JPH11153517A

JPH11153517A - プラズマディスプレイパネル背面板の障壁欠陥目視検査装置およびプラズマディスプレイパネル背面板の障壁欠陥検査方法

Info

Publication number: JPH11153517A
Application number: JP10153993A
Authority: JP
Inventors: Hiromi Maeda; 博己前田
Original assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Current assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Priority date: 1997-09-19
Filing date: 1998-05-19
Publication date: 1999-06-08

Abstract

(57)【要約】【課題】観察姿勢に無理がなく、ＰＤＰの障壁の呈色
によらず検査が可能で、大型のＰＤＰ背面板にも対応で
きるＰＤＰ背面板の障壁欠陥の検査方法を提供する。【解決手段】プラズマディスプレイパネルの背面板に
形成される障壁の欠陥を、背面板の障壁形成側でない面
側において目視にて検査する検査装置であって、隣接す
る障壁の相対する壁面の一方の下端と他方の上端と結ぶ
線とガラス基板とのなす第１の角θ１および第２の角
（１８０°−θ１）に等しい角度で、背面板の障壁形成
面側へほぼ平行な光を照射する平行光照射光源部を備え
たものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、プラズマディスプ
レイパネル背面板の障壁欠陥の検査装置および検査方法
に関し、特に、大型のプラズマディスプレイパネル背面
板へ適用できる検査装置および検査方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、プラズマディスプレイパネル（以
下ＰＤＰとも記す）は、その奥行きの薄いこと、軽量で
あることから種々の表示装置に利用されつつある。一般
に、プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）は、２枚の
対向するガラス基板にそれぞれ規則的に配列した一対の
電極を設け、その間にネオン、キセノン等を主体とする
ガスを封入した構造となっている。そして、これらの電
極間に電圧を印加し、電極周辺の微小なセル内で放電を
発生させることにより、各セルを発光させて表示を行う
ようにしている。特に情報表示をするためには、規則的
に並んだセルを選択的に放電発光させている。

【０００３】ここで、ＰＤＰの構成を、図７に示すＡＣ
型ＰＤＰの１例を挙げて説明しておく。図７はＰＤＰ構
成斜視図であるが、分かり易くするため前面板（ガラス
基板７１０）、背面板（ガラス基板７２０）とを実際よ
り離して示してある。図７に示すように、２枚のガラス
基板７１０、７２０が互いに平行に且つ対向して配設さ
れており、両者は背面板となるガラス基板７２０上に互
いに平行に設けられた障壁（セル障壁とも言う）７３０
により、一定の間隔に保持されている。前面板となるガ
ラス基板７１０の背面側には、放電維持電極である透明
電極７４０とバス電極である金属電極７５０とで構成さ
れる複合電極が互いに平行に形成され、これを覆って、
誘電体層７６０が形成されており、更にその上に保護層
（ＭｇＯ層）７７０が形成されている。また、背面板と
なるガラス基板７２０の前面側には前記複合電極と直交
するように障壁７３０間に位置してアドレス電極７８０
が互いに平行に形成されており、更に障壁７３０の壁面
とセル底面を覆うように螢光面７９０が設けられてい
る。障壁７３０は放電空間を区画するためのもので、区
画された各放電空間をセルないし単位発光領域と言う。
このＡＣ型ＰＤＰは面放電型であって、前面板上の複合
電極間に交流電圧を印加し、で放電させる構造である。
この場合、交流をかけているために電界の向きは周波数
に対応して変化する。そして、この放電により生じる紫
外線により螢光体７９０を発光させ、前面板を透過する
光を観察者が視認できるものである。なお、ＤＣ型ＰＤ
Ｐにあっては、電極は誘電体層で被膜されていない構造
を有する点でＡＣ型と相違するが、その放電効果は同じ
である。また、図７に示すものは、ガラス基板７２０の
一面に下地層７６７を設けその上に誘電体層７６５を設
けた構造となっているが、下地層７６７、誘電体層７６
５は必ずしも必要としない。

【０００４】そして、このＰＤＰに使用する障壁の形成
は、従来、ガラス基板上に障壁形成材料を障壁パターン
形状に、スクリーン印刷にて複数回繰り返して重ねて印
刷して所要の高さに積み上げ、乾燥させる第１の方法、
あるいは、ガラス基板上に障壁形成材料を全面に塗布し
た後、塗布面上にサンドブラストに耐性を有するレジス
トを所定形状にパターニング形成し、該レジストをマス
クとしてサンドブラストにより障壁形成材料を所定形状
に形成する第２の方法が採られていた。

【０００５】しかし、上記第１の方法や第２の方法によ
るＰＤＰに使用する障壁の形成においては、障壁の一部
が欠落していたり、また一部に突起が生じることがあ
り、これらはＰＤＰとして使用する上で画像品質面に影
響を及ぼすことがあった。従来、ＰＤＰの画像品質に影
響を及ぼす欠落（凹欠陥ないし凹不良とも言う）や突起
（凸欠陥ないし凸不良とも言う）を除外するために、障
壁を形成した基板（背面板）について、一般には、図６
（ａ）に示すような検査を行っていた。図６（ａ）に示
す検査方法は、ガラス基板６５０に対し、障壁６６０形
成側とは反対側から全面に拡散光６１７を照射し、適当
な角度θ６０を保ちつつ視点をＤ１からＤ２へとガラス
基板（ＰＤＰ背面板）６５０に平行に移動させて、ＰＤ
Ｐ画質に影響を及ぼす障壁の欠落（凹欠陥）や突起（凸
欠陥）を検出するのである。この方法の場合、図６
（ａ）に示すように、観察者の目線６９０は、隣接する
障壁６６０の相対する壁面６６０Ａの一方の下端と他方
の上端とを結ぶ直線の延長線上にほぼある。即ち、角θ
６０は隣接する障壁の一方の下端と他方の上端とを結ぶ
線の延長線とガラス基板とのなす角θ６１（図６（ｂ）
に示す）に略合わせている。障壁部が正常な場合は、ガ
ラス基板を透過した光とガラス基板とのなす角度が、角
θ６１より浅い（小さい）角度では光は観察者の目６１
０には入らず、角度θ６１と略等しいものが観察者の目
６１０に入ることとなり、所定の明るさで均一に見え
る。そして、図６（ｂ）に示すように、欠落（凹欠陥）
６８０がある場合には、ガラス基板を透過した光とガラ
ス基板とのなす角度が、角θ６１より浅い（小さい）角
度でもその光は観察者の目に入る。即ち、正常の箇所に
比べて欠落（凹欠陥）６８０箇所は観察者の目に入る光
の量が多く明るく見える。通常検査光は白色光なので白
点（以下白点と言う）として見える。また、突起（凸欠
陥）６８５がある場合には、ガラス基板を透過した光と
ガラス基板とのなす角度が、角θ６１より大きい角度で
も、その光は観察者の目に入らない。即ち、角度θ６１
と略等しい角度でガラス基板を透過した光が観察者の目
に入らなくなる。正常の箇所に比べて突起（凸欠陥）６
８５箇所は観察者の目に入る光の量が少なく暗く見え
る。通常検査光は白色光なので黒点（以下黒点と言う）
として見える。このように、観察者の目線の角度を角度
θ６１に調整しながら、観察することにより、突起（凸
欠陥）６８５がある箇所および欠落（凹欠陥）６８０
を、それぞれ、黒点箇所、白点箇所として認識すること
ができる。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかし、この図６に示
す検査方法においては、ある欠陥に対して、それが観察
される視点、観察姿勢が限定されるという問題や、この
検査方法を大型ＰＤＰ背面板の検査へそのまま適用する
ことができない（上記角θ６１に対応する観察姿勢がと
れなくなる領域が発生する）という問題があり、その対
応が求められていた。また、障壁の呈色が白色系の場
合、この方法では、黒点、白点のコントラストが低いた
め欠陥検出が困難であった。本発明は、このような状況
のもと、観察姿勢に無理がなく、大型背面板にも対応で
きる、更に障壁の呈色にかかわらず目視による欠陥検出
が可能なＰＤＰ背面板の障壁の検査方法を提供しようと
するものである。同時に、欠陥検出が容易な、撮影した
撮影画像に基づくＰＤＰ背面板の障壁の検査方法を提供
するものである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明のプラズマディス
プレイパネル背面板の障壁欠陥目視検査装置は、プラズ
マディスプレイパネルの背面板に形成される障壁の欠陥
を、背面板の障壁形成側でない面側において目視にて検
査する検査装置であって、隣接する障壁の相対する壁面
の一方の下端と他方の上端とを結ぶ直線とガラス基板と
のなす第１の角θ１および第２の角（１８０°−θ１）
に等しい角度で、背面板の障壁形成面側へほぼ平行な光
を照射する平行光照射光源部を備えたものであることを
特徴とするものである。そして、上記における平行光照
射光源部は、拡散光面光源からの光をルーバーにより、
第１の角θ１あるいは第２の角（１８０°−θ１）に等
しい角度のほぼ平行な光とするものであることを特徴と
するものである。そしてまた、上記における平行光照射
光源部は、第１の角θ１あるいは第２の角（１８０°−
θ１）に等しい角度に合わせたほぼ平行な光をプラズマ
ディスプレイパネル背面板よりも小領域に照射する平行
光源部を平行移動してプラズマディスプレイパネル背面
板の検査領域を照射するものであることを特徴とするも
のである。尚、ここで言う、第１の角θ１あるいは第２
の角（１８０°−θ１）に等しい角度に合わせたほぼ平
行な光とは、角θ１±α、あるいは角（１８０°−θ
１）±αをもつ光のことで、αが小であることを意味す
る。また、ルーバーとは光源からの光をほぼ平行な光と
して照射するための、非反射体（光吸収体）からなる平
行な板群からなる光学機材のことを意味する。

【０００８】本発明のプラズマディスプレイパネル背面
板の障壁欠陥検査方法は、プラズマディスプレイパネル
の背面板に形成される障壁の欠陥を、背面板の障壁形成
側でない面側において観察して、あるいは撮影した撮影
画像に基づき検査する方法であって、隣接する障壁の相
対する壁面の一方の下端と他方の上端とを結ぶ直線とガ
ラス基板とのなす第１の角θ１および第２の角（１８０
°−θ１）に等しい角度で、背面板の障壁形成面側へほ
ぼ平行な光を照射し、且つ、背面板の障壁形成側でない
面側の輝度分布状態を直接観察して、または撮影された
画像を観察して、または撮影された画像データを画像処
理して、凸欠陥箇所および凹欠陥箇所を検出することを
特徴とするものである。そして、上記において、検査を
暗室内ないし暗幕内で行うことを特徴とするものであ
る。

【０００９】

【作用】本発明のＰＤＰ背面板の障壁欠陥目視検査装置
は、このような構成にすることにより、観察姿勢に無理
がなく、大型のＰＤＰ背面板にも対応できるＰＤＰ背面
板の障壁欠陥検査方法を提供できるものとしている。ま
た、障壁の呈色にもかかわらず欠陥部位を確認できるも
のとしている。詳しくは、背面板の障壁形成側でない面
側で観察するため、背面板を通過する光は散乱光とな
り、視線の方向によらずほぼ同じ傾向を示すため、背面
板と観察者の視点の位置、角度関係に自由度が大きくな
り、結果、大型の背面板への適用も可能となる。具体的
には、ＰＤＰ背面板の障壁欠陥を、ＰＤＰ背面板の障壁
形成側でない面側において目視にて検査する検査装置で
あって、隣接する障壁の相対する壁面の一方の下端と他
方の上端とを結ぶ直線とガラス基板とのなす第１の角θ
１および第２の角（１８０°−θ１）に等しい角度で、
ＰＤＰ背面板の障壁形成面側へほぼ平行な光を照射する
平行光照射光源部を備えたものであることにより、これ
を達成している。更に具体的には、平行光照射光源部
が、拡散光面光源からの光をルーバーにより、第１の角
θ１あるいは第２の角（１８０°−θ１）に等しい角度
のほぼ平行な光とするものであることにより、あるい
は、平行光照射光源部が、第１の角θ１あるいは第２の
角（１８０°−θ１）に等しい角度に合わたほぼ平行な
光をブラズマディスプレイパネル背面板よりも小領域に
照射する平行光源部を平行移動してプラズマディスプレ
イパネル背面板の検査領域を照射するものであることに
より、これを達成している。

【００１０】本発明のプラズマディスプレイパネル背面
板の障壁欠陥検査方法は、このような構成にすることに
より、比較的簡単に、直接観察により、または撮影され
た画像を観察して、または撮影された画像データを画像
処理して、プラズマディスプレイパネルの背面板に形成
される障壁の欠陥を検出できるものとしている。

【００１１】

【実施の形態】本発明のプラズマディスプレイパネル背
面板の障壁欠陥目視検査装置の実施の形態を挙げ、図に
基づいて説明する。先ず、本発明のプラズマディスプレ
イパネル背面板の障壁欠陥目視検査装置の実施の形態の
第１の例を挙げる。図１（ａ）は装置概略図で、図１
（ｂ）は図１（ａ）のＡ１、Ａ２方向から見た概略断面
図で、図１（ｃ）は照射される略平行光の基板への入射
角度θを説明するための図で、図２（ａ）は欠陥検出を
説明するための断面図で、図２（ｂ）は検査結果の１例
を示した概略図である。尚、図１（ｂ）（イ）と図１
（ｂ）（ロ）とはルーバーの角度を変えた場合の断面図
を示し、図１（ｃ）（イ）、図１（ｃ）（ロ）とは、図
１（ｂ）（イ）、図１（ｂ）（ロ）にそれぞれ対応する
検査用照明光の角度を説明するための断面図を示してい
る。図１、図２中、１００は検査装置、１１０は平行光
照射光源、１１１は拡散光面光源、１１３はルーバー、
１１７検査用照明光、１１９は検査光、１５０はガラス
基板（ＰＤＰ背面板とも言う）、１６０は障壁、１６０
Ａは壁面、１７０は基板保持部、１８０は凹欠陥、１８
０Ａは白点、１８５は凸欠陥、１８５Ａは黒点、１９０
は目線（視線とも言う）、２１０は平行光源、２１７は
検査用照明光、２３０は走査部である。図１（ａ）に示
すように、検査装置１００は、ＰＤＰ基板障壁の欠陥
を、ＰＤＰ基板１５０の障壁形成側でない面側において
目視にて検査する検査装置である。そして、図１（ｃ）
に示すように、隣接する障壁の相対する壁面１６０Ａの
一方の下端と他方の上端とを結ぶ直線とガラス基板１５
０とのなす第一の角θ１および第２の角（１８０°−θ
１）に等しい角度で、ガラス基板１５０の障壁形成面側
へほぼ平行な光を照射する平行光照射光源部１１０を備
えたものである。図１に示す例においては、平行光照射
光源部１１０として、図１（ｂ）に示す、拡散光面光源
１１１からの光をルーバー１１３により、第一の角θ１
あるいは第２の角（１８０°−θ１）に等しい角度のほ
ぼ平行な光とするものが用いられている。前にも述べた
通り、ルーバーとは光源からの光をほぼ平行な光として
照射するための、非反射体（光吸収体）からなる平行な
板群からなる光学機材のことで、通常、黒色の平板が用
いられ、板の両端にて平行な板群の角度を調整できるよ
うになっている。

【００１２】障壁としては、通常、黒色の高さ１００〜
１５０μｍ、ピッチ２２０μｍ程度、幅５０〜１００μ
ｍのものが用いられるが、これに限定はされない。白色
系の障壁でも検査可能である。

【００１３】図１に示す検査装置１００の欠陥検査の原
理を図２に基づいて簡単に説明しておく。図１（ｂ）
（イ）に相当する図２（ａ）（イ）に示すように、検査
用照明光１１７の方向とガラス基板１５０とのなす角度
θをθ１に合わせておき、欠陥部のない領域を目視検査
すると、若干の角度が略θの光（角度がθ１＋αの光
で、αは小）のみがガラス基板１５０を透過して検査光
１１９として検出されるが、欠陥がないため検出光はほ
ぼ均一となる。若干の角θ１より大きい光（図１（ｃ）
（イ）参照）がガラス基板１５０に入るため、観察者に
は薄暗く全体が見える。ガラス基板１５０を通過した検
出光は各位置において、種々の方向へ散乱されるが、各
方向への光の強さにはそれぞれの位置による差はなく、
観察者の視線の方向によらず均一に見える。図２（ａ）
（ロ）に示すように、凹欠陥１８０がある（θ２＞θ
１）場合、この部分ではガラス基板１５０に入る角θ１
の平行光の量が多くなる。即ちこの部分では透過する光
の量が他の箇所よりも多くなる。また、凸欠陥１８５が
ある（θ３＜θ１）場合、この部分では、ガラス基板を
１５０を透過できる光の角度範囲が狭くなり、角θ１の
平行光が透過しないようになる。そして、凹欠陥１８０
や凸欠陥１８５がある場合、その箇所における種々の方
向へ散乱される検出光１１９の、各方向の光の強さは欠
陥の種類により影響を受ける。これより、基板と観察者
の視点の位置、角度関係に大きく影響されずに、凹欠
陥、凸欠陥を認識することができる。即ち、欠陥部のな
い領域は薄暗く、図３（ａ）（ロ）に示す凹欠陥部は明
るく、凸欠陥部はほぼ真っ暗に観察される。同様に、図
１（ｃ）（ロ）に示す角度で検査用照明光１１７を当て
ると、それに対応した方向にある凹欠陥、凸欠陥を検出
することができる。結局、このことは、図１（ｃ）
（イ）に示す角度、および図１（ｃ）（ロ）に示す角度
で検査用照明光１１７を当てることにより、ガラス基板
１５０の障壁１６０の、ＰＤＰ画質に影響する全ての凹
欠陥、凸欠陥を観察者が特定の方向からではなく検出す
ることができることを意味している。即ち、観察者に無
理な姿勢を強いることなく欠陥の検出を可能としてお
り、更に、大型のＰＤＰ背面板の障壁欠陥検査にも対応
できることを意味している。

【００１４】図２（ｂ）は検査結果の１例を示した概略
図であるが、図２（ａ）（ロ）に示す凸欠陥１８５の箇
所は黒点１８５Ａ、図２（ａ）（ロ）に示す凹欠陥１８
０の箇所は白点１８０Ａとして観察される。尚、検出の
感度を確保するために、検査を暗室内ないし暗幕内で行
うことが必要である。

【００１５】次いで、本発明のプラズマディスプレイパ
ネル背面板の障壁欠陥目視検査装置の実施の形態の第２
の例を挙げる。第２の例は、第１の例における平行光照
射光源１１０を、小領域を照射する平行光源部２１０を
平行移動してＰＤＰ背面板の検査領域全体を照射するも
のとしたもので、照射する平行光を図３（ａ）に示すよ
うに第１の例における第１の角θ１に等しい角度に合わ
せて、平行光源２１０を走査部２３０によりガラス基板
１５０に対し平行移動させ、検査領域全体を照射する。
更に、照射する平行光を図３（ｂ）に示すように第１の
例における第２の角（１８０°−θ１）に等しい角度に
合わせて、平行光源部２１０を走査部２３０によりガラ
ス基板１５０に対し平行移動させ、検査領域全体を照射
する。尚、図３中の矢印２３５は移動方向を示したもの
である。

【００１６】第１の例は検査領域を検査用照明光１１７
により一括照射して検査するもので、第２の例のもの
は、狭い領域のみを照射する検査用照明光２１７を用い
順次その照射領域を変え検査領域全体を照射するもの
で、第１の例の方が作業性や操作性は優れるが、基本的
な欠陥検出の原理は両者同じである。

【００１７】次に、本発明のプラズマディスプレイパネ
ル背面板の障壁欠陥検査方法の実施の形態の１例とし
て、撮影手段により画像データを取り込み、得られた画
像データを画像処理して、欠陥部を検出する例を挙げ
る。図４は本例の障壁検査方法の１例のフローを示した
図であり、図５は図４に示す本例の方法を実施するため
の装置の概略構成を示した図である。以下、図４、図５
に基づいて、本例を説明する。尚、図４中、Ｓ４１０〜
Ｓ４４０は処理ステップを示したものである。図５に示
すようにして、エリアセンサカメラである撮影手段５３
０により、撮影された検査領域全体の撮影画像を得る。
（Ｓ４１０）撮影に際し、隣接する障壁の相対する壁面の一方の下端
と他方の上端とを結ぶ直線とガラス基板とのなす第１の
角θ１でほぼ平行な光５１０、および第２の角（１８０
°−θ１）に等しい角度でほぼ平行な光５１５を背面板
５２０の障壁形成面５２０Ａ側へ照射する。本例では、
光５１０、５１５は、別々に照射して、それぞれ撮影す
るが、場合によっては、光５１０、５１５は同時に照射
して撮影しても良い。撮影手段５３０により得られた、
撮影画像は、Ａ／Ｄ変換部５４０にて、各画素毎にＡ／
Ｄ変換（Ｓ４２０）され、画像処理部５５０に送られ
る。画像処理部５５０では、得られた画像データ信号の
シェーディング補正、ノイズの除去を行い、障壁の欠陥
を抽出するが、簡単には、隣接する障壁に対応するそれ
ぞれの画像データ間で、対応する画素毎に差分をとり、
更に必要に応じ欠陥部を強調する強調処理を行った後、
不良判定レベルと比較して、不良箇所を抽出する。（Ｓ
４３０）具体的には、試料の同一箇所において複数回（Ｎ回とす
る）、撮影手段５３０により撮影し、画像信号を得て、
得られたＮ回分の画像信号を積算、平均処理ことによ
り、ビデオ信号等で発生するランダムノイズは１／Ｎ
^1/2となりランダムノイズは除去できる。そして、ラン
ダムノイズを除去した隣接する障壁に対応する画像デー
タ間で、対応する画素毎に差分をとることにより、照明
ムラ、撮像面の感度ムラ等による緩やかな信号変化（シ
ェーディング）や撮像する位置の移動により変化しない
信号分（例えば、光学系に付着したゴミによる信号の局
部的変化）も除去される。更に、シェーディングやラン
ダムノイズを除去した画像データに対し、空間フィルタ
ー等を用いて微分処理（差分をとる処理）を施して欠陥
部を強調する処理が強調処理である。この後、不良箇所
位置を演算し（Ｓ４３５）、その位置をモニター５６０
へ表示する。（Ｓ４４０）

【００１８】図４に示す例では、撮影手段のエリアセン
サカメラとしては、ＣＣＤ素子からなるエリアセンサを
用い検査領域全体を撮影したが、ラインセンサ等の線状
領域撮影手段を移動させて、検査領域全体を撮影しても
良い。尚、図５においては、装置全体の制御は制御部５
７０にて行う。

【００１９】また、検出する欠陥のサイズや障壁のピッ
チやサイズによっては、撮影画像をそのままモニターに
表示して、これを観察して欠陥部を検出しても良い。勿
論、人が、直接観察して欠陥部を検出しても良い。尚、
いずれの場合においても、検査を暗室内ないし暗幕内で
行うことが、欠陥の検出感度の面からは好ましい。

【００２０】

【発明の効果】本発明は、上記のように、観察姿勢に無
理がなく、大型のＰＤＰ背面板にも対応できるＰＤＰ背
面板の障壁欠陥の検査方法の提供を可能としている。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のプラズマディスプレイパネル背面板の
障壁欠陥目視検査装置の実施の形態の第１の例を示した
概略図

【図２】欠陥検出を説明するための断面図

【図３】本発明のプラズマディスプレイパネル背面板の
障壁欠陥目視検査装置の実施の形態の第２の例の特徴部
を示した概略図

【図４】本発明のプラズマディスプレイパネル背面板の
障壁欠陥検査方法の実施の形態の１例のフロー図

【図５】本発明のプラズマディスプレイパネル背面板の
障壁欠陥検査方法の実施の形態の１例を実施するための
装置の概略構成図

【図６】従来のＰＤＰ基板障壁の欠陥検出方法を説明す
るための図

【図７】ＰＤＰ基板を説明するための図

【符号の説明】

１００検査装置１１０平行光照射光源１１１拡散光面光源１１３ルーバー１１７検査用照明光１１９検査光１５０ガラス基板（ＰＤＰ背面板）１６０障壁（セル障壁）１６０Ａ壁面１７０基板保持部１８０凹欠陥１８０Ａ白点１８５凸欠陥１８５Ａ黒点１９０目線（視線）２１０平行光源２１７検査用照明光２３０走査部２３５移動方向（走査方向）５１０、５１５光５２０背面板５２０Ａ障壁形成面５３０撮影手段５４０Ａ／Ｄ変換部５５０画像処理部５６０モニター５７０制御部６１０観察者の目６１７拡散光６５０ガラス基板（ＰＤＰ背面板）６６０障壁（セル障壁）６６０Ａ壁面６８０欠落（凹欠陥）６８５突起（凸欠陥）６９０目線（視線）７１０、７２０ガラス基板７３０障壁（セル障壁）７４０透明電極７５０金属電極７６０、７６５誘電体層７６７下地層７７０保護層（ＭｇＯ層）７８０アドレス電極７９０螢光体

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】プラズマディスプレイパネルの背面板に
形成される障壁の欠陥を、背面板の障壁形成側でない面
側において目視にて検査する検査装置であって、隣接す
る障壁の相対する壁面の一方の下端と他方の上端とを結
ぶ直線とガラス基板とのなす第１の角θ１および第２の
角（１８０°−θ１）に等しい角度で、背面板の障壁形
成面側へほぼ平行な光を照射する平行光照射光源部を備
えたものであることを特徴とするプラズマディスプレイ
パネル背面板の障壁欠陥目視検査装置。
【請求項２】請求項１における平行光照射光源部は、
拡散光面光源からの光をルーバーにより、第１の角θ１
あるいは第２の角（１８０°−θ１）に等しい角度のほ
ぼ平行な光とするものであることを特徴とするプラズマ
ディスプレイパネル背面板の障壁欠陥目視検査装置。
【請求項３】請求項１における平行光照射光源部は、
第１の角θ１あるいは第２の角（１８０°−θ１）に等
しい角度に合わせたほぼ平行な光をプラズマディスプレ
イパネル背面板よりも小領域に照射する平行光源部を平
行移動してプラズマディスプレイパネル背面板の検査領
域を照射するものであることを特徴とするプラズマディ
スプレイパネル背面板の障壁欠陥目視検査装置。
【請求項４】プラズマディスプレイパネルの背面板に
形成される障壁の欠陥を、背面板の障壁形成側でない面
側において観察して、あるいは撮影した撮影画像に基づ
き検査する方法であって、隣接する障壁の相対する壁面
の一方の下端と他方の上端とを結ぶ直線とガラス基板と
のなす第１の角θ１および第２の角（１８０°−θ１）
に等しい角度で、背面板の障壁形成面側へほぼ平行な光
を照射し、且つ、背面板の障壁形成側でない面側の輝度
分布状態を直接観察して、または撮影された画像を観察
して、または撮影された画像データを画像処理して、凸
欠陥箇所および凹欠陥箇所を検出することを特徴とする
プラズマディスプレイパネル背面板の障壁欠陥検査方
法。
【請求項５】請求項４において、検査を暗室内ないし
暗幕内で行うことを特徴とするプラズマディスプレイパ
ネル背面板の障壁欠陥検査方法。