JP2596636B2 - バルブ付きｘ線取り出し窓 - Google Patents
バルブ付きｘ線取り出し窓Info
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- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/708—Construction of apparatus, e.g. environment aspects, hygiene aspects or materials
- G03F7/70808—Construction details, e.g. housing, load-lock, seals or windows for passing light in or out of apparatus
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、高密度集積回路の製造、材料等の分析にシ
ンクロトロン放射光を利用する際に、Ｘ線取り出し系ビ
ームラインに挿入するＸ線取り出し窓に関するものであ
る。
ンクロトロン放射光を利用する際に、Ｘ線取り出し系ビ
ームラインに挿入するＸ線取り出し窓に関するものであ
る。
最近、高出力のＸ線が得られるＸ線発生装置として放
射光が注目され、集積回路の製造、材料等の分析に幅広
く利用されようとしている。放射光を利用する場合、Ｘ
線を取り出すＸ線取り出し窓が必要である。
射光が注目され、集積回路の製造、材料等の分析に幅広
く利用されようとしている。放射光を利用する場合、Ｘ
線を取り出すＸ線取り出し窓が必要である。
第４図は、Ｘ線露光に使用される従来のＸ線取り出し
系の一例である。１は真空を遮断するゲートバルブ、２
は第１のＸ線取り出し窓、６はヘリウム室、３はヘリウ
ム室６を排気するための真空保持用ゲートバルブ、５は
ゲートバルブ１と第１のＸ線取り出し窓２との間の真空
室、４は真空室５を排気するための予備排気用ゲートバ
ルブ、７はヘリウムを投入するヘリウム導入口、８はヘ
リウムの排気口、９は最初に真空室５とヘリウム室６を
排気するための真空排気口、10は非常に薄い膜でできた
第２のＸ線取り出し窓、11は真空室５の排気ポートであ
る。
系の一例である。１は真空を遮断するゲートバルブ、２
は第１のＸ線取り出し窓、６はヘリウム室、３はヘリウ
ム室６を排気するための真空保持用ゲートバルブ、５は
ゲートバルブ１と第１のＸ線取り出し窓２との間の真空
室、４は真空室５を排気するための予備排気用ゲートバ
ルブ、７はヘリウムを投入するヘリウム導入口、８はヘ
リウムの排気口、９は最初に真空室５とヘリウム室６を
排気するための真空排気口、10は非常に薄い膜でできた
第２のＸ線取り出し窓、11は真空室５の排気ポートであ
る。
ゲートバルブ１の上流は、図示しないＸ線反射ミラ
ー、光アブソーバーを通ってシンクロトロン放射光の蓄
積リングに接続されており、10-9Torr以上の超高真空と
なっている。また、第１のＸ線取り出し窓２の下流はヘ
リウム室６、第２のＸ線取り出し窓10から構成され、こ
れらのＸ線取り出し系を通ってシンクロトロン放射光を
大気中に取り出している。真空室５にはゲートバルブ１
と第１のＸ線取り出し窓２、排気ポート11等が取り付け
られ、比較的大きくなっている。さらに、真空室５の真
空排気時に第１のＸ線取り出し窓２に瞬間的な力が働く
ため、バイパス（第４図の予備排気用ゲートバルブ４が
設けてあるバイパス）を設けてヘリウム室６と同時に真
空排気し、真空排気後にヘリウムを微量ずつヘリウム室
６に導入する方法がとられており、構造が複雑となって
いる。
ー、光アブソーバーを通ってシンクロトロン放射光の蓄
積リングに接続されており、10-9Torr以上の超高真空と
なっている。また、第１のＸ線取り出し窓２の下流はヘ
リウム室６、第２のＸ線取り出し窓10から構成され、こ
れらのＸ線取り出し系を通ってシンクロトロン放射光を
大気中に取り出している。真空室５にはゲートバルブ１
と第１のＸ線取り出し窓２、排気ポート11等が取り付け
られ、比較的大きくなっている。さらに、真空室５の真
空排気時に第１のＸ線取り出し窓２に瞬間的な力が働く
ため、バイパス（第４図の予備排気用ゲートバルブ４が
設けてあるバイパス）を設けてヘリウム室６と同時に真
空排気し、真空排気後にヘリウムを微量ずつヘリウム室
６に導入する方法がとられており、構造が複雑となって
いる。
これらのＸ線取り出し系を立ち上げるためには、ま
ず、真空を遮断するゲートバルブ１を閉じ、予備排気用
ゲートバルブ４を開いて、真空室５とヘリウム室６を排
気口９から真空排気する。このとき、薄い第２のＸ線取
り出し窓10を保護するため、真空保持用ゲートバルブ３
は閉じておく。このようにして、第１のＸ線取り出し窓
２に急激な排気による力がかからないようにして、真空
室５とヘリウム室６を排気する。真空室５の真空度は蓄
積リング等の真空度を劣化させないため、10-9Torrに近
い真空度まで排気する必要がある。真空室５を10-9Torr
代の真空とするため、真空室５を100℃から200℃でベー
キングする。このベーキングには数日を要する。高真空
となったところで予備排気用ゲートバルブ４を閉じ、第
１のＸ線取り出し窓２より下流にＸ線透過率の高いヘリ
ウムをヘリウム導入口７より投入する。１気圧となった
ところで真空保持用ゲートバルブ３を開いて、ヘリウム
を第２のＸ線取り出し窓10まで導入する。第２のＸ線取
り出し窓10の近傍にはヘリウムの排気口８があり、第２
のＸ線取り出し窓近傍の空気をヘリウムに置換する。
ず、真空を遮断するゲートバルブ１を閉じ、予備排気用
ゲートバルブ４を開いて、真空室５とヘリウム室６を排
気口９から真空排気する。このとき、薄い第２のＸ線取
り出し窓10を保護するため、真空保持用ゲートバルブ３
は閉じておく。このようにして、第１のＸ線取り出し窓
２に急激な排気による力がかからないようにして、真空
室５とヘリウム室６を排気する。真空室５の真空度は蓄
積リング等の真空度を劣化させないため、10-9Torrに近
い真空度まで排気する必要がある。真空室５を10-9Torr
代の真空とするため、真空室５を100℃から200℃でベー
キングする。このベーキングには数日を要する。高真空
となったところで予備排気用ゲートバルブ４を閉じ、第
１のＸ線取り出し窓２より下流にＸ線透過率の高いヘリ
ウムをヘリウム導入口７より投入する。１気圧となった
ところで真空保持用ゲートバルブ３を開いて、ヘリウム
を第２のＸ線取り出し窓10まで導入する。第２のＸ線取
り出し窓10の近傍にはヘリウムの排気口８があり、第２
のＸ線取り出し窓近傍の空気をヘリウムに置換する。
このように、従来のＸ線取り出し系では、ゲートバル
ブ１と第１のＸ線取り出し窓２との間に真空室５があ
り、Ｘ線取り出し系の長さが長くなると共に、第１のＸ
線取り出し窓２のベリリウムを交換する場合、真空室５
を規定の真空度まで到達させるため数日を要する等の問
題がある。
ブ１と第１のＸ線取り出し窓２との間に真空室５があ
り、Ｘ線取り出し系の長さが長くなると共に、第１のＸ
線取り出し窓２のベリリウムを交換する場合、真空室５
を規定の真空度まで到達させるため数日を要する等の問
題がある。
本発明は、これらの課題を解決するためになされたも
ので、その目的は、Ｘ線取り出し系の長さを短くし、構
造を簡略化するとともに、Ｘ線取り出し窓交換時の交換
時間を短縮化させることにある。
ので、その目的は、Ｘ線取り出し系の長さを短くし、構
造を簡略化するとともに、Ｘ線取り出し窓交換時の交換
時間を短縮化させることにある。
上記目的を達成するために、本発明は、Ｘ線を低真空
または大気圧に取り出すＸ線取り出し窓系において、真
空を遮断する第１の隔壁とＸ線取り出し窓を持つ第２の
隔壁があり、各々の上記隔壁が独立したバルブ開閉用駆
動部を有する一体構造であり、さらに、上記第２の隔壁
には上記Ｘ線取り出し窓を保持するＸ線取り出し窓保持
部とＸ線取り出し窓取り替え部を有することを特徴とす
る。
または大気圧に取り出すＸ線取り出し窓系において、真
空を遮断する第１の隔壁とＸ線取り出し窓を持つ第２の
隔壁があり、各々の上記隔壁が独立したバルブ開閉用駆
動部を有する一体構造であり、さらに、上記第２の隔壁
には上記Ｘ線取り出し窓を保持するＸ線取り出し窓保持
部とＸ線取り出し窓取り替え部を有することを特徴とす
る。
本発明では、それぞれ開閉可能で、非常に狭い間隙を
隔てて配置した第１の隔壁とＸ線取り出し窓を持つ第２
の隔壁とによりバルブ付きＸ線取り出し窓を構成したの
で、従来の装置と比較してＸ線取り出し系の長さを短く
することができ、予備排気バルブとバイパス排気系が不
要となり、Ｘ線取り出し系が簡素化されるとともに、真
空室の排気に要する時間を非常に短くすることができ
る。
隔てて配置した第１の隔壁とＸ線取り出し窓を持つ第２
の隔壁とによりバルブ付きＸ線取り出し窓を構成したの
で、従来の装置と比較してＸ線取り出し系の長さを短く
することができ、予備排気バルブとバイパス排気系が不
要となり、Ｘ線取り出し系が簡素化されるとともに、真
空室の排気に要する時間を非常に短くすることができ
る。
第１図（ａ）は、本発明の一実施例のＸ線取り出し窓
部の側面図、第１図（ｂ）は、その正面図、第２図は、
Ｘ線取り出し系に第１図のＸ線取り出し窓を設置した場
合の構成図である。第４図と同様の部材には同一の符号
を付し、説明を省略する。第２図において、13は真空を
遮断する第１の隔壁、16はＸ線取り出し窓、14はＸ線取
り出し窓16を持つ第２の隔壁、15はＸ線取り出し窓保持
部、11は非常に狭い間隙を隔てて接近して配置された第
１の隔壁13と第２の隔壁14とから構成されるバルブ付き
Ｘ線取り出し窓、18は第１の隔壁13と第２の隔壁14との
間のミニ真空室、20はヘリウム室６の圧力を測定する圧
力計、21はシーケンサ、19は第１隔壁13の開閉用圧空
（圧縮空気）駆動部、12は第２の隔壁14の開閉用駆動用
ハンドル、第１図（ａ）において17はＸ線取り出し窓取
り替え部である。
部の側面図、第１図（ｂ）は、その正面図、第２図は、
Ｘ線取り出し系に第１図のＸ線取り出し窓を設置した場
合の構成図である。第４図と同様の部材には同一の符号
を付し、説明を省略する。第２図において、13は真空を
遮断する第１の隔壁、16はＸ線取り出し窓、14はＸ線取
り出し窓16を持つ第２の隔壁、15はＸ線取り出し窓保持
部、11は非常に狭い間隙を隔てて接近して配置された第
１の隔壁13と第２の隔壁14とから構成されるバルブ付き
Ｘ線取り出し窓、18は第１の隔壁13と第２の隔壁14との
間のミニ真空室、20はヘリウム室６の圧力を測定する圧
力計、21はシーケンサ、19は第１隔壁13の開閉用圧空
（圧縮空気）駆動部、12は第２の隔壁14の開閉用駆動用
ハンドル、第１図（ａ）において17はＸ線取り出し窓取
り替え部である。
第１の隔壁13の上流は、図示しないＸ線反射ミラー、
光アブソーバ等を通ってシンクロトロン放射光の蓄積リ
ングに接続されており、10-9Torrの超高真空となってい
る。また、Ｘ線取り出し窓16の下流にはヘリウム室６、
第２のＸ線取り出し窓10があり、これらを介して大気中
にＸ線を取り出している。
光アブソーバ等を通ってシンクロトロン放射光の蓄積リ
ングに接続されており、10-9Torrの超高真空となってい
る。また、Ｘ線取り出し窓16の下流にはヘリウム室６、
第２のＸ線取り出し窓10があり、これらを介して大気中
にＸ線を取り出している。
バルブ付きＸ線取り出し窓11を動作させるためには、
第２図において、まず、圧空駆動部19を動作させて第１
の隔壁13を閉じ、さらに真空保持用ゲートバルブ３を閉
じる。次に、駆動用ハンドル12を回転し、第２の隔壁14
を開いてミニ真空室18とヘリウム室６を排気口９から真
空排気する。このとき、真空保持用ゲートバルブ３は閉
じているため、薄い第２のＸ線取り出し窓10は保護され
る。真空度が10-6Torr代となったところで、第２の隔壁
14を閉じて、第１の隔壁13を開く。このとき、ミニ真空
室18内は10-6Torr代の比較的低い真空度であるが、ミニ
真空室18の体積は２ないし3cc程度と非常に小さく、さ
らに、上流のＸ線反射ミラーを収納するミラーチャンバ
の体積が桁違いに大きいため、真空度の劣化はほとんど
なく、蓄積リングに影響を及ぼすことはない。次に、第
２の隔壁14より下流にＸ線透過率の高いヘリウムを、ヘ
リウム導入口７から投入する。１気圧となったところで
真空保持用ゲートバルブ３を開いて、ヘリウムを第２の
Ｘ線取り出し窓10まで導入する。第２のＸ線取り出し窓
10の近傍にはヘリウムの排気口８があり、第２のＸ線取
り出し窓10の近傍の空気をヘリウムに置換する。このよ
うに、バルブ付きＸ線取り出し窓11では、面間隔ａがた
かだか100mm程度であり、ゲートバルブを合わせ持って
いるため、第４図に示した従来の装置のようにゲートバ
ルブをＸ線取り出し窓の上流に設置する必要がなく、Ｘ
線取り出し系の長さを短くできるとともに、真空排気に
要する時間が数十分程度と短縮できる。また、第１図
（ａ）に示すように、Ｘ線取り出し窓取り替え部17で
は、を構成するベリリウム（Ｘ線取り出し窓には一般に
Ｘ線透過率の高いベリリウムが使用されている。）がＸ
線照射により劣化し、Ｘ線取り出し窓16を交換する場合
に使用する。まず、第１の隔壁13と真空保持用ゲートバ
ルブ３（第２図）を閉じておき、駆動用ハンドル12を回
転して第２の隔壁14を矢印ｂ方向に開く。すると、Ｘ線
取り出し窓16は窓取り替え部17の位置に来るため、この
窓取り替え部17を開いてＸ線取り出し窓16を交換する。
従って、ビームラインを外すことなくＸ線取り出し窓16
のベリリウムを容易に交換することができる。
第２図において、まず、圧空駆動部19を動作させて第１
の隔壁13を閉じ、さらに真空保持用ゲートバルブ３を閉
じる。次に、駆動用ハンドル12を回転し、第２の隔壁14
を開いてミニ真空室18とヘリウム室６を排気口９から真
空排気する。このとき、真空保持用ゲートバルブ３は閉
じているため、薄い第２のＸ線取り出し窓10は保護され
る。真空度が10-6Torr代となったところで、第２の隔壁
14を閉じて、第１の隔壁13を開く。このとき、ミニ真空
室18内は10-6Torr代の比較的低い真空度であるが、ミニ
真空室18の体積は２ないし3cc程度と非常に小さく、さ
らに、上流のＸ線反射ミラーを収納するミラーチャンバ
の体積が桁違いに大きいため、真空度の劣化はほとんど
なく、蓄積リングに影響を及ぼすことはない。次に、第
２の隔壁14より下流にＸ線透過率の高いヘリウムを、ヘ
リウム導入口７から投入する。１気圧となったところで
真空保持用ゲートバルブ３を開いて、ヘリウムを第２の
Ｘ線取り出し窓10まで導入する。第２のＸ線取り出し窓
10の近傍にはヘリウムの排気口８があり、第２のＸ線取
り出し窓10の近傍の空気をヘリウムに置換する。このよ
うに、バルブ付きＸ線取り出し窓11では、面間隔ａがた
かだか100mm程度であり、ゲートバルブを合わせ持って
いるため、第４図に示した従来の装置のようにゲートバ
ルブをＸ線取り出し窓の上流に設置する必要がなく、Ｘ
線取り出し系の長さを短くできるとともに、真空排気に
要する時間が数十分程度と短縮できる。また、第１図
（ａ）に示すように、Ｘ線取り出し窓取り替え部17で
は、を構成するベリリウム（Ｘ線取り出し窓には一般に
Ｘ線透過率の高いベリリウムが使用されている。）がＸ
線照射により劣化し、Ｘ線取り出し窓16を交換する場合
に使用する。まず、第１の隔壁13と真空保持用ゲートバ
ルブ３（第２図）を閉じておき、駆動用ハンドル12を回
転して第２の隔壁14を矢印ｂ方向に開く。すると、Ｘ線
取り出し窓16は窓取り替え部17の位置に来るため、この
窓取り替え部17を開いてＸ線取り出し窓16を交換する。
従って、ビームラインを外すことなくＸ線取り出し窓16
のベリリウムを容易に交換することができる。
さらに、第１図において、第１の隔壁13の駆動は圧空
を用いた駆動部19により自動開閉ができるような構造に
なっており、ヘリウム室６の圧力は圧力計20により常に
圧力を感知され、ヘリウム室６の圧力が高くなり、Ｘ線
取り出し窓16の破損の危険が生じたときには、圧力計20
の圧力の感知によりシーケンサ21と圧空式バルブ駆動に
より、自動的に第１の隔壁13が閉じるようになってい
る。このようにして、蓄積リングの真空劣化の安全をも
確保している。もちろん、各隔壁13、14の駆動部は手動
でも、自動でも本発明の効果が失われるものではない。
また、Ｘ線取出し窓にベリリウムを中心に述べてきた
が、Al、Ti等の金属膜、SiN、SiC等の無機膜、ポリプロ
ピレン、ポリエステル等の有機膜を使用することも可能
である。
を用いた駆動部19により自動開閉ができるような構造に
なっており、ヘリウム室６の圧力は圧力計20により常に
圧力を感知され、ヘリウム室６の圧力が高くなり、Ｘ線
取り出し窓16の破損の危険が生じたときには、圧力計20
の圧力の感知によりシーケンサ21と圧空式バルブ駆動に
より、自動的に第１の隔壁13が閉じるようになってい
る。このようにして、蓄積リングの真空劣化の安全をも
確保している。もちろん、各隔壁13、14の駆動部は手動
でも、自動でも本発明の効果が失われるものではない。
また、Ｘ線取出し窓にベリリウムを中心に述べてきた
が、Al、Ti等の金属膜、SiN、SiC等の無機膜、ポリプロ
ピレン、ポリエステル等の有機膜を使用することも可能
である。
第３図は、本発明の他の実施例を示す図で、22は低真
空室である。ここで、第２のＸ線取り出し窓10は真空と
大気圧を隔てる窓となるため、大気圧に耐えられる厚さ
となっている。
空室である。ここで、第２のＸ線取り出し窓10は真空と
大気圧を隔てる窓となるため、大気圧に耐えられる厚さ
となっている。
これを動作させるためには、まずバルブ付きＸ線取り
出し窓11の第１の隔壁13を閉じ、Ｘ線取り出し窓16を持
つ第２の隔壁14を開いて排気口９から低真空室22を真空
排気する。10-6Torr程度になったところで第２の隔壁14
を閉じ、第１の隔壁13を開き、低真空室22を常時排気し
続ける。このようにしてＸ線取り出し系として使用す
る。この場合、第２の隔壁14のＸ線取り出し窓16には圧
力がほとんどかからないため、Ｘ線取り出し窓16の厚さ
としては非常に薄い膜を使用できる。したがって、Ｘ線
取り出し系の全Ｘ線取り出し窓厚さとしては前記の実施
例と同様の厚さとすることができる。このＸ線取り出し
系では第２のＸ線取り出し窓10からわずかな真空のリー
クがあっても低真空室22が常時排気されているため、上
流側の超高真空に悪影響を及ぼすことがない利点があ
る。
出し窓11の第１の隔壁13を閉じ、Ｘ線取り出し窓16を持
つ第２の隔壁14を開いて排気口９から低真空室22を真空
排気する。10-6Torr程度になったところで第２の隔壁14
を閉じ、第１の隔壁13を開き、低真空室22を常時排気し
続ける。このようにしてＸ線取り出し系として使用す
る。この場合、第２の隔壁14のＸ線取り出し窓16には圧
力がほとんどかからないため、Ｘ線取り出し窓16の厚さ
としては非常に薄い膜を使用できる。したがって、Ｘ線
取り出し系の全Ｘ線取り出し窓厚さとしては前記の実施
例と同様の厚さとすることができる。このＸ線取り出し
系では第２のＸ線取り出し窓10からわずかな真空のリー
クがあっても低真空室22が常時排気されているため、上
流側の超高真空に悪影響を及ぼすことがない利点があ
る。
もちろん、Ｘ線取り出し窓16の厚さを厚くし、大気圧
に耐えられるようして、バルブ付きＸ線取り出し窓下流
の低真空室22に数十Torrから１気圧のヘリウムを導入し
て使用することも可能である。
に耐えられるようして、バルブ付きＸ線取り出し窓下流
の低真空室22に数十Torrから１気圧のヘリウムを導入し
て使用することも可能である。
以上本発明を上記実施例に基づいて具体的に説明した
が、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、そ
の要旨を逸脱しない範囲において種々変更可能であるこ
とは勿論である。
が、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、そ
の要旨を逸脱しない範囲において種々変更可能であるこ
とは勿論である。
以上説明したように、本発明では、Ｘ線取り出し窓を
バルブ付きにしたことにより、Ｘ線取り出し系の長さを
短くすることができ、予備排気バルブとバイパス排気系
が不要となり、Ｘ線取り出し系が簡素化されるととも
に、真空室の排気に要する時間を非常に短くすることが
できるため、Ｘ線取り出し窓のベリリウムの交換等に要
する時間の短縮を図ることができる。
バルブ付きにしたことにより、Ｘ線取り出し系の長さを
短くすることができ、予備排気バルブとバイパス排気系
が不要となり、Ｘ線取り出し系が簡素化されるととも
に、真空室の排気に要する時間を非常に短くすることが
できるため、Ｘ線取り出し窓のベリリウムの交換等に要
する時間の短縮を図ることができる。
第１図（ａ）、（ｂ）は本発明の一実施例のＸ線取り出
し窓の詳細図、第２図は、第１図のＸ線取り出し窓を設
置したＸ線取り出し系の構成図、第３図は、本発明の他
の実施例を示す図、第４図は従来技術を示す図である。 １……ゲートバルブ ２……第１のＸ線取り出し窓 ３……真空保持用ゲートバルブ ４……予備排気用ゲートバルブ ５……真空室 ６……ヘリウム室 ７……ヘリウム導入口 ８……ヘリウム排気口 ９……真空排気口 10……第２のＸ線取り出し窓 11……バルブ付きＸ線取り出し窓 12……第２隔壁の駆動用ハンドル 13……第１の隔壁 14……第２の隔壁 15……Ｘ線取り出し窓保持部 16……Ｘ線取り出し窓 17……Ｘ線取り出し窓取り替え部 18……ミニ真空室 19……第１の隔壁の圧空駆動部 20……圧力計 21……シーケンサ 22……低真空室
し窓の詳細図、第２図は、第１図のＸ線取り出し窓を設
置したＸ線取り出し系の構成図、第３図は、本発明の他
の実施例を示す図、第４図は従来技術を示す図である。 １……ゲートバルブ ２……第１のＸ線取り出し窓 ３……真空保持用ゲートバルブ ４……予備排気用ゲートバルブ ５……真空室 ６……ヘリウム室 ７……ヘリウム導入口 ８……ヘリウム排気口 ９……真空排気口 10……第２のＸ線取り出し窓 11……バルブ付きＸ線取り出し窓 12……第２隔壁の駆動用ハンドル 13……第１の隔壁 14……第２の隔壁 15……Ｘ線取り出し窓保持部 16……Ｘ線取り出し窓 17……Ｘ線取り出し窓取り替え部 18……ミニ真空室 19……第１の隔壁の圧空駆動部 20……圧力計 21……シーケンサ 22……低真空室
Claims (1)
- 【請求項１】Ｘ線を低真空または大気圧に取り出すＸ線
取り出し窓系において、真空を遮断する第１の隔壁とＸ
線取り出し窓を持つ第２の隔壁があり、各々の上記隔壁
が独立したバルブ開閉用駆動部を有する一体構造であ
り、さらに、上記第２の隔壁には上記Ｘ線取り出し窓を
保持するＸ線取り出し窓保持部とＸ線取り出し窓取り替
え部を有することを特徴とするバルブ付きＸ線取り出し
窓。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2230657A JP2596636B2 (ja) | 1990-09-03 | 1990-09-03 | バルブ付きｘ線取り出し窓 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2230657A JP2596636B2 (ja) | 1990-09-03 | 1990-09-03 | バルブ付きｘ線取り出し窓 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04113300A JPH04113300A (ja) | 1992-04-14 |
| JP2596636B2 true JP2596636B2 (ja) | 1997-04-02 |
Family
ID=16911243
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2230657A Expired - Fee Related JP2596636B2 (ja) | 1990-09-03 | 1990-09-03 | バルブ付きｘ線取り出し窓 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2596636B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4620034B2 (ja) * | 2006-11-24 | 2011-01-26 | 浜松ホトニクス株式会社 | 電子線照射装置 |
-
1990
- 1990-09-03 JP JP2230657A patent/JP2596636B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04113300A (ja) | 1992-04-14 |
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