JP2010205743A - Oledデバイスの欠陥を測定する方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】それぞれ独自の発光層を有する複数の画素であって入力光により励起されて着色応答光を出力することができるものを有するOLEDデバイスの欠陥を測定する方法であって、a)1又は2以上のOLEDデバイスに、又はOLEDデバイスの一部に、スペクトルの所定部分の光を当てることにより、各画素について該画素の発光層を励起させて色応答を出力させ、b)該励起された画素により生じた出力光の画像を捕捉し、該捕捉された光をデジタル画像に変換し、そしてc)該デジタル画素からデバイス画素のサイズ、形状、配置及び放出光強度を測定し、これらのサイズ、形状、配置及び放出光強度を、許容できる所定のサイズ、形状、配置及び放出光強度の範囲と比較することにより、該OLEDデバイスに欠陥があるかどうかについて決定を行うことを特徴とする方法。
【選択図】図4−A
Description
a)1又は2以上のOLEDデバイスにスペクトルの所定部分の光を当てることにより、各画素について該画素の発光層を励起させて色応答を出力させ、
b)励起された画素により生じた出力光の画像を捕捉し、該捕捉された光をデジタル画像に変換し、そして
c)捕捉されたデジタル画素に応じてサイズ、形状、配置及び光強度を測定し、これらのサイズ、形状、配置及び光強度を、許容できる所定のサイズ、形状、配置及び光強度の範囲と比較することにより、該OLEDデバイスに欠陥があるかどうかについて決定を行う
ことを特徴とする方法によって達成される。
透光性基板11の表面に、横方向に間隔を置いて並べられた複数の第1電極12(アノードとも呼ばれる)が形成されている。詳しく後述するように、有機正孔輸送層(HTL)13と、有機発光層(LEL)14と、有機電子輸送層(ETL)15とが物理蒸着法により順次形成されている。横方向に間隔を置いて並べられた第2電極16(カソードとも呼ばれる)は、有機電子輸送層15の上に、該第1電極12と実質的に直交する方向において形成されている。当該構造物の環境的影響を受ける部分を封入体又はカバー18でシールすることにより、OLED完成品10が提供される。
12 第1電極
13 有機正孔輸送層(HTL)
14 有機発光層(LEL)
15 有機電子輸送層(ETL)
16 第2電極
18 封入体又はカバー
100 製造装置
102 緩衝ハブ
103 取出ステーション
104 移送ハブ
105 接合口
106 真空ポンプ
107 ポンプ口
108 圧力ゲージ
110 装填ステーション
130、140、150、160 蒸着ステーション
170 保存ステーション
180 封入ステーション
228 データベース/処理制御コンピュータ
232 x軸並進スライド
234 y軸並進スライド
236 カメラ
238 光源
244 柔軟性導光器
248 検査窓
250 照明光学素子
252 カメラレンズ
258 導光器マウント
260 フィルター
262 真空
264 照明光
266、268、270 デバイス画素
278 第2x軸並進スライド
Claims (10)
- それぞれ独自の発光層を有する複数の画素であって入力光により励起されて着色応答光を出力することができるものを有するOLEDデバイスの欠陥を測定する方法であって、
a)1又は2以上のOLEDデバイスに、又はOLEDデバイスの一部に、スペクトルの所定部分の光を当てることにより、各画素について該画素の発光層を励起させて色応答を出力させ、
b)該励起された画素により生じた出力光の画像を捕捉し、該捕捉された光をデジタル画像に変換し、そして
c)該デジタル画素からデバイス画素のサイズ、形状、配置及び放出光強度を測定し、これらのサイズ、形状、配置及び放出光強度を、許容できる所定のサイズ、形状、配置及び放出光強度の範囲と比較することにより、該OLEDデバイスに欠陥があるかどうかについて決定を行う
ことを特徴とする方法。 - 工程c)が、該捕捉されたデジタル画像に応答して自動的に欠陥の有無について決定を行うコンピュータプログラムを使用すること、又は可視画像を出力し、そこでユーザーが該画像を検査してその欠陥を測定することにより行われる、請求項1に記載の方法。
- 該複数の画素が、該OLEDデバイスにおいて色の異なる画素及び/又はサブピクセルを含む、請求項2に記載の方法。
- 請求項1に記載の工程c)が色分析を含む、請求項3に記載の方法。
- 当該光源が、画素を励起させて色の異なる光を発生させることができる紫外光を発生する、請求項3に記載の方法。
- それぞれ独自の発光層を有する複数の画素であって入力光により励起されて着色応答光を出力することができるものを有するOLEDデバイスの欠陥を測定する方法であって、
a)スペクトルの所定部分の光を発生する光源を用意し、
b)該光源に対し、該OLEDデバイスをx、y方向において順次位置決めし、1又は2以上のOLEDデバイスにスペクトルの所定部分の光を当てることにより、各画素について該画素の発光層を励起させて色応答を出力させ、
c)該励起された画素により生じた光の部分を増幅し、
d)該励起された画素により生じた出力光の画像を捕捉し、該捕捉された光をデジタル画像に変換し、そして
e)該デジタル画素からデバイス画素のサイズ、形状、配置及び放出光強度を測定し、これらのサイズ、形状、配置及び放出光強度を、許容できる所定のサイズ、形状、配置及び放出光強度の範囲と比較することにより、該OLEDデバイスに欠陥があるかどうかについて決定を行う
ことを特徴とする方法。 - 工程b)の位置決めが、次の位置へ進み、停止し、測定し、そして反復するという順序に従う、請求項6に記載の方法。
- 工程b)の位置決めが、OLEDデバイスを連続的に移動させ、かつ、ストロボ化された光源を得るためパルス化された又はシャッター開閉された光源を使用することにより行われる、請求項6に記載の方法。
- 工程b)の位置決めが、OLEDデバイスを連続的に移動させ、かつ、カメラによる検出前に当該放出光に対して電子式又は機械式のシャッターを使用することにより行われる、請求項6に記載の方法。
- 工程e)が、該捕捉されたデジタル画像に応答して自動的に欠陥の有無について決定を行うコンピュータプログラムを使用すること、又は可視画像を出力し、そこでユーザーが該画像を検査してその欠陥を測定することにより行われる、請求項6に記載の方法。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US10/298,747 US6916221B2 (en) | 2002-11-18 | 2002-11-18 | Determining defects in OLED devices |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003388071A Division JP4602660B2 (ja) | 2002-11-18 | 2003-11-18 | Oledデバイスの欠陥を測定する方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010205743A true JP2010205743A (ja) | 2010-09-16 |
Family
ID=32297526
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003388071A Expired - Lifetime JP4602660B2 (ja) | 2002-11-18 | 2003-11-18 | Oledデバイスの欠陥を測定する方法 |
JP2010141986A Pending JP2010205743A (ja) | 2002-11-18 | 2010-06-22 | Oledデバイスの欠陥を測定する方法 |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003388071A Expired - Lifetime JP4602660B2 (ja) | 2002-11-18 | 2003-11-18 | Oledデバイスの欠陥を測定する方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6916221B2 (ja) |
EP (1) | EP1435763A1 (ja) |
JP (2) | JP4602660B2 (ja) |
Families Citing this family (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005084260A (ja) * | 2003-09-05 | 2005-03-31 | Agilent Technol Inc | 表示パネルの変換データ決定方法および測定装置 |
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CN103364381B (zh) | 2007-12-17 | 2016-04-06 | 生命技术公司 | 用于检测无机涂敷的聚合物表面中的缺陷的方法 |
US20130020507A1 (en) | 2010-06-17 | 2013-01-24 | Life Technologies Corporation | Methods for Detecting Defects in Inorganic-Coated Polymer Surfaces |
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2004172127A (ja) | 2004-06-17 |
US20040097160A1 (en) | 2004-05-20 |
JP4602660B2 (ja) | 2010-12-22 |
US6916221B2 (en) | 2005-07-12 |
EP1435763A1 (en) | 2004-07-07 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
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