JP2005207969A - 結像光学系の結像性能評価方法及び装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 被検結像光学系Sによるランダムパターン1の像を撮像して、撮像されたランダムパターンの像からテクスチャー特徴量を算出し、得られたテクスチャー特徴量を用いて被検結像光学系Sの結像性能を評価する結像光学系の結像性能評価方法。
【選択図】 図7
Description
前記撮像素子で撮像された前記ランダムパターンの像からテクスチャー特徴量を算出するテクスチャー特徴量算出手段を備えていることを特徴とするものである。
前記撮像素子で撮像された前記ランダムパターンの像からテクスチャー特徴量を算出するテクスチャー特徴量算出手段を備えていることを特徴とするものである。
r1 = ∞ d1 = 0.42 nd1 =1.883 νd1 =40.78
r2 = 0.7178 d2 = 0.42
r3 = ∞ d3 = 0.4582
r4 = 6.6211 d4 = 1.4053 nd2 =1.713 νd2 =53.84
r5 = -1.4896 d5 = 0.082
r6 = ∞(絞り面) d6 = 0.45 nd3 =1.52287 νd3 =59.89
r7 = ∞ d7 = 0.0472
r8 = ∞ d8 = 0.752 nd4 =1.514 νd4 =75
r9 = ∞ d9 = 0.1
r10= 2.8562 d10= 0.972 nd5 =1.6968 νd5 =55.53
r11= -1.2378 d11= 0.3045 nd6 =1.84666 νd6 =23.78
r12= -6.4782 d12= 0.1
r13= ∞ d13= 0.45 nd7 =1.52287 νd7 =59.89
r14= ∞ d14= 0.5
r15= ∞ d15= 0.58 nd8 =1.51633 νd8 =64.15
r16= ∞ d16= 0.88 nd9 =1.53172 νd9 =48.91
r17= ∞
物体距離 12.2mm
焦点距離 1mm
Fナンバー 3.599
ただし、r1 、r2 …は物体側から順に数えた各レンズ面の曲率半径、d1 、d2 …は各レンズ面間の間隔、nd1、nd2…は各レンズのd線の屈折率、νd1、νd2…は各レンズのアッベ数である。
l:各格子の一辺の長さ。X方向とY方向にそれぞれ定義する。
(B)尖度|K|≦0.6、より望ましくは、|K|≦0.3
(C)歪度|S|≦0.3、より望ましくは、|S|≦0.1
ここで、尖度、歪度に関しては、非特許文献1のp.518参照。
(1)周辺部の結像性能が十分かどうか、周辺部のボケ量の限界を評価する。
(2)片ボケ量が許容範囲かどうか、周辺部の位置によるボケ量の差を評価する。
(3)画面全体のバランスが良いかどうか、中心部と周辺部平均のボケ量の差を評価する。
(1) UR>la,UL>la,DR>la,DL>la
(2) |max(UR,UL,DR,DL)−min(UR,UL,DR,DL)|
<ua
(3) |C−(UR+UL+DR+DL)/4|<ub
ここで、
C:中心部の評価値
UR,UL,DR,DL:周辺部の評価値
la:周辺部のボケ量下限閾値
ua:周辺部のボケ量差上限閾値
ub:中心部と周辺部とのボケ量差上限閾値:
であり、max、minはそれぞれ周辺部の評価値の最大値と最小値を示す。なお、被検結像光学系Sの像面20上でのC,UR,UL,DR,DLの配置は図15に示す通りである。
1…ランダムパターン
2…CCD
3…面光源
4…レール
5…移動台
6…撮像素子支持台
7…チャート台
11…駆動制御回路
12…電気処理回路
13…光源制御回路
14…パソコン
20…被検結像光学系の像面
Claims (17)
- 被検結像光学系によるランダムパターンの像を撮像して、撮像されたランダムパターンの像からテクスチャー特徴量を算出し、得られたテクスチャー特徴量を用いて被検結像光学系の結像性能を評価することを特徴とする結像光学系の結像性能評価方法。
- 被検結像光学系によるランダムパターンの像を撮像する工程と、撮像されたランダムパターンの像からテクスチャー特徴量を算出する工程と、算出されたテクスチャー特徴量を用いて被検結像光学系の位置調節又は合否を判定する工程とを備えていることを特徴とする結像光学系の結像性能評価方法。
- テクスチャー特徴量を算出する前に、撮像されたランダムパターンの像を濃淡画像化する工程を含むことを特徴とする請求項2記載の結像光学系の結像性能評価方法。
- テクスチャー特徴量を算出する前に、撮像されたランダムパターンの像を2値化する工程を含むことを特徴とする請求項2又は3記載の結像光学系の結像性能評価方法。
- 前記テクスチャー特徴量が同時生起行列を用いたテクスチャー特徴量であることを特徴とする請求項1から4の何れか1項記載の結像光学系の結像性能評価方法。
- 前記テクスチャー特徴量が差分統計量を用いたテクスチャー特徴量であることを特徴とする請求項1から4の何れか1項記載の結像光学系の結像性能評価方法。
- ランダムパターンの被検結像光学系に対する配置位置又は撮像素子の被検結像光学系に対する配置位置を変更しながらランダムパターンの像を順に撮像し、撮像されたランダムパターンの像からテクスチャー特徴量を算出し、得られたテクスチャー特徴量のランダムパターンの配置位置又は撮像素子の配置位置に対する変化の様子を求め、テクスチャー特徴量が予め設定されている閾値以上となるランダムパターンの配置位置又は撮像素子の配置位置の範囲を求めることを特徴とする請求項1から6の何れか1項記載の結像光学系の結像性能評価方法。
- ランダムパターンの被検結像光学系に対する配置位置の変更に伴ってランダムパターンを変更することを特徴とする請求項7記載の結像光学系の結像性能評価方法。
- 被検結像光学系の特定の像面位置に対する被写界深度を求めることを特徴とする請求項7又は8記載の結像光学系の結像性能評価方法。
- 被検結像光学系の物体位置遠点と近点双方に対して結像性能許容可能な共通の像面位置範囲を求めることを特徴とする請求項7又は8記載の結像光学系の結像性能評価方法。
- 被検結像光学系の像面中心部とその周りの周辺部の結像性能を共に求めて片ボケ状態を評価することを特徴とする請求項7又は8記載の結像光学系の結像性能評価方法。
- ランダムパターンを支持するチャート台と、前記チャート台に対して直交方向に相対的に移動可能に設けられ、被検結像光学系を支持する被検結像光学系支持台と、前記被検結像光学系支持台に支持された被検結像光学系の像面側でその光軸方向に調節自在に撮像素子を支持する撮像素子支持台とを備え、
前記撮像素子で撮像された前記ランダムパターンの像からテクスチャー特徴量を算出するテクスチャー特徴量算出手段を備えていることを特徴とする結像光学系の結像性能評価装置。 - 前記チャート台は複数のランダムパターンを交換自在に支持するように構成されていることを特徴とする請求項12記載の結像光学系の結像性能評価装置。
- 前記チャート台は被検結像光学系の光軸に直交する2つの方向に位置調節可能に構成されていることを特徴とする請求項12又は13記載の結像光学系の結像性能評価装置。
- 前記撮像素子で撮像されたランダムパターンの像を濃淡画像化する手段を備えることを特徴とする請求項12から14の何れか1項記載の結像光学系の結像性能評価装置。
- 前記撮像素子で撮像されたランダムパターンの像を2値化する手段を備えることを特徴とする請求項12から15の何れか1項記載の結像光学系の結像性能評価装置。
- ランダムパターンを支持するチャート台と、前記チャート台に対して直交方向に相対的に移動可能に設けられ、被検結像光学系を支持する被検結像光学系支持台と、前記被検結像光学系支持台に支持された被検結像光学系の像面側でその光軸方向に調節自在に撮像素子を支持する撮像素子支持台とを備え、
前記撮像素子で撮像された前記ランダムパターンの像からテクスチャー特徴量を算出するテクスチャー特徴量算出手段を備えていることを特徴とする結像光学系のピント調整装置。
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