい波長及びその波長よりも５ｎｍ～５０ｎｍ小さい波長の少なくとも一つの波長を前記所定の波長として採用することを決定する、請求項１又は２記載の検査方法。
  4. 　前記第１の偏光部及び前記第２の偏光部は、いずれも円偏光板である、請求項１～３のいずれか一項記載の検査方法。
  5. 　前記第１の偏光部及び前記第２の偏光部は、共通する一枚の円偏光板から構成されている、請求項１～４のいずれか一項記載の検査方法。
  6. 　前記第１の偏光部及び前記第２の偏光部は、いずれも直線偏光板である、請求項１～３のいずれか一項記載の検査方法。
  7. 　前記位相差膜は、重合性液晶化合物の硬化物からなるものである、請求項１～６のいずれか一項記載の検査方法。
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