JP4169668B2

JP4169668B2 - バキュームグローブボックス

Info

Publication number: JP4169668B2
Application number: JP2003313292A
Authority: JP
Inventors: 淳也江頭
Original assignee: 株式会社美和製作所
Priority date: 2003-09-04
Filing date: 2003-09-04
Publication date: 2008-10-22
Anticipated expiration: 2023-09-04
Also published as: JP2005081452A

Description

本発明は、バキュームグローブボックスに係り、特に簡単、かつ、安価な構成で、バキュームグローブボックスに取り着けたゴム手袋の破損を起こさずに、バキュームグローブボックス内のガス置換が行えるようにしたバキュームグローブボックス装置に関するものである。

バキュームグローブボックスは大気中では不安定な固体、粉体、放射性物質、きわめて毒性の強い物質及び空気中の酸素と反応して爆発する物質などを乾燥雰囲気あるいは不活性雰囲気中で取り扱う作業に用いられ、作業空間をその外部と気密状に区画する本体ボックス内の空気をドライエアーあるいは窒素、アルゴン、ヘリウムなどの不活性ガスで置換して乾燥雰囲気あるいは不活性雰囲気（以下、雰囲気ガスという。）を本体チャンバー内に形成するようにしている。装置立ち上げ時などで、本体チャンバー内の空気を雰囲気ガスで置換するためには、本体チャンバー内を真空置換するバキュームグローブボックスが知られている（例えば、特許文献１参照）。

従来のバキュームグローブボックスの概要について図２に基づいて説明することにする。

バキュームグローブボックスは、作業空間を外部から気密状に区画する本体チャンバー１０と、一端を本体チャンバー１０内に連通させ、他端を大気中に連通させたサイドボックス１１と、このサイドボックス１１の内部空間を本体チャンバー１０内に連通させる内側開口５を開閉する内側ハッチ１５、この内部空間を大気中に連通させる外側開口部１１を開閉する外側ハッチ１６とを備える。

本体チャンバー１０の前面の上部には、図示しないが窓ガラスが取り着けられ、下部には人の手を本体チャンバー１０内に入れるための１対の手袋取付口１２が形成され、各手袋取付口１２はゴム手袋１３で気密状に覆われる。更に、手袋取付口１２には、開閉自在な蓋１４が設けられている。

本体チャンバー１０には、本体チャンバー１０内の空気を雰囲気ガスで置換するためのパイプ４２が取り着けられ、このパイプ４２は、分岐部により、真空パイプ４２ａ、ガス供給パイプ４２ｂにそれぞれ分岐されている。真空パイプ４２ａは本体真空引きバルブ２１を介して真空ポンプ７に接続されている。また、ガス供給パイプ４２ｂは本体ガス供給バルブ２４を介して雰囲気ガスが充填されたガスボンベなどからなるガス供給部８に接続されている。

また、サイドボックス１１にも、予備ボックス１０内の空気を雰囲気ガスで置換するためのパイプ４３が取り着けられ、このパイプ４３は、分岐部により、真空パイプ４３ａ、ガス供給パイプ４３ｂにそれぞれ分岐されている。真空パイプ４３ａは真空引きバルブ２２を介して真空ポンプ７に接続されている。また、ガス供給パイプ４３ｂは本体ガス供給バルブ２５を介してガス供給部８に接続されている。

更に、手袋取付口１２を密封する蓋１４にはパイプ４１を連通させてあり、このパイプ４１にゴム手袋真空引きバルブ２３を介して真空ポンプ７が取り着けられている。

尚、真空ポンプ７に連通する管路には、リーク弁６が設けられている。

上記した、バキュームグローブボックスにおいて、装置立ち上げ時などで、本体チャンバー１０内の空気を雰囲気ガスで置換するためには、本体チャンバー１０内を真空置換する。この真空置換は、手袋取付口１２を蓋１４で密閉した後、ゴム手袋真空引きバルブ２３、真空引きバルブ２２、真空引きバルブ２１の順でバルブを開けて真空ポンプ７により、掃引して真空を確保している。

しかしながら、上記作業において、ゴム手袋真空引きバルブ２３を開けるのを忘れて、本体チャンバー１０内を真空掃引すると、本体チャンバー１０内は減圧されるが、ゴム手袋１３部分は減圧されず、圧力差によりゴム手袋１３が膨れ、破裂する場合があった。
特開平５−１０４４８１号公報

この発明は、上記した従来の問題点に鑑みてなされたものにして、装置立ち上げ時や喚起時において、本体チャンバーを減圧する際に、ゴム手袋の破損の発生を無くしたバキュームグローブボックスを提供することを目的とする。

この発明は、本体チャンバーと、この本体チャンバーに設けられた手袋取付口と、この手袋取付口に装着されるゴム手袋と、本体チャンバーに連通された本体チャンバー真空引き用管路と、前記手袋取付口部分に連通されたゴム手袋真空引き管路と、前記本体チャンバー並びに手袋取付口部分とを排気する真空ポンプと、を備え、前記本体チャンバー並びに手袋取付口部分との管路の前記真空ポンプ側が共通の第１のバルブを介して前記真空ポンプと接続され、この第１のバルブに接続される管路が２つの管路に分岐され、一方の分岐された管路が第２のバルブを介して前記本体チャンバーに接続され、他方の分岐された管路が手袋取付口部分に直接に接続されていることを特徴とする。

上記した構成によれば、第１のバルブを開けてからでないと、本体真空引きバルブを開けても、本体チャンバーは減圧することはできない。

この発明のバキュームグローブボックスは、本体チャンバーを減圧する場合には、必ず、手袋取付口部分に繋がる第１のバルブを開けることになるので、ゴム手袋が圧力差により膨れることが防止され、ゴム手袋の破損が防止できる。

以下、この発明の実施形態を図面に基づいて説明する。図１は、この発明にかかるバキュームグローブボックスの構成を示す概略構成図である。尚、従来例と同一部分には同一符号を付す。

この発明のバキュームグローブボックスも従来例と同様に、作業空間を外部から気密状に区画する本体チャンバー１０と、一端を本体チャンバー１０内に連通させ、他端を大気中に連通させたサイドボックス１１と、このサイドボックス１１の内部空間を本体チャンバー１０内に連通させる内側開口５を開閉する内側ハッチ１５、この内部空間を大気中に連通させる外側開口部１１を開閉する外側ハッチ１６と、を備える。

本体チャンバー１０の前面の上部には、図示しないが窓ガラスが取り着けられ、下部には人の手を本体チャンバー１０内に入れるための１対の手袋取付口１２が形成され、各手袋取付口１２はゴム手袋１３で気密状に覆われる。更に、各手袋取付口１２には、開閉自在な蓋１４が設けられている。

本体チャンバー１０には、本体チャンバー１０内の空気を雰囲気ガスで置換するための真空パイプ３２が取り着けられ、この真空パイプ３２は、分岐部により、真空パイプ３２ａ、ガス供給パイプ３２ｂにそれぞれ分岐されている。また、ガス供給パイプ３２ｂは本体ガス供給バルブ４を介して雰囲気ガスが充填されたガスボンベなどからなるガス供給部８に接続されている。

また、真空パイプ３２ａは本体真空引きバルブ１を介して真空パイプ３１ｂに接続され、更に、上流側の真空パイプ３１、第１の真空引きバルブ３を介して真空ポンプ７に接続されている。

手袋取付口１２を密封する蓋１４にはパイプ３１ａを連通させてあり、このパイプ３１ａの上流側は、真空パイプ３１、第１の真空引きバルブ３を介して真空ポンプ７に取り着けられている。

尚、ここで、上流とは、真空ポンプ７に近い側の方を意味する。

また、真空ポンプ７に連通する管路には、リーク弁６が設けられている。

そして、サイドボックス１１にも、サイドボックス１１内の空気を雰囲気ガスで置換するためのパイプ３３が取り着けられ、このパイプ３３は、分岐部により、真空パイプ３３ａ、ガス供給パイプ３３ｂにそれぞれ分岐されている。真空パイプ３３ａはサイドボックス真空引きバルブ２を介して真空ポンプ７に接続されている。また、ガス供給パイプ３３ｂはサイドボックスガス供給バルブ５を介してガス供給部８に接続されている。

上記したように、この発明のバキュームグローブボックスは、本体チャンバー１０並びに手袋取付口１２部分との管路の上流側を共通の第１のバルブ３で接続し、この第１のバルブ３に接続されるパイプ３１を２つの管路に分岐し、一方の分岐されたパイプ３１ｂを本体チャンバー１０側、他方の分岐されたパイプ３１ａを手袋取付口１２部分に連通させたものである。そして、分岐されたパイプ３１ａと本体チャンバー１０に接続されたパイプ３２とを真空引きバルブ１を介して接続されている。

このように構成することで、第１のバルブ３を開けてからでないと、本体真空引きバルブ１を開けても、本体チャンバー１０は減圧することはできない。即ち、本体チャンバー１０を減圧する場合には、必ず、手袋取付口１２部分に繋がる第１のバルブ３を開けることになるので、ゴム手袋１３に圧力差により膨れることが防止され、ゴム手袋１３の破損が防止できる。

上記した実施形態において、更に、本体真空引きバルブ１を第１のバルブ３を開放しない限り、開放できないように、第１のバルブ３と本体真空引きバルブ１とを連動させるように構成して安全性を向上させることもできる。

この発明にかかるバキュームグローブボックスの構成を示す概略構成図である。従来のバキュームグローブボックスの構成を示す概略構成図である。

符号の説明

１本体真空引きバルブ
２サイドボックス真空引きバルブ
３第１の真空引きバルブ
４本体ガス供給バルブ
５サイドボックスガス供給バルブ
６リーク弁
７真空ポンプ
８ガス供給部
１０本体チャンバー
１１サイドボックス
１２手袋取付口
１３ゴム手袋
３１パイプ
３１ａ真空パイプ
３１ｂ真空パイプ
３２パイプ
３３パイプ
３２ａ真空パイプ
３２ｂガス供給パイプ

Claims

本体チャンバーと、この本体チャンバーに設けられた手袋取付口と、この手袋取付口に装着されるゴム手袋と、本体チャンバーに連通された本体チャンバー真空引き用管路と、前記手袋取付口部分に連通されたゴム手袋真空引き管路と、前記本体チャンバー並びに手袋取付口部分とを排気する真空ポンプと、を備え、前記本体チャンバー並びに手袋取付口部分との管路の前記真空ポンプ側が共通の第１のバルブを介して前記真空ポンプと接続され、この第１のバルブに接続される管路が２つの管路に分岐され、一方の分岐された管路が第２のバルブを介して前記本体チャンバーに接続され、他方の分岐された管路が手袋取付口部分に直接に接続されていることを特徴とするバキュームグローブボックス。