JP4602660B2 - Oledデバイスの欠陥を測定する方法 - Google Patents
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- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
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-
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-
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- Electroluminescent Light Sources (AREA)
Description
a)1又は2以上のOLEDデバイスにスペクトルの所定部分の光を当てることにより、各画素について該画素の発光層を励起させて色応答を出力させ、
b)励起された画素により生じた出力光の画像を捕捉し、該捕捉された光をデジタル画像に変換し、そして
c)捕捉されたデジタル画素に応じてサイズ、形状、配置及び光強度を測定し、これらのサイズ、形状、配置及び光強度を、許容できる所定のサイズ、形状、配置及び光強度の範囲と比較することにより、該OLEDデバイスに欠陥があるかどうかについて決定を行う
ことを特徴とする方法によって達成される。
透光性基板11の表面に、横方向に間隔を置いて並べられた複数の第1電極12(アノードとも呼ばれる)が形成されている。詳しく後述するように、有機正孔輸送層(HTL)13と、有機発光層(LEL)14と、有機電子輸送層(ETL)15とが物理蒸着法により順次形成されている。横方向に間隔を置いて並べられた第2電極16(カソードとも呼ばれる)は、有機電子輸送層15の上に、該第1電極12と実質的に直交する方向において形成されている。当該構造物の環境的影響を受ける部分を封入体又はカバー18でシールすることにより、OLED完成品10が提供される。
12…第1電極
13…有機正孔輸送層(HTL)
14…有機発光層(LEL)
15…有機電子輸送層(ETL)
16…第2電極
18…封入体又はカバー
100…製造装置
102…緩衝ハブ
103…取出ステーション
104…移送ハブ
105…接合口
106…真空ポンプ
107…ポンプ口
108…圧力ゲージ
110…装填ステーション
130、140、150、160…蒸着ステーション
170…保存ステーション
180…封入ステーション
228…データベース/処理制御コンピュータ
232…x軸並進スライド
234…y軸並進スライド
236…カメラ
238…光源
244…柔軟性導光器
248…検査窓
250…照明光学素子
252…カメラレンズ
258…導光器マウント
260…フィルター
262…真空
264…照明光
266、268、270…デバイス画素
278…第2x軸並進スライド
Claims (3)
- それぞれ独自の発光層を有する複数の画素であって入力光により励起されて着色応答光を出力することができるものを有するOLEDデバイスの欠陥を測定する方法であって、
a)スペクトルの所定部分の光を発生する光源を用意し、
b)該光源に対し、該OLEDデバイスをx、y方向において順次位置決めし、1又は2以上のOLEDデバイスにスペクトルの所定部分の光を当てることにより、各画素について該画素の発光層を励起させて色応答を出力させ、
c)該励起された画素により生じた光の部分を増幅し、
d)該励起された画素により生じた出力光の画像を捕捉し、該捕捉された光をデジタル画像に変換し、そして
e)該デジタル画素からデバイス画素のサイズ、形状、配置及び放出光強度を測定し、
これらのサイズ、形状、配置及び放出光強度を、許容できる所定のサイズ、形状、配置及び放出光強度の範囲と比較することにより、該OLEDデバイスに欠陥があるかどうかについて決定を行い、
工程b)の位置決めが、OLEDデバイスを連続的に移動させ、かつ、ストロボ化された光源を得るためパルス化された又はシャッター開閉された光源を使用することにより行われる
ことを特徴とする方法。 - それぞれ独自の発光層を有する複数の画素であって入力光により励起されて着色応答光を出力することができるものを有するOLEDデバイスの欠陥を測定する方法であって、
a)スペクトルの所定部分の光を発生する光源を用意し、
b)該光源に対し、該OLEDデバイスをx、y方向において順次位置決めし、1又は2以上のOLEDデバイスにスペクトルの所定部分の光を当てることにより、各画素について該画素の発光層を励起させて色応答を出力させ、
c)該励起された画素により生じた光の部分を増幅し、
d)該励起された画素により生じた出力光の画像を捕捉し、該捕捉された光をデジタル画像に変換し、そして
e)該デジタル画素からデバイス画素のサイズ、形状、配置及び放出光強度を測定し、
これらのサイズ、形状、配置及び放出光強度を、許容できる所定のサイズ、形状、配置及び放出光強度の範囲と比較することにより、該OLEDデバイスに欠陥があるかどうかについて決定を行い、
工程b)の位置決めが、OLEDデバイスを連続的に移動させ、かつ、カメラによる検出前に当該放出光に対して電子式又は機械式のシャッターを使用することにより行われる
ことを特徴とする方法。 - 工程e)が、該捕捉されたデジタル画像に応答して自動的に欠陥の有無について決定を行うコンピュータプログラムを使用すること、又は可視画像を出力し、そこでユーザーが該画像を検査してその欠陥を測定することにより行われる、請求項1または2に記載の方法。
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