JP2006284495A - 透明体の屈折率分布測定方法及び測定装置 - Google Patents

透明体の屈折率分布測定方法及び測定装置 Download PDF

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Abstract

【課題】内部に屈折率分布を有する透明体の屈折率分布を測定する際、画像撮影装置から出力される受光データに雑音が発生しても高精度に測定する。
【解決手段】屈折率整合液2が収容された屈折率整合液槽3と、屈折率整合液中に浸漬され内部に屈折率分布を有する透明体4と、屈折率整合液槽の外部に配置され画像を投影する画像投影装置5と、屈折率整合液中に浸漬された透明体及び画像投影装置と同一光軸上で且つ当該透明体を間にして画像投影装置と反対側に配置された画像撮影装置6とからなる光学系において、屈折率整合液中に浸漬された透明体を通過してきた投光画像を画像撮影装置で複数回撮像してそれぞれの受光データを出力し、各受光データを1つの投光画像データになるように雑音処理を行い、当該雑音処理により生成された1つの投光画像データから透明体の歪み量を解析することで透明体の屈折率分布を測定する。
【選択図】図1

Description

本発明は、透明体の屈折率分布測定方法及び測定装置に係り、特に、内部に屈折率分布を有する透明体の屈折率分布測定方法及び測定装置に関する。
最近の通信ネットワークの進展に伴い、光ファイバケーブルの需要はますます増加する傾向にある。光ファイバケーブルを構成している一要素である光ファイバはまずVAD法あるいはMCVD法等によりプリフォームロッド(光ファイバ母材)と呼ばれる透明体を作成し、それを所定の径まで線引きして製造している。プリフォームロッドは屈折率の高いコア部とその周囲の屈折率がコア部より低いクラッドとからなっている。
ところで、光ファイバに必要とされる特性が設計通りになっているかを判定する指標の一つに屈折率分布を測定する方法がある。光ファイバの屈折率分布を測定する場合は通常プリフォームロッドの状態で測定するが、プリフォームロッドを屈折率が既知である屈折率整合液(マッチングオイル)中に浸漬して、プリフォームロッドの軸方向に対して垂直な角度で光源からレーザ光等を入射して、透過してきた光の角度や位置から屈折率分布を測定する方法がよく行われている。
このようなプリフォームロッドの屈折率分布を測定する方法として、強度分布を修正した光をプリフォームロッドに照射し、その透過した光の像をスクリーンに投影し、投影された光の像からラインセンサカメラを用いて得た光の強度分布データを処理して、プリフォームロッドを透過して屈折した光のスクリーン上の位置を決定し、その光の位置の変化から求めた屈折角からプリフォームロッド内部の屈折率分布を測定する屈折率分布測定装置および測定方法が提案されている(例えば、特許文献1参照)。
この屈折率分布測定装置および測定方法によれば、光がプリフォームロッドに入射する前と、透過した後の両方で光の強度分布を整えることができ、また、ラインセンサカメラで取り込まれた光の強度分布のデータから、数値演算によって光の位置を求めることによって、プリフォームロッドを透過した屈折後の光の位置を正確に決定することができる。なお、このような光の強度分布のパターンには、多くの雑音(ノイズ)が残されているので、この雑音成分を低減するために画像処理が施される。
特開2002−62221号公報
しかしながら、背景技術において示した屈折率分布測定装置および測定方法では、プリフォームロッド内部の屈折率分布を計算する際、ラインセンサカメラによる走査で演算部に取り込まれる受光データをそのまま利用して、雑音除去を施して光の位置を決定してから屈折角および屈折率のデータを求めるように演算処理するが、ラインセンサカメラから演算部に取り込まれる受光データは1回の走査によるものなので、測定誤差が大きくなる虞があった。
本願発明者は、ラインセンサカメラなどの画像撮影装置による1回の走査では測定誤差が大きくなることについて、以下のように検証を行なっている。
検証方法に用いたプリフォームロッドの屈折率分布の測定は、まず、屈折率整合液が収容された屈折率整合液槽に、内部に屈折率分布を有するプリフォームロッドを浸漬した状態で、屈折率整合液槽の外部に配置された画像投影装置により屈折率整合液中に浸漬されたプリフォームロッドに対して画像を投影し、そのプリフォームロッドを通過してきた投光画像を、画像投影装置と反対側に配置された画像撮影装置で撮像して受光データを得た。この受光データから歪み量を解析することで偏向関数を求め、その偏向関数に基づきプリフォームロッドの屈折率分布を求めた。この際、歪み量、偏向関数および屈折率分布の各演算処理の過程で雑音処理を行なった。
なお、画像撮影装置は一次元配列の半導体素子から成るラインセンサカメラではなく二次元配列の半導体素子から成るカメラを使用した。
このようなプリフォームロッドの屈折率分布の測定を同じ位置で複数回行なったところ、複数回測定した受光データの値の統計上の平均値は何度測定してもほぼ同じ値を示すが、測定値のばらつきが大きいことがわかった。したがって、画像撮影装置による1回の走査による測定結果では測定誤差が大きくなることがわかった。
なお、この測定値のばらつきは受光データに発生する雑音が主な原因であるが、この雑音は画像投影装置の光源の明るさの揺らぎや、CCD(charge copuled device)カメラやCCDラインセンサカメラ等の半導体素子で受光した際の電気的なノイズ等によるものである。このことを実証するために、測定系や測定環境を固定して、測定誤差が出にくくした状態で繰り返し測定したところ、受光データの値がランダムな雑音の影響を受け、受光データの値は測定するたびに変化していた。ここで、半導体素子で受光した受光データとは、光の強さを表す数値データであり、これを輝度として目に見える形に演算処理すると、1次元の配列となる直線上の投光画像データ、又は2次元の配列になっている投光画像データとなる。したがって、受光データを2次元の平面画像に直してみると、雑音の状態が目で見ると非常に明らかで、受光量(輝度)がランダムに揺らぐ雑音となって現れている。即ち、投光画像の歪み具合から屈折率を測定するこの方法では、これらの雑音の影響を強く受け、測定精度、特に、繰り返し再現性を見るとばらつきとなって現れ、測定誤差の大きな要因となる。
本発明は、このような従来の難点を解決するためになされたもので、内部に屈折率分布を有する透明体の屈折率分布を測定する際、画像撮影装置から出力される受光データに雑音が発生しても高精度に測定できる透明体の屈折率分布測定方法及び測定装置を提供することを目的とする。
本発明の第1の態様は、屈折率整合液が収容された屈折率整合液槽と、屈折率整合液中に浸漬され内部に屈折率分布を有する透明体と、屈折率整合液槽の外部に配置され画像を投影する画像投影装置と、屈折率整合液中に浸漬された透明体及び画像投影装置と同一光軸上で且つ当該透明体を間にして画像投影装置と反対側に配置された画像撮影装置とからなる光学系により、屈折率整合液中に浸漬された透明体を通過してきた投光画像を画像撮影装置により撮像し、この撮像により得られた受光データを解析して透明体の屈折率分布を測定する方法において、屈折率整合液中に浸漬された透明体を通過してきた投光画像を画像撮影装置で複数回撮像してそれぞれの受光データを出力し、各受光データを1つの投光画像データになるように雑音処理を行い、その雑音処理された投光画像データから透明体の歪み量を解析することで透明体の屈折率分布を測定するものである。
また、本発明の第2の態様は、屈折率整合液が収容された屈折率整合液槽と、屈折率整合液中に浸漬され内部に屈折率分布を有する透明体と、屈折率整合液槽の外部に配置され画像を投影する画像投影装置と、屈折率整合液中に浸漬された透明体及び画像投影装置と同一光軸上で且つ当該透明体を間にして画像投影装置と反対側に配置された複数の撮像手段を有する画像撮影装置とからなる光学系により、屈折率整合液中に浸漬された透明体を通過してきた投光画像を画像撮影装置により撮像し、この撮像により得られた受光データを解析して透明体の屈折率分布を測定する方法において、屈折率整合液中に浸漬された透明体を通過してきた投光画像を画像撮影装置の各撮像手段で撮像してそれぞれの受光データを出力し、撮像手段毎の受光データを1つの投光画像データになるように雑音処理を行い、その雑音処理された投光画像データから透明体の歪み量を解析することで透明体の屈折率分布を測定するものである。
また、本発明の第3の態様は、屈折率整合液が収容された屈折率整合液槽と、屈折率整合液中に浸漬され内部に屈折率分布を有する透明体と、屈折率整合液槽の外部に配置され画像を投影する画像投影装置と、屈折率整合液中に浸漬された透明体及び画像投影装置と同一光軸上で且つ当該透明体を間にして画像投影装置と反対側に配置された画像撮影装置とを備えた光学系である透明体の屈折率分布測定装置において、画像撮影装置は、屈折率整合液中に浸漬された透明体を通過してきた投光画像を複数回撮像する撮像手段と、撮像手段に接続され当該撮像手段で複数回撮像して得られたそれぞれの受光データに生じる雑音を除去することで1つの投光画像データを出力する雑音処理手段と、雑音処理手段に接続され当該雑音処理手段から出力された投光画像データから透明体の歪み量を解析して透明体の屈折率分布を測定する屈折率分布測定手段とを備えたものである。
また、本発明の第4の態様は、屈折率整合液が収容された屈折率整合液槽と、屈折率整合液中に浸漬され内部に屈折率分布を有する透明体と、屈折率整合液槽の外部に配置され画像を投影する画像投影装置と、屈折率整合液中に浸漬された透明体を間にして画像投影装置と反対側に配置された画像撮影装置とを備えた光学系である透明体の屈折率分布測定装置において、画像撮影装置は、屈折率整合液中に浸漬された透明体及び画像投影装置と同一光軸上に配置され当該透明体を通過してきた投光画像を撮像する複数の撮像手段と、各撮像手段に接続され当該各撮像手段で撮像して得られたそれぞれの受光データに生じる雑音を除去することで1つの投光画像データを出力する雑音処理手段と、雑音処理手段に接続され当該雑音処理手段から出力された投光画像データから透明体の歪み量を解析して透明体の屈折率分布を測定する屈折率分布測定手段とを備えたものである。
このような本発明の各態様によれば、画像撮像装置で複数回撮像したり画像撮像装置の複数の撮像手段でそれぞれ撮像したりすることで得られた複数の受光データを1つの投光画像データになるように雑音処理することから、その投光画像データの値は何度測定してもばらつきが非常に少なくなるので、繰り返し再現性がよくなる。
なお、雑音処理は、各受光データを重ね合わせ処理と共に平均化処理及びメジアン値抽出処理のうち少なくとも1つの処理で雑音除去することで1つの投光画像データを生成することが好ましい。
また、画像撮影装置の撮像手段は、撮像した投光画像を1次元のデータ配列の受光データにする撮像素子であることや、この撮像素子の撮像位置を変更する撮像位置変更機構を備えたものが好ましい。さらに、画像撮影装置の撮像手段は、撮像した投光画像を2次元のデータ配列の受光データにする撮像素子であることが好ましい。
本発明の透明体の屈折率分布測定方法及び測定装置によれば、画像撮像装置で得られた複数の受光データを1つの投光画像データになるように雑音処理することから、その投光画像データの値は何度測定してもばらつきが非常に少なくなるので、内部に屈折率分布を有する透明体の屈折率分布を測定する際、画像撮影装置から出力される受光データに雑音が発生しても高精度に測定できるようになる。
以下、本発明の透明体の屈折率分布測定方法及び測定装置における好ましい実施の形態について、図面を参照して説明する。図1は本発明の測定装置の実施の一形態例である光学系を模式的に表した図である。
本発明の実施の一形態例である屈折率測定装置は図1に示すように、屈折率整合液2が収容された屈折率整合液槽3と、屈折率整合液中に浸漬され内部に屈折率分布を有する透明体である石英ガラスから成るプリフォームロッド4と、屈折率整合液槽3の外部に配置され画像を投影する画像投影装置5と、屈折率整合液中に浸漬されたプリフォームロッド4及び画像投影装置5と同一光軸上で且つ当該プリフォームロッド4を間にして画像投影装置5と反対側に配置された画像撮影装置6とを備えた光学系である。
屈折率整合液槽3は、画像投影装置5からの投光画像の情報が画像撮影装置6にまで到達できるように透明な材質で形成させるか、あるいは画像投影装置5から画像撮影装置6までの光軸上においてプリフォームロッド4の屈折率分布の測定に必要な範囲に透明の材質から成る窓31を設けるとよい。また、屈折率整合液槽3は、収容された屈折率整合液2にプリフォームロッド4を所定位置まで浸漬してその位置に固定する固定機構(図示せず)を有している。この固定機構としては、モータ等で制御される1軸の自動ステージ等が好適である。また、屈折率整合液2は屈折率分布を求めるべきプリフォームロッド4とその周囲の空気との屈折率差に起因する損失を少なくし、より測定精度を向上させるために使用するものである。
画像投影装置5は、画像と、画像の背後に当該画像を照明するための光源が設けられている(図示せず)。この画像としては、例えば直角三角形や二等辺三角形などの図柄の白黒2値画像が用いられる。
画像撮影装置6は、屈折率整合液中に浸漬されたプリフォームロッド4を通過してきた透過画像を複数回撮像する撮像手段である撮像素子61と、撮像素子61にはパーソナル・コンピュータ等から成る解析機器62が接続されている。撮像素子61の先端にはレンズ63が設けられ、このレンズ63には入射する光量の調整をするための絞り機構やフィルタが取り付けられていてもよい。解析機器62は、撮像素子61に接続され当該撮像素子61で複数回撮像して得られたそれぞれの受光データに生じる雑音を除去することで1つの投光画像データを出力する雑音処理手段である雑音処理回路621と、雑音処理回路621に接続され当該雑音処理回路621から出力された投光画像データからプリフォームロッド4の歪み量を解析してプリフォームロッド4の屈折率分布を測定する屈折率分布測定手段である測定回路622とを備えている。この画像撮影装置6の撮像素子61としては、撮像した投光画像を1次元配列の受光データにするラインセンサカメラ(CCDラインセンサカメラ等)や、撮像した投光画像を2次元配列の受光データにするカメラ(CCDカメラ等)等が好適である。また、画像撮影装置6の撮像素子61がラインセンサカメラの場合は、ラインセンサカメラの1次元配列の受光データを2次元配列の受光データにするために、ラインセンサカメラである撮像素子61の撮像位置を変更する撮像位置変更機構(図示せず)を備えてもよい。この撮像位置変更機構としては、モータ等で制御される微調整台等が好適である。
また、解析機器62が備えている雑音処理回路621は、例えば、各受光データを重ね合わせ処理と共に平均化処理及びメジアン値抽出処理のうち少なくとも1つの処理で雑音除去することで1つの投光画像データを生成する雑音処理機能を有している。
例えば、各受光データを重ね合わせ処理、平均化処理して1つの投光画像データを生成する場合について図2に基づき説明する。受光データ、投光画像データを簡易的な数値モデルにするために、3×3マスの領域のデータとし、各ブロックに記入される白黒2値の明度の段階を0が一番暗く、7が一番明るくなる0〜7の8段階の数値に分けるものとする。また、画像撮影装置6の撮像素子61で撮像する回数を3回とする。
1回目に撮像された投光画像の受光データは図2(a)に示すように、上段のブロックに記入される明度の数値が左側から「3、4、7」、中段のブロックに記入される明度の数値が左側から「6、1、3」、下段のブロックに記入される明度の数値が左側から「4、1、5」になるように構成されている。
2回目に撮像された投光画像の受光データは図2(b)に示すように、上段のブロックに記入される明度の数値が左側から「6、7、2」、中段のブロックに記入される明度の数値が左側から「1、6、4」、下段のブロックに記入される明度の数値が左側から「7、3、2」となるように構成されている。
3回目に撮像された投光画像の受光データは図2(c)に示すように、上段のブロックに記入される明度の数値が左側から「4、2、7」、中段のブロックに記入される明度の数値が左側から「3、4、4」、下段のブロックに記入される明度の数値が左側から「1、6、3」となるように構成されている。
この3回の結果をそれぞれのブロック位置で重ね合わせ処理すると、図2(d)に示すように、上段のブロックに記入される明度の数値は左側から「13、13、16」、中段のブロックに記入される明度の数値は左側から「10、11、11」、下段のブロックに記入される明度の数値は左側から「12、10、10」となる。
また、この重ね合わせ処理されたデータをそれぞれのブロック位置で平均化処理すると、図2(e)に示すように、上段のブロックに記入される明度の数値は左側から「4、4、5」、中段のブロックに記入される明度の数値は左側から「3、4、4」、下段のブロックに記入される明度の数値は左側から「4、3、3」となる。
このように、重ね合わせ処理することで、各数値が12に集まり、平均化処理することで各数値が4に集まることになる。即ち、投光画像を複数回撮像し、同じブロック(位置)の明度の数値を重ね合わせ処理することで雑音の影響が低減して求めたい明度のデータにすることができる。したがって、画像撮影装置6による撮像回数を多くして、その各受光データを重ね合わせ処理することでデータ精度が高くなる。なお、平均化処理してから重ね合わせ処理してもよい。
また、各受光データを移動平均法による処理で雑音処理してから重ね合わせ処理してもよく、また、重ね合わせ処理してから移動平均法による処理をしてもよい。この移動平均法による処理は例えば図3に示すように、受光データが、上段のブロックに記入される明度の数値が左側から「3、3、4」、中段のブロックに記入される明度の数値が左側から「3、7、4」、下段のブロックに記入される明度の数値が左側から「5、3、3」となるように構成されているとすると、雑音の最大値「7」を除く8箇所の数値を加算し、その加算値をデータ数で除算して平均値「4」を求めて、最大値「7」を平均値「4」に入れ替えるように変更設定する手法である。
また、各受光データをメジアン値抽出処理により雑音処理してから重ね合わせ処理してもよく、また、重ね合わせ処理してからメジアン値抽出処理をしてもよい。このメジアン値抽出処理は例えば図4に示すように、受光データが、上段のブロックに記入される明度の数値が左側から「3、3、4」、中段のブロックに記入される明度の数値が左側から「3、7、4」、下段のブロックに記入される明度の数値が左側から「5、3、3」となるように構成されているとすると、これら数値をソートし、その中心値「3」を雑音の最大値「7」と入れ替えるように変更設定する手法である。
また、解析機器62が備えている測定回路622は、雑音処理回路621の雑音処理機能で生成された1つの投光画像データからプリフォームロッド4の歪み量を解析することでプリフォームロッド4の屈折率分布を測定する屈折率分布測定機能を有している。この屈折率分布測定機能は、雑音処理回路621の雑音処理機能で生成された1つの投光画像データからプリフォームロッド4の歪み量を求め、その歪み量を解析することにより偏向関数を求め、その偏向関数に基づいてプリフォームロッド4の屈折率分布を求めるように演算処理する機能である。この屈折率分布測定機能は、本願出願人が出願済の特開2000−121499号公報に記載されている光ファイバ母材の内部屈折率測定法でもよい。
このように構成された屈折率測定装置1で屈折率整合液槽3の屈折率整合液2に浸漬されたプリフォームロッド4の屈折率分布測定方法について説明する。
まず、画像投影装置5から屈折率整合液槽3の屈折率整合液中に浸漬されたプリフォームロッド4に画像を投射する。このプリフォームロッド4を通過してきた投光画像を画像撮影装置6の撮像素子61で複数回撮像する。この撮像素子61で撮像した投光画像の1つの受光データは例えば図5に示すような画像になる。この画像の明るい部分の何れかの部位を抽出したものが図6(a)の左側に示したような画像になる。なお、便宜上、この部位に限定して説明するが、実際は図5に示す画像全体で画像処理が行なわれる。
図6(a)の左側に示す画像では雑音を示す色の濃淡の異なるブロックが多く点在している。この状態を図2に示す3×3マスの領域から成る簡易的な数値モデルにすると、図6(a)の右側に示したようなものになる。なお、各ブロックに記入される明度の段階は0が一番暗く、7が一番明るくなる0〜7の8段階の数値に分けるものとする。この場合は、上段のブロックに記入される明度の数値が左側から「3、4、7」、中段のブロックに記入される明度の数値が左側から「6、1、3」、下段のブロックに記入される明度の数値が左側から「4、0、5」となるように構成されている。
このような受光データを解析機器62の雑音処理回路621で重ね合わせ処理すると、図6(b)の左側に示したような画像になる。この画像では図6(a)の左側に示した画像と比較すると、雑音を示す色の濃淡の異なるブロックの数が減少しているので、雑音が減少していることが確認できる。この状態を図6(b)の右側に示したような3×3マスの領域から成る簡易的な数値モデルにすると、上段のブロックに記入される明度の数値が左側から「3、4、4」、中段のブロックに記入される明度の数値が左側から「3、2、3」、下段のブロックに記入される明度の数値が左側から「4、4、3」となるように構成されているので、図6(a)の右側に示したような数値モデルと比較すると、明度の数値がほぼ「3」か「4」になっている。
このようにして雑音が除去された投光画像データから、解析機器62の測定回路622でプリフォームロッド4の歪み量を求め、その歪み量を解析することにより偏向関数を求め、その偏向関数に基づいてプリフォームロッド4の屈折率分布を求めることができるので、プリフォームロッド4の屈折率分布を測定する際、撮像素子61から出力される受光データに雑音が発生しても高精度に測定できるようになる。
なお、上述した本発明の屈折率分布測定方法及び測定装置においては、画像撮影装置6の撮像素子61でプリフォームロッド4を通過してきた投光画像を複数回撮像して複数の受光データを得ていたが、これに限らず、画像撮影装置6に屈折率整合液中に浸漬されたプリフォームロッド4及び画像投影装置5と同一光軸上に配置され当該プリフォームロッド4を通過してきた投光画像を撮像する撮像素子61を複数設けてもよい。
この複数の撮像素子61で撮像した投光画像の各受光データは上述したような屈折率分布測定方法により測定される。即ち、画像投影装置5から画像を屈折率整合液槽3の屈折率整合液中に浸漬されたプリフォームロッド4を通過してきた投光画像を画像撮影装置6の各撮像素子61で撮像してそれぞれの受光データを出力し、撮像素子毎の受光データを1つの投光画像データになるように雑音処理を行い、その雑音処理された投光画像データからプリフォームロッド4の歪み量を解析することで透明体の屈折率分布を測定することができる。したがって、プリフォームロッド4の屈折率分布を測定する際、撮像素子61から出力される受光データに雑音が発生しても高精度に測定できるようになる。特に、画像撮影装置6の撮像素子61が1次元配列の受光データにするラインセンサカメラの場合には、複数設けることで1次元配列の受光データを2次元配列の受光データにすることができるので、好適である。
このようなプリフォームロッドの屈折率分布測定の実験を行なった。
[測定方法]
測定方法は、画像撮影装置に2次元配列の受光データにするカメラを使用し、そのカメラが有する撮像素子の1行ごとに撮影を行って連続撮影することで、最終的に2次元配列の受光データとした。また、測定回数は30回にした。
[実施例1]
各受光データを重ね合わせ処理で雑音処理してプリフォームロッドの屈折率分布を測定した。
[比較例]
従来のように、雑音処理を行なわずにプリフォームロッドの屈折率分布を測定した。
上記測定結果を表1に示す。

表1において、実施例1においては30回測定のばらつき幅の標準偏差が0.000016、屈折率が1、47042、比較例においては30回測定のばらつき幅の標準偏差が0.000039、屈折率が1、47042となった。即ち、実施例1の標準偏差は比較例の標準偏差の半分以下になっているので、繰り返し測定による測定再現性が格段に向上したことが確認できた。
なお、上述した本発明の実施例においては、石英ガラスからなるプリフォームロッドを具体例にして説明したが、これに限らず、内部に屈折率分布を有する透明体ならばどのようなものにでも適用でき、例えばプラスチック体のようなものを測定する場合にも適用可能である。
本発明の透明体の屈折率分布測定装置における好ましい実施の形態例を示す説明図である。 本発明による雑音処理の手法を示す説明図で、(a)は撮像素子による1回目の受光データの数値モデル、(b)は撮像素子による2回目の受光データの数値モデル、(c)は撮像素子による3回目の受光データの数値モデル、(d)は重ね合わせ処理の数値モデル、(e)は平均化処理の数値モデルである。 本発明による雑音処理の手法である移動平均法による処理の数値モデルを示す説明図である。 本発明による雑音処理の手法であるメジアン値抽出処理の数値モデルを示す説明図である。 本発明の透明体の屈折率分布測定装置の構成要素である撮像素子で撮像した投光画像を示す説明図である。 本発明の透明体の屈折率分布測定方法における好ましい実施の形態例を示す説明図である。
符号の説明
1……屈折率測定装置
2……屈折率整合液
3……屈折率整合液槽
4……プリフォームロッド(透明体)
5……画像投影装置
6……画像撮影装置
61……撮像素子(撮像手段)
621……雑音処理回路(雑音処理手段)
622……測定回路(屈折率分布測定手段)

Claims (8)

  1. 屈折率整合液が収容された屈折率整合液槽と、前記屈折率整合液中に浸漬され内部に屈折率分布を有する透明体と、前記屈折率整合液槽の外部に配置され画像を投影する画像投影装置と、前記屈折率整合液中に浸漬された前記透明体及び前記画像投影装置と同一光軸上で且つ当該透明体を間にして前記画像投影装置と反対側に配置された画像撮影装置とからなる光学系により、前記屈折率整合液中に浸漬された前記透明体を通過してきた投光画像を前記画像撮影装置により撮像し、この撮像により得られた受光データを解析して前記透明体の屈折率分布を測定する方法において、
    前記屈折率整合液中に浸漬された前記透明体を通過してきた前記投光画像を前記画像撮影装置で複数回撮像してそれぞれの前記受光データを出力し、前記各受光データを1つの投光画像データになるように雑音処理を行い、当該雑音処理により生成された前記1つの投光画像データから前記透明体の歪み量を解析することで前記透明体の前記屈折率分布を測定することを特徴とする透明体の屈折率分布測定方法。
  2. 屈折率整合液が収容された屈折率整合液槽と、前記屈折率整合液中に浸漬され内部に屈折率分布を有する透明体と、前記屈折率整合液槽の外部に配置され画像を投影する画像投影装置と、前記屈折率整合液中に浸漬された前記透明体及び前記画像投影装置と同一光軸上で且つ当該透明体を間にして前記画像投影装置と反対側に配置された複数の撮像手段を有する画像撮影装置とからなる光学系により、前記屈折率整合液中に浸漬された前記透明体を通過してきた投光画像を前記画像撮影装置により撮像し、この撮像により得られた受光データを解析して前記透明体の屈折率分布を測定する方法において、
    前記屈折率整合液中に浸漬された前記透明体を通過してきた前記投光画像を前記画像撮影装置の前記各撮像手段で撮像してそれぞれの前記受光データを出力し、前記撮像手段毎の前記受光データを1つの投光画像データになるように雑音処理を行い、当該雑音処理により生成された前記1つの投光画像データから前記透明体の歪み量を解析することで前記透明体の前記屈折率分布を測定することを特徴とする透明体の屈折率分布測定方法。
  3. 前記雑音処理は、前記各受光データを重ね合わせ処理と共に平均化処理及びメジアン値抽出処理のうち少なくとも1つの処理で雑音除去することで前記1つの投光画像データを生成することを特徴とする請求項1又は請求項2記載の透明体の屈折率分布測定方法。
  4. 屈折率整合液が収容された屈折率整合液槽と、前記屈折率整合液中に浸漬され内部に屈折率分布を有する透明体と、前記屈折率整合液槽の外部に配置され画像を投影する画像投影装置と、前記屈折率整合液中に浸漬された前記透明体及び前記画像投影装置と同一光軸上で且つ当該透明体を間にして前記画像投影装置と反対側に配置された画像撮影装置とを備えた光学系である透明体の屈折率分布測定装置において、
    前記画像撮影装置は、前記屈折率整合液中に浸漬された前記透明体を通過してきた投光画像を複数回撮像する撮像手段と、前記撮像手段に接続され当該撮像手段で複数回撮像して得られたそれぞれの受光データに生じる雑音を除去することで1つの投光画像データを出力する雑音処理手段と、前記雑音処理手段に接続され当該雑音処理手段から出力された前記投光画像データから前記透明体の歪み量を解析して前記透明体の屈折率分布を測定する屈折率分布測定手段とを備えたことを特徴とする透明体の屈折率分布測定装置。
  5. 屈折率整合液が収容された屈折率整合液槽と、前記屈折率整合液中に浸漬され内部に屈折率分布を有する透明体と、前記屈折率整合液槽の外部に配置され画像を投影する画像投影装置と、前記屈折率整合液中に浸漬された前記透明体を間にして前記画像投影装置と反対側に配置された画像撮影装置とを備えた光学系である透明体の屈折率分布測定装置において、
    前記画像撮影装置は、前記屈折率整合液中に浸漬された前記透明体及び前記画像投影装置と同一光軸上に配置され当該透明体を通過してきた投光画像を撮像する複数の撮像手段と、前記各撮像手段に接続され当該各撮像手段で撮像して得られたそれぞれの受光データに生じる雑音を除去することで1つの投光画像データを出力する雑音処理手段と、前記雑音処理手段に接続され当該雑音処理手段から出力された前記投光画像データから前記透明体の歪み量を解析して前記透明体の屈折率分布を測定する屈折率分布測定手段とを備えたことを特徴とする透明体の屈折率分布測定装置。
  6. 前記画像撮影装置の前記撮像手段は、撮像した投光画像を1次元のデータ配列の前記受光データにする撮像素子であることを特徴とする請求項4又は請求項5記載の透明体の屈折率分布測定装置。
  7. 前記撮像手段は、撮像位置を変更する撮像位置変更機構を備えたことを特徴とする請求項6記載の透明体の屈折率分布測定装置。
  8. 前記画像撮影装置の前記撮像手段は、撮像した投光画像を2次元のデータ配列の前記受光データにする撮像素子であることを特徴とする請求項4又は請求項5記載の透明体の屈折率分布測定装置。

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