JP2004172127A - Oledデバイスの欠陥を測定する方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 それぞれ独自の発光層を有する複数の画素であって入力光により励起されて着色応答光を出力することができるものを有するOLEDデバイスの欠陥を測定する方法であって、a)1又は2以上のOLEDデバイスに、又はOLEDデバイスの一部に、スペクトルの所定部分の光を当てることにより、各画素について該画素の発光層を励起させて色応答を出力させ、b)該励起された画素により生じた出力光の画像を捕捉し、該捕捉された光をデジタル画像に変換し、そしてc)該デジタル画素からデバイス画素のサイズ、形状、配置及び放出光強度を測定し、これらのサイズ、形状、配置及び放出光強度を、許容できる所定のサイズ、形状、配置及び放出光強度の範囲と比較することにより、該OLEDデバイスに欠陥があるかどうかについて決定を行うことを特徴とする方法。
【選択図】 図4−A
Description
a)1又は2以上のOLEDデバイスにスペクトルの所定部分の光を当てることにより、各画素について該画素の発光層を励起させて色応答を出力させ、
b)励起された画素により生じた出力光の画像を捕捉し、該捕捉された光をデジタル画像に変換し、そして
c)捕捉されたデジタル画素に応じてサイズ、形状、配置及び光強度を測定し、これらのサイズ、形状、配置及び光強度を、許容できる所定のサイズ、形状、配置及び光強度の範囲と比較することにより、該OLEDデバイスに欠陥があるかどうかについて決定を行う
ことを特徴とする方法によって達成される。
透光性基板11の表面に、横方向に間隔を置いて並べられた複数の第1電極12(アノードとも呼ばれる)が形成されている。詳しく後述するように、有機正孔輸送層(HTL)13と、有機発光層(LEL)14と、有機電子輸送層(ETL)15とが物理蒸着法により順次形成されている。横方向に間隔を置いて並べられた第2電極16(カソードとも呼ばれる)は、有機電子輸送層15の上に、該第1電極12と実質的に直交する方向において形成されている。当該構造物の環境的影響を受ける部分を封入体又はカバー18でシールすることにより、OLED完成品10が提供される。
12…第1電極
13…有機正孔輸送層(HTL)
14…有機発光層(LEL)
15…有機電子輸送層(ETL)
16…第2電極
18…封入体又はカバー
100…製造装置
102…緩衝ハブ
103…取出ステーション
104…移送ハブ
105…接合口
106…真空ポンプ
107…ポンプ口
108…圧力ゲージ
110…装填ステーション
130、140、150、160…蒸着ステーション
170…保存ステーション
180…封入ステーション
228…データベース/処理制御コンピュータ
232…x軸並進スライド
234…y軸並進スライド
236…カメラ
238…光源
244…柔軟性導光器
248…検査窓
250…照明光学素子
252…カメラレンズ
258…導光器マウント
260…フィルター
262…真空
264…照明光
266、268、270…デバイス画素
278…第2x軸並進スライド
Claims (10)
- それぞれ独自の発光層を有する複数の画素であって入力光により励起されて着色応答光を出力することができるものを有するOLEDデバイスの欠陥を測定する方法であって、
a)1又は2以上のOLEDデバイスに、又はOLEDデバイスの一部に、スペクトルの所定部分の光を当てることにより、各画素について該画素の発光層を励起させて色応答を出力させ、
b)該励起された画素により生じた出力光の画像を捕捉し、該捕捉された光をデジタル画像に変換し、そして
c)該デジタル画素からデバイス画素のサイズ、形状、配置及び放出光強度を測定し、これらのサイズ、形状、配置及び放出光強度を、許容できる所定のサイズ、形状、配置及び放出光強度の範囲と比較することにより、該OLEDデバイスに欠陥があるかどうかについて決定を行う
ことを特徴とする方法。 - 工程c)が、該捕捉されたデジタル画像に応答して自動的に欠陥の有無について決定を行うコンピュータプログラムを使用すること、又は可視画像を出力し、そこでユーザーが該画像を検査してその欠陥を測定することにより行われる、請求項1に記載の方法。
- 該複数の画素が、該OLEDデバイスにおいて色の異なる画素及び/又はサブピクセルを含む、請求項2に記載の方法。
- 請求項1に記載の工程c)が色分析を含む、請求項3に記載の方法。
- 当該光源が、画素を励起させて色の異なる光を発生させることができる紫外光を発生する、請求項3に記載の方法。
- それぞれ独自の発光層を有する複数の画素であって入力光により励起されて着色応答光を出力することができるものを有するOLEDデバイスの欠陥を測定する方法であって、
a)スペクトルの所定部分の光を発生する光源を用意し、
b)該光源に対し、該OLEDデバイスをx、y方向において順次位置決めし、1又は2以上のOLEDデバイスにスペクトルの所定部分の光を当てることにより、各画素について該画素の発光層を励起させて色応答を出力させ、
c)該励起された画素により生じた光の部分を増幅し、
d)該励起された画素により生じた出力光の画像を捕捉し、該捕捉された光をデジタル画像に変換し、そして
e)該デジタル画素からデバイス画素のサイズ、形状、配置及び放出光強度を測定し、これらのサイズ、形状、配置及び放出光強度を、許容できる所定のサイズ、形状、配置及び放出光強度の範囲と比較することにより、該OLEDデバイスに欠陥があるかどうかについて決定を行う
ことを特徴とする方法。 - 工程b)の位置決めが、次の位置へ進み、停止し、測定し、そして反復するという順序に従う、請求項6に記載の方法。
- 工程b)の位置決めが、OLEDデバイスを連続的に移動させ、かつ、ストロボ化された光源を得るためパルス化された又はシャッター開閉された光源を使用することにより行われる、請求項6に記載の方法。
- 工程b)の位置決めが、OLEDデバイスを連続的に移動させ、かつ、カメラによる検出前に当該放出光に対して電子式又は機械式のシャッターを使用することにより行われる、請求項6に記載の方法。
- 工程e)が、該捕捉されたデジタル画像に応答して自動的に欠陥の有無について決定を行うコンピュータプログラムを使用すること、又は可視画像を出力し、そこでユーザーが該画像を検査してその欠陥を測定することにより行われる、請求項6に記載の方法。
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Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2009113478A1 (ja) * | 2008-03-12 | 2009-09-17 | 株式会社アルバック | 表面検査装置、表面検査方法 |
JP2013029326A (ja) * | 2011-07-26 | 2013-02-07 | V Technology Co Ltd | 有機elパネルの欠陥検査方法及び欠陥検査装置 |
JP2013234864A (ja) * | 2012-05-07 | 2013-11-21 | Sinto S-Precision Ltd | 検査機 |
JP2016038346A (ja) * | 2014-08-08 | 2016-03-22 | 東京エレクトロン株式会社 | 検査装置および検査方法 |
WO2017195816A1 (ja) * | 2016-05-10 | 2017-11-16 | 株式会社住化分析センター | 有機エレクトロニクスデバイスの検査方法および分析方法、並びにその利用 |
US10777110B2 (en) | 2019-01-25 | 2020-09-15 | Japan Display Inc. | Display device and manufacturing method therefor, and multi-piece display panel |
Families Citing this family (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005084260A (ja) * | 2003-09-05 | 2005-03-31 | Agilent Technol Inc | 表示パネルの変換データ決定方法および測定装置 |
KR20050122972A (ko) * | 2004-06-26 | 2005-12-29 | 삼성전자주식회사 | 유기 발광소자 분석방법 |
TWI290622B (en) * | 2004-09-30 | 2007-12-01 | Ritdisplay Corp | Detection and repair system and method |
US7590276B2 (en) | 2004-12-20 | 2009-09-15 | Mitutoyo Corporation | System and method for programming interrupting operations during moving image acquisition sequences in a vision system |
CN103364381B (zh) | 2007-12-17 | 2016-04-06 | 生命技术公司 | 用于检测无机涂敷的聚合物表面中的缺陷的方法 |
US20130020507A1 (en) | 2010-06-17 | 2013-01-24 | Life Technologies Corporation | Methods for Detecting Defects in Inorganic-Coated Polymer Surfaces |
ES2685772T3 (es) * | 2009-12-30 | 2018-10-11 | Jvm Co., Ltd. | Sistema de gestión de medicamentos |
DE112012002619T5 (de) * | 2011-06-24 | 2014-04-17 | Kla-Tencor Corp. | Verfahren und Vorrichtung zur Inspektion von lichtemittierenden Halbleiterelementen mittels Photolumineszenz-Abbildung |
JP5261540B2 (ja) * | 2011-06-24 | 2013-08-14 | シャープ株式会社 | 欠陥検査装置及び欠陥検査方法 |
JP5447570B2 (ja) * | 2012-03-27 | 2014-03-19 | 横浜ゴム株式会社 | 空気入りタイヤ及びその製造方法 |
JP5846131B2 (ja) * | 2013-01-10 | 2016-01-20 | 横浜ゴム株式会社 | 空気入りタイヤ |
CN105900418B (zh) * | 2013-02-18 | 2018-01-12 | 卡帝瓦公司 | Oled堆叠膜的质量评估的系统、设备和方法 |
US10678076B2 (en) * | 2017-01-30 | 2020-06-09 | Facebook Technologies, Llc | Treating display panel using laser |
CN107170911B (zh) * | 2017-06-23 | 2019-01-04 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 一种显示面板的老化测试系统及方法 |
JP2022076273A (ja) * | 2020-11-09 | 2022-05-19 | 株式会社Joled | 自発光型表示パネル、及び自発光型表示パネルの製造方法 |
WO2024158935A1 (en) | 2023-01-26 | 2024-08-02 | Sun Chemical Corporation | Fluorescent ink and imaging system for defect detection on printed photosensitive objects |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1116498A (ja) * | 1997-06-25 | 1999-01-22 | Hitachi Ltd | プラズマディスプレイパネル検査方法、並びにプラズマディスプレイパネル製造方法 |
JP2000305651A (ja) * | 1999-04-22 | 2000-11-02 | Koremori Kawai | 年齢早見板 |
JP2001176661A (ja) * | 1999-12-20 | 2001-06-29 | Toyota Motor Corp | 有機el素子の輝度修復方法及び有機el素子 |
JP2001250480A (ja) * | 2000-03-06 | 2001-09-14 | Toray Ind Inc | プラズマディスプレイパネル背面板の検査装置および検査方法 |
JP2002040074A (ja) * | 2000-07-28 | 2002-02-06 | Wintest Corp | 有機elディスプレイの評価装置および評価方法 |
JP2003257652A (ja) * | 2002-03-06 | 2003-09-12 | Sanyo Electric Co Ltd | エレクトロルミネセンス素子の製造方法 |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US47565A (en) * | 1865-05-02 | Improvement in globe-cocks | ||
US142697A (en) * | 1873-09-09 | Improvement in rotary pumps | ||
US4539207A (en) * | 1978-02-13 | 1985-09-03 | Smith Kline & French Laboratories Limited | Pyrimidine compounds |
US4356429A (en) | 1980-07-17 | 1982-10-26 | Eastman Kodak Company | Organic electroluminescent cell |
US4539507A (en) | 1983-03-25 | 1985-09-03 | Eastman Kodak Company | Organic electroluminescent devices having improved power conversion efficiencies |
US4720432A (en) | 1987-02-11 | 1988-01-19 | Eastman Kodak Company | Electroluminescent device with organic luminescent medium |
US4769292A (en) | 1987-03-02 | 1988-09-06 | Eastman Kodak Company | Electroluminescent device with modified thin film luminescent zone |
JP3401356B2 (ja) | 1995-02-21 | 2003-04-28 | パイオニア株式会社 | 有機エレクトロルミネッセンスディスプレイパネルとその製造方法 |
JPH08236027A (ja) | 1995-02-24 | 1996-09-13 | Toppan Printing Co Ltd | シャドウマスクの検査方法 |
JPH11329229A (ja) | 1998-05-22 | 1999-11-30 | Toshiba Corp | シャドウマスクの欠陥検査装置及び欠陥検査方法 |
JP2000304651A (ja) * | 1999-04-26 | 2000-11-02 | Toray Ind Inc | プラズマディスプレイパネルの検査装置および製造方法 |
JP2001116653A (ja) | 1999-10-21 | 2001-04-27 | Yoichiro Ogita | 画面表示特性の評価方法及び装置 |
US6729922B2 (en) | 2000-06-05 | 2004-05-04 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Device for inspecting element substrates and method of inspection using this device |
US6909111B2 (en) | 2000-12-28 | 2005-06-21 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method of manufacturing a light emitting device and thin film forming apparatus |
-
2002
- 2002-11-18 US US10/298,747 patent/US6916221B2/en not_active Expired - Lifetime
-
2003
- 2003-11-06 EP EP03078493A patent/EP1435763A1/en not_active Withdrawn
- 2003-11-18 JP JP2003388071A patent/JP4602660B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
2010
- 2010-06-22 JP JP2010141986A patent/JP2010205743A/ja active Pending
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1116498A (ja) * | 1997-06-25 | 1999-01-22 | Hitachi Ltd | プラズマディスプレイパネル検査方法、並びにプラズマディスプレイパネル製造方法 |
JP2000305651A (ja) * | 1999-04-22 | 2000-11-02 | Koremori Kawai | 年齢早見板 |
JP2001176661A (ja) * | 1999-12-20 | 2001-06-29 | Toyota Motor Corp | 有機el素子の輝度修復方法及び有機el素子 |
JP2001250480A (ja) * | 2000-03-06 | 2001-09-14 | Toray Ind Inc | プラズマディスプレイパネル背面板の検査装置および検査方法 |
JP2002040074A (ja) * | 2000-07-28 | 2002-02-06 | Wintest Corp | 有機elディスプレイの評価装置および評価方法 |
JP2003257652A (ja) * | 2002-03-06 | 2003-09-12 | Sanyo Electric Co Ltd | エレクトロルミネセンス素子の製造方法 |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2009113478A1 (ja) * | 2008-03-12 | 2009-09-17 | 株式会社アルバック | 表面検査装置、表面検査方法 |
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