JP2013234864A - 検査機 - Google Patents

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Chikun Hamasuna
智訓 濱砂
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Sinto S-Precision Ltd
新東エスプレシジョン株式会社
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Abstract

【課題】安定して有機材の蒸着状態を検査する。
【解決手段】所定の倍率で真空室内の有機材を観察する対物レンズ4と、前記有機材を照射する紫外光を射出する照射部12と、前記紫外光が照射された状態の前記有機材の像を前記対物レンズを介して撮像する撮像部8とを備える。
【選択図】図1

Description

本発明は、有機材の蒸着状態を検査する検査機に関するものである。
従来、ガラス基板上に有機材を蒸着して有機EL表示装置を製造する有機EL表示装置の製造方法が知られている(例えば、特許文献1参照)。
特開2010−272300号公報
ところで、上述の有機EL表示装置の製造方法を用いて有機EL表示装置を製造する場合、ガラス基板上に蒸着された有機材の蒸着状態を検査する必要がある。この場合、有機材に対して紫外光(以下、UV光という。)を照射し、有機材を発光させた状態で蒸着状態の検査を行う。
しかしながら、有機材に対してUV光を照射すると、有機材が空気中の酸素と反応して劣化する。このため有機材が発光しなくなり、安定して蒸着状態を検査できなくなる。
本発明の目的は、安定して有機材の蒸着状態を検査できる検査機を提供することである。
本発明の検査機は、所定の倍率で真空室内の有機材を観察する対物レンズと、前記有機材を照射する紫外光を射出する照射部と、前記紫外光が照射された状態の前記有機材の像を前記対物レンズを介して撮像する撮像部とを備えることを特徴とする。
また、本発明の検査機は、前記有機材を照明する可視光を射出する照明部を備え、前記撮像部は、前記可視光により照明された状態の前記有機材の像を前記対物レンズを介して撮像することを特徴とする。
また、本発明の検査機は、前記照射部が、前記対物レンズを介して前記紫外光を射出することを特徴とする。
また、本発明の検査機は、前記照明部が、前記対物レンズを介して前記可視光を射出することを特徴とする。
また、本発明の検査機は、前記真空室が、外部から真空室内を観察可能な観察窓を備え、前記対物レンズが、前記観察窓を介して外部から前記有機材を観察することを特徴とする。
また、本発明の検査機は、前記照射部及び前記照部が、前記観察窓を介して前記有機材に対して紫外光及び可視光を射出することを特徴とする。
本発明の検査機によれば、安定して有機材の蒸着状態を検査できる。
実施の形態に係る検査機を側面から視た図である。 実施の形態に係る検査機の検査対象物となる有機ELパネルを示す図である。 実施の形態に係る検査機を備えた蒸着装置の構成を示す図である。 実施の形態に係る検査機で検査する有機材を発光させながら可視光で照明した状態を示す図である。 実施の形態に係る他の検査機を側面から視た図である。 実施の形態に係る他の検査機を側面から視た図である。
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態に係る検査機について、有機EL表示装置の製造工程において用いられる検査機を例に説明する。図1は、実施の形態に係る検査機を側面から視た図である。図1に示すように、検査機2は、鏡筒3の一端部に所定の倍率で検査対象物である有機ELパネル20(図2参照)を観察する対物レンズ4を備え、鏡筒3の他端部に対物レンズ4によって観察される有機ELパネル20の像を撮像するカメラ8を備えている。また、鏡筒3の側面には、有機ELパネル20を照射するUV光を射出するUV光源12、及び有機ELパネル20を照明する可視光を射出する可視光源14が設けられている。また、鏡筒3の内部には、UV光を反射し可視光を透過するダイクロイックミラー16、及びハーフミラー18が備えられている。
ここで、UV光源12から射出されたUV光は、ダイクロイックミラー16で反射された後、対物レンズ4を介して有機ELパネル20を照射する。また、可視光源14から射出された可視光は、ハーフミラー18で反射された後、ダイクロイックミラー16を透過し、対物レンズ4を介して有機ELパネル20を照明する。なお、有機ELパネル20からの光は、対物レンズ4に入射した後、ダイクロイックミラー16及びハーフミラー18を透過して図示しない撮像素子に結像し、撮像素子に結像した像がカメラ8によって撮像される。
次に、図2を参照して、実施の形態に係る検査機2の検査対象物となる有機ELパネル20について説明する。図2(a)は、有機ELパネル20を対物レンズ4側から視た図である。図2(a)に示すように、ガラス基板22上に蒸着された有機材24は、赤色有機材24r、緑色有機材24g、及び青色有機材24bの3種の異なる発光色を有する有機材から構成されている。
また、図2(b)は、有機ELパネル20のA−A断面の一部を示す図である。図2(b)に示すように、ガラス基板22の上側の面には、ガラス基板22をチャッキングするチャック面23が形成され、ガラス基板22の下側の面(UV光及び可視光が照射される側の面)には、TFT層25が形成されている。また、TFT層25の下側には、可視光を透過する透明な電極層26が形成されており、電極層26に有機材24が蒸着される。なお、TFT層25には、不透明なTFT27、可視光を透過するTFT開口部28が備えられている。
ここで、UV光により有機ELパネル20が照射された場合、有機材24の位置する領域に射出されたUV光は、有機材24をそれぞれの発光色で発光させる。また、可視光により有機ELパネル20が照明された場合、TFT開口部28の位置する領域に射出された可視光は、有機材24、電極層26、TFT開口部28、及びガラス基板22を透過して、チャック面23で反射される。チャック面23で反射された反射光は、元の光路を戻り対物レンズ4に入射する。また、TFT開口部28の位置しない領域に照射された可視光は、有機材24を透過した後、TFT層25で反射される。TFT層25で反射された反射光は、元の光路を戻り対物レンズ4に入射する。
次に、図3を参照して、実施の形態に係る検査機2を備えた蒸着装置の構成について説明する。図3(a)に示すように、蒸着装置30のチャンバ31の内部は真空状態に維持されており、チャンバ31内は、有機ELパネル20を搬送する搬送装置33、及び蒸着部34で構成される。ここで、検査機2は、チャンバ31の外部に配置されており、UV光及び可視光を透過する検査窓36を介してチャンバ31の外側から有機材24の蒸着状態を検査する。
また、図3(b)は、チャンバ31内の搬送装置33を上側から視た図である。図3(b)に示すように、搬送装置33は、一対のレール33aから構成され、蒸着部34で有機材24が蒸着された有機ELパネル20は、両縁部をレール33aに支えられた状態で搬送される。なお、図3(b)に示すように、チャンバ31の外部には、検査機2が複数配置されている。これにより、有機ELパネル20に蒸着された有機材24(図2(b)参照)を広い範囲で検査することができる。
次に、図面を参照して実施の形態に係る検査機2の検査処理について説明する。まず、有機EL表示装置の製造工程において、図3に(a)に示すように、蒸着部34で有機材24を蒸着された有機ELパネル20(図2(b)参照)は、搬送装置33によって検査機2の位置に搬送される。
次に、有機ELパネル20が対物レンズ4の直上に位置すると、制御部は、UV光源12(図1参照)からUV光を射出し、UV光で有機材24を照射する。ここで、チャンバ31内は真空状態に維持されているため(図3(a)参照)、有機材24は、酸素と反応して劣化することなくそれぞれの発光色で発光する。例えば、図2(a)に示すように、赤色有機材24rは赤色で発光し、緑色有機材24gは緑色で発光し、青色有機材24bは青色で発光する。
なお、仮にUV光源12からUV光を射出せずに可視光源14から可視光のみを射出して有機ELパネル20を照明した場合、有機材24は発光せず、図2(b)に示す、TFT開口部28等の有機材24の背面に形成されるTFT層25が観察される。
次に、制御部は、有機材24を発光させたまま可視光源14(図1参照)から可視光を射出し、有機ELパネル20を照明する。この場合、図2(a)に示す、それぞれの発光色で発光する赤色有機材24r、緑色有機材24g、及び青色有機材24bと共に、図2(b)に示す、有機材24の背面に形成されるTFT層25を観察することができる。
なお、チャック面23(図2(b)参照)の反射率は、TFT27等のその他の部材の反射率と比較して大きいため、図4に示すように、有機材24を発光させながら可視光で照明した有機ELパネル20を対物レンズ4側から視た場合、TFT開口部28の位置が他の部分よりも明るく観察される。
次に、制御部は、カメラ8により、発光させながら可視光で照明した状態の有機材24を撮像する。そして、撮像された撮像データに基づいて有機材24の蒸着状態を検査する。例えば、赤色有機材24rとTFT開口部28との位置ズレ、緑色有機材24gとTFT開口部28との位置ズレ、及び青色有機材24bとTFT開口部28との位置ズレ等を検査する。また、赤色有機材6r、緑色有機材6g、及び青色有機材6bの幅等を検査する。
この実施の形態に係る検査機2によれば、真空状態に置かれた有機材24に対してUV光を照射することにより、有機材24が発光した状態で安定して蒸着状態を検査することができる。また、有機材24を可視光で照明することにより、TFT開口部28の位置が検出できるため、良好に有機材24の蒸着ズレを検査することができる。また、図2に示すように下側から有機材24を観察することにより、TFT27が邪魔にならず正確に蒸着状態を検査することができる。
なお、上述の実施の形態においては、TFT開口部28の位置する領域に射出された可視光がガラス基板22を透過し、チャック面23で反射される場合を例に説明しているが、可視光の一部は、ガラス基板22において反射される。このため、チャック面23の反射率が低い場合であっても、図4に示すように、ガラス基板22からの反射でTFT開口部28の位置が他の部分よりも明るく観察される。
また、上述の実施の形態においては、赤色有機材24r、緑色有機材24g、及び青色有機材24bの3種の有機材がガラス基板22に蒸着された後に検査機2による検査を行う場合を例に説明しているが、赤色有機材24r、緑色有機材24g、及び青色有機材24bの何れか一色の有機材が蒸着された後に検査機2による検査を行ってもよい。これにより、単色の有機材の蒸着状態についての検査が可能となる。
また、上述の実施の形態において、図5に示すように、UV光源12を鏡筒3の外部に配置し、ダイクロイックミラー16を対物レンズ4と有機ELパネル(不図示)との間に配置するようにしてもよい。これにより、ダイクロイックミラー16を鏡筒3の内部に備えずに、UV光により有機材24を照明することができる。
また、上述の実施の形態において、図6に示すように、UV光源(不図示)を鏡筒3の外側に配置し、UV光源から射出されたUV光がダイクロイックミラー16及び対物レンズ4を介さずに直接有機材24に照射されるようにしてもよい。
2…検査機、3…鏡筒、4…対物レンズ、8…カメラ、12…UV光源、14…可視光源、16…ダイクロイックミラー、18…ハーフミラー、20…有機ELパネル、22…ガラス基板、24…有機材、25…TFT層、28…TFT開口部、30…蒸着装置、31…チャンバ、36…検査窓

Claims (6)

  1. 所定の倍率で真空室内の有機材を観察する対物レンズと、
    前記有機材を照射する紫外光を射出する照射部と、
    前記紫外光が照射された状態の前記有機材の像を前記対物レンズを介して撮像する撮像部と
    を備えることを特徴とする検査機。
  2. 前記有機材を照明する可視光を射出する照明部を備え、
    前記撮像部は、前記可視光により照明された状態の前記有機材の像を前記対物レンズを介して撮像することを特徴とする請求項1記載の検査機。
  3. 前記照射部は、前記対物レンズを介して前記紫外光を射出することを特徴とする請求項1または2記載の検査機。
  4. 前記照明部は、前記対物レンズを介して前記可視光を射出することを特徴とする請求項2または3記載の検査機。
  5. 前記真空室は、外部から真空室内を観察可能な観察窓を備え、
    前記対物レンズは、前記観察窓を介して外部から前記有機材を観察することを特徴とする請求項1〜4の何れか一項に記載の検査機。
  6. 前記照射部及び前記照明部は、前記観察窓を介して前記有機材に対して紫外光及び可視光を射出することを特徴とする請求項5記載の検査機。
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