JP2005081452A - バキュームグローブボックス - Google Patents

バキュームグローブボックス Download PDF

Info

Publication number
JP2005081452A
JP2005081452A JP2003313292A JP2003313292A JP2005081452A JP 2005081452 A JP2005081452 A JP 2005081452A JP 2003313292 A JP2003313292 A JP 2003313292A JP 2003313292 A JP2003313292 A JP 2003313292A JP 2005081452 A JP2005081452 A JP 2005081452A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
body chamber
glove
main body
vacuum
pipe
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2003313292A
Other languages
English (en)
Other versions
JP4169668B2 (ja
Inventor
Junya Egashira
淳也 江頭
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
MIWA SEISAKUSHO KK
Original Assignee
MIWA SEISAKUSHO KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by MIWA SEISAKUSHO KK filed Critical MIWA SEISAKUSHO KK
Priority to JP2003313292A priority Critical patent/JP4169668B2/ja
Publication of JP2005081452A publication Critical patent/JP2005081452A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4169668B2 publication Critical patent/JP4169668B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Manipulator (AREA)

Abstract

【課題】 装置立ち上げ時や換気時において、本体チャンバーを減圧する際に、ゴム手袋の破損の発生を無くしたバキュームグローブボックスを提供する。
【解決手段】 本体チャンバー１０と、この本体チャンバー１０に設けられた手袋取付口１２と、この手袋取付口１２に装着されるゴム手袋１３と、本体チャンバー１０に連通された本体チャンバー真空引き用管路と、手袋取付口１２部分に連通されたゴム手袋真空引き管路と、本体チャンバー１０並びに手袋取付口１２部分とを排気する真空ポンプ７と、を備え、本体チャンバー１１並びに手袋取付口１２部分との管路３２、３２ａ、３１ａの上流側を共通の第１のバルブ３で接続し、この第１のバルブ３に接続される管路３１を２つの管路３１ａ、３１ｂに分岐し、一方の分岐された管路を第２のバルブ１を介して本体チャンバー１０と接続し、他方の分岐された管路３１ａを手袋取付口１２部分に連通させる。
【選択図】 図１

Description

本発明は、バキュームグローブボックスに係り、特に簡単、かつ、安価な構成で、バキュームグローブボックスに取り着けたゴム手袋の破損を起こさずに、バキュームグローブボックス内のガス置換が行えるようにしたバキュームグローブボックス装置に関するものである。
バキュームグローブボックスは大気中では不安定な固体、粉体、放射性物質、きわめて毒性の強い物質及び空気中の酸素と反応して爆発する物質などを乾燥雰囲気あるいは不活性雰囲気中で取り扱う作業に用いられ、作業空間をその外部と気密状に区画する本体ボックス内の空気をドライエアーあるいは窒素、アルゴン、ヘリウムなどの不活性ガスで置換して乾燥雰囲気あるいは不活性雰囲気（以下、雰囲気ガスという。）を本体チャンバー内に形成するようにしている。装置立ち上げ時などで、本体チャンバー内の空気を雰囲気ガスで置換するためには、本体チャンバー内を真空置換するバキュームグローブボックスが知られている（例えば、特許文献１参照）。
従来のバキュームグローブボックスの概要について図２に基づいて説明することにする。
バキュームグローブボックスは、作業空間を外部から気密状に区画する本体チャンバー１０と、一端を本体チャンバー１０内に連通させ、他端を大気中に連通させたサイドボックス１１と、このサイドボックス１１の内部空間を本体チャンバー１０内に連通させる内側開口５を開閉する内側ハッチ１５、この内部空間を大気中に連通させる外側開口部１１を開閉する外側ハッチ１６とを備える。
本体チャンバー１０の前面の上部には、図示しないが窓ガラスが取り着けられ、下部には人の手を本体チャンバー１０内に入れるための１対の手袋取付口１２が形成され、各手袋取付口１２はゴム手袋１３で気密状に覆われる。更に、手袋取付口１２には、開閉自在な蓋１４が設けられている。
本体チャンバー１０には、本体チャンバー１０内の空気を雰囲気ガスで置換するためのパイプ４２が取り着けられ、このパイプ４２は、分岐部により、真空パイプ４２ａ、ガス供給パイプ４２ｂにそれぞれ分岐されている。真空パイプ４２ａは本体真空引きバルブ２１を介して真空ポンプ７に接続されている。また、ガス供給パイプ４２ｂは本体ガス供給バルブ２４を介して雰囲気ガスが充填されたガスボンベなどからなるガス供給部８に接続されている。
また、サイドボックス１１にも、予備ボックス１０内の空気を雰囲気ガスで置換するためのパイプ４３が取り着けられ、このパイプ４３は、分岐部により、真空パイプ４３ａ、ガス供給パイプ４３ｂにそれぞれ分岐されている。真空パイプ４３ａは真空引きバルブ２２を介して真空ポンプ７に接続されている。また、ガス供給パイプ４３ｂは本体ガス供給バルブ２５を介してガス供給部８に接続されている。
更に、手袋取付口１２を密封する蓋１４にはパイプ４１を連通させてあり、このパイプ４１にゴム手袋真空引きバルブ２３を介して真空ポンプ７が取り着けられている。
尚、真空ポンプ７に連通する管路には、リーク弁６が設けられている。
上記した、バキュームグローブボックスにおいて、装置立ち上げ時などで、本体チャンバー１０内の空気を雰囲気ガスで置換するためには、本体チャンバー１０内を真空置換する。この真空置換は、手袋取付口１２を蓋１４で密閉した後、ゴム手袋真空引きバルブ２３、真空引きバルブ２２、真空引きバルブ２１の順でバルブを開けて真空ポンプ７により、掃引して真空を確保している。
しかしながら、上記作業において、ゴム手袋真空引きバルブ２３を開けるのを忘れて、本体チャンバー１０内を真空掃引すると、本体チャンバー１０内は減圧されるが、ゴム手袋１３部分は減圧されず、圧力差によりゴム手袋１３が膨れ、破裂する場合があった。
特開平５−１０４４８１号公報
この発明は、上記した従来の問題点に鑑みてなされたものにして、装置立ち上げ時や喚起時において、本体チャンバーを減圧する際に、ゴム手袋の破損の発生を無くしたバキュームグローブボックスを提供することを目的とする。
この発明は、本体チャンバーと、この本体チャンバーに設けられた手袋取付口と、この手袋取付口に装着されるゴム手袋と、本体チャンバーに連通された本体チャンバー真空引き用管路と、前記手袋取付口部分に連通されたゴム手袋真空引き管路と、前記本体チャンバー並びに手袋取付口部分とを排気する真空ポンプと、を備え、前記本体チャンバー並びに手袋取付口部分との管路の上流側を共通の第１のバルブで接続し、この第１のバルブに接続される管路を２つの管路に分岐し、一方の分岐された管路を第２のバルブを介して本体チャンバーと接続し、他方の分岐された管路を手袋取付口１２部分に連通させたことを特徴とする。
上記した構成によれば、第１のバルブを開けてからでないと、本体真空引きバルブ１を開けても、本体チャンバーは減圧することはできない。
この発明のバキュームグローブボックスは、本体チャンバーを減圧する場合には、必ず、手袋取付口部分に繋がる第１のバルブを開けることになるので、ゴム手袋に圧力差により膨れることが防止され、ゴム手袋１３の破損が防止できる。
以下、この発明の実施形態を図面に基づいて説明する。図１は、この発明にかかるバキュームグローブボックスの構成を示す概略構成図である。尚、従来例と同一部分には同一符号を付す。
この発明のバキュームグローブボックスも従来例と同様に、作業空間を外部から気密状に区画する本体チャンバー１０と、一端を本体チャンバー１０内に連通させ、他端を大気中に連通させたサイドボックス１１と、このサイドボックス１１の内部空間を本体チャンバー１０内に連通させる内側開口５を開閉する内側ハッチ１５、この内部空間を大気中に連通させる外側開口部１１を開閉する外側ハッチ１６と、を備える。
本体チャンバー１０の前面の上部には、図示しないが窓ガラスが取り着けられ、下部には人の手を本体チャンバー１０内に入れるための１対の手袋取付口１２が形成され、各手袋取付口１２はゴム手袋１３で気密状に覆われる。更に、各手袋取付口１２には、開閉自在な蓋１４が設けられている。
本体チャンバー１０には、本体チャンバー１０内の空気を雰囲気ガスで置換するための真空パイプ３２が取り着けられ、この真空パイプ３２は、分岐部により、真空パイプ３２ａ、ガス供給パイプ３２ｂにそれぞれ分岐されている。また、ガス供給パイプ３２ｂは本体ガス供給バルブ４を介して雰囲気ガスが充填されたガスボンベなどからなるガス供給部８に接続されている。
また、真空パイプ３２ａは本体真空引きバルブ１を介して真空パイプ３１ｂに接続され、更に、上流側の真空パイプ３１ａ、第１の真空引きバルブ３を介して真空ポンプ７に接続されている。
手袋取付口１２を密封する蓋１４にはパイプ３１を連通させてあり、このパイプ３１の上流側は、真空パイプ３１ａ、第１の真空引きバルブ３を介して真空ポンプ７に取り着けられている。
尚、ここで、上流とは、真空ポンプ７に近い側の方を意味する。
また、真空ポンプ７に連通する管路には、リーク弁６が設けられている。
そして、サイドボックス１１にも、サイドボックス１１内の空気を雰囲気ガスで置換するためのパイプ３３が取り着けられ、このパイプ３３は、分岐部により、真空パイプ３３ａ、ガス供給パイプ３３ｂにそれぞれ分岐されている。真空パイプ３３ａはサイドボックス真空引きバルブ２を介して真空ポンプ７に接続されている。また、ガス供給パイプ３３ｂはサイドボックスガス供給バルブ５を介してガス供給部８に接続されている。
上記したように、この発明のバキュームグローブボックスは、本体チャンバー１０並びに手袋取付口１２部分との管路の上流側を共通の第１のバルブ３で接続し、この第１のバルブ３に接続されるパイプ３１を２つの管路に分岐し、一方の分岐されたパイプ３１ｂを本体チャンバー１０側、他方の分岐されたパイプ３１ａを手袋取付口１２部分に連通させたものである。そして、分岐されたパイプ３１ａと本体チャンバー１０に接続されたパイプ３２とを真空引きバルブ１を介して接続されている。
このように構成することで、第１のバルブ３を開けてからでないと、本体真空引きバルブ１を開けても、本体チャンバー１０は減圧することはできない。即ち、本体チャンバー１０を減圧する場合には、必ず、手袋取付口１２部分に繋がる第１のバルブ３を開けることになるので、ゴム手袋１３に圧力差により膨れることが防止され、ゴム手袋１３の破損が防止できる。
上記した実施形態において、更に、本体真空引きバルブ１を第１のバルブ３を開放しない限り、開放できないように、第１のバルブ３と本体真空引きバルブ１とを連動させるように構成して安全性を向上させることもできる。
この発明にかかるバキュームグローブボックスの構成を示す概略構成図である。 従来のバキュームグローブボックスの構成を示す概略構成図である。
符号の説明
１ 本体真空引きバルブ
２ サイドボックス真空引きバルブ
３ 第１の真空引きバルブ
４ 本体ガス供給バルブ
５ サイドボックスガス供給バルブ
６ リーク弁
７ 真空ポンプ
８ ガス供給部
１０ 本体チャンバー
１１ サイドボックス
１２ 手袋取付口
１３ ゴム手袋
３１ パイプ
３１ａ 真空パイプ
３１ｂ 真空パイプ
３２ パイプ
３３ パイプ
３２ａ 真空パイプ
３２ｂ ガス供給パイプ

Claims (1)

  1. 本体チャンバーと、この本体チャンバーに設けられた手袋取付口と、この手袋取付口に装着されるゴム手袋と、本体チャンバーに連通された本体チャンバー真空引き用管路と、前記手袋取付口部分に連通されたゴム手袋真空引き管路と、前記本体チャンバー並びに手袋取付口部分とを排気する真空ポンプと、を備え、前記本体チャンバー並びに手袋取付口部分との管路の上流側を共通の第１のバルブで接続し、この第１のバルブに接続される管路を２つの管路に分岐し、一方の分岐された管路を第２のバルブを介して本体チャンバーと接続し、他方の分岐された管路を手袋取付口１２部分に連通させたことを特徴とするバキュームグローブボックス。
JP2003313292A 2003-09-04 2003-09-04 バキュームグローブボックス Expired - Lifetime JP4169668B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003313292A JP4169668B2 (ja) 2003-09-04 2003-09-04 バキュームグローブボックス

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003313292A JP4169668B2 (ja) 2003-09-04 2003-09-04 バキュームグローブボックス

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2005081452A true JP2005081452A (ja) 2005-03-31
JP4169668B2 JP4169668B2 (ja) 2008-10-22

Family

ID=34414254

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2003313292A Expired - Lifetime JP4169668B2 (ja) 2003-09-04 2003-09-04 バキュームグローブボックス

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4169668B2 (ja)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2006133818A1 (de) * 2005-06-17 2006-12-21 Merz Pharma Gmbh & Co. Kgaa Vorrichtung und verfahren zur fermentativen herstellung biologisch wirksamer verbindungen
KR100736234B1 (ko) * 2005-07-26 2007-07-06 한국표준과학연구원 진공환경에서 미세채널기구의 소량 및 정량 유체 충전방법
CN104227735A (zh) * 2013-06-21 2014-12-24 东阳市和顺磁业有限公司 一种用于稀土永磁铁生产的辅助设备
CN104400796A (zh) * 2014-10-14 2015-03-11 长沙米淇仪器设备有限公司 一种全透明真空手套箱及其使用方法
KR101680351B1 (ko) 2015-10-16 2016-11-29 한국원자력연구원 고온 용접용 진공 챔버 및 이를 이용한 용접방법
CN107097982A (zh) * 2017-05-24 2017-08-29 北京空间技术研制试验中心 一种航天器舱外在轨操作地面试验方法
CN107244429A (zh) * 2017-05-24 2017-10-13 北京空间技术研制试验中心 一种航天器舱外在轨维修人服特性模拟装置

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102729260A (zh) * 2012-07-18 2012-10-17 中国民航大学 一种防止飞机复合材料胶粘剂失效的保护装置
CN108491587B (zh) * 2018-03-02 2019-02-12 北京空间技术研制试验中心 载人航天器长期在轨危险事件分析方法及危险分析系统
CN111151874A (zh) * 2020-01-08 2020-05-15 上海力声特医学科技有限公司 人工耳蜗解码刺激器的密封焊接方法

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2006133818A1 (de) * 2005-06-17 2006-12-21 Merz Pharma Gmbh & Co. Kgaa Vorrichtung und verfahren zur fermentativen herstellung biologisch wirksamer verbindungen
EA012052B1 (ru) * 2005-06-17 2009-08-28 Мерц Фарма Гмбх Унд Ко. Кгаа Устройство и способ для ферментативного получения биологически активных соединений
US7927836B2 (en) 2005-06-17 2011-04-19 Merz Pharma Gmbh & Co. Kgaa Device and method for the production of biologically active compounds by fermentation
KR100736234B1 (ko) * 2005-07-26 2007-07-06 한국표준과학연구원 진공환경에서 미세채널기구의 소량 및 정량 유체 충전방법
CN104227735A (zh) * 2013-06-21 2014-12-24 东阳市和顺磁业有限公司 一种用于稀土永磁铁生产的辅助设备
CN104400796A (zh) * 2014-10-14 2015-03-11 长沙米淇仪器设备有限公司 一种全透明真空手套箱及其使用方法
KR101680351B1 (ko) 2015-10-16 2016-11-29 한국원자력연구원 고온 용접용 진공 챔버 및 이를 이용한 용접방법
CN107097982A (zh) * 2017-05-24 2017-08-29 北京空间技术研制试验中心 一种航天器舱外在轨操作地面试验方法
CN107244429A (zh) * 2017-05-24 2017-10-13 北京空间技术研制试验中心 一种航天器舱外在轨维修人服特性模拟装置
CN107097982B (zh) * 2017-05-24 2018-07-03 北京空间技术研制试验中心 一种航天器舱外在轨操作地面试验方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP4169668B2 (ja) 2008-10-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4169668B2 (ja) バキュームグローブボックス
CN105277329B (zh) 低气压环境振动试验系统
JP2008306223A5 (ja)
CN112098008A (zh) 一种用于工件气密性检测的装置
JP2009279718A (ja) アイソレータからの物品搬出方法およびアイソレータ
US20080101893A1 (en) Vacuum processing apparatus and a method for venting to atmosphere
JP5715984B2 (ja) グローブボックスのグローブ交換方法
EP0382985A1 (en) Gas purge system
JP4277351B2 (ja) 漏れ検査装置及び漏れ検査装置の校正方法
JP2010207517A (ja) 高圧蒸気滅菌器
JP2001024045A (ja) 搬送装置およびそれを用いた露光装置
JPS6147677B2 (ja)
JP2008251353A (ja) 物品交換機構および物品交換方法
CN213559890U (zh) 增材制造密封箱手套的稳压装置
CN110312920A (zh) 具有双层薄膜的薄膜腔室
JP2006234085A (ja) 真空バルブ
CN110954281B (zh) 一种腔室检漏系统
JP3615380B2 (ja) 密閉容器
JP2012510368A (ja) 真空下でワークピースを加工するため、ハウジングに対して回転可能なハウジング底部を有する装置
JPH06213155A (ja) 容器の超真空排気装置
JP2596636B2 (ja) バルブ付きｘ線取り出し窓
JP6057447B1 (ja) グローブポート栓およびグローブ交換方法
JP6392795B2 (ja) 水中観測装置及びオイル注入装置
JPH0526735Y2 (ja)
JP2024032559A (ja) グローブボックス及びグローブボックスの作動方法

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20060816

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20080118

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20080129

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20080331

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20080805

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20080805

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110815

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4169668

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120815

Year of fee payment: 4

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120815

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130815

Year of fee payment: 5

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R154 Certificate of patent or utility model (reissue)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R154

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

EXPY Cancellation because of completion of term