JPS5912597Y2 - 電子分光装置 - Google Patents
電子分光装置Info
- Publication number
- JPS5912597Y2 JPS5912597Y2 JP1975163683U JP16368375U JPS5912597Y2 JP S5912597 Y2 JPS5912597 Y2 JP S5912597Y2 JP 1975163683 U JP1975163683 U JP 1975163683U JP 16368375 U JP16368375 U JP 16368375U JP S5912597 Y2 JPS5912597 Y2 JP S5912597Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin film
- excitation source
- chamber
- sample
- source chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は電子分光装置、特に希ガスの共鳴線を励起源と
する紫外電子分光装置に使用して有効な装置に関するも
のである。
する紫外電子分光装置に使用して有効な装置に関するも
のである。
斯かる紫外電子分光装置の従来例を第１図に示す。
１は励起源室で、パイプ２を介して内部に希ガスを導入
した状態において電極３ ａ ，３ ｂ間で放電を起こ
すことにより希ガスの共鳴線が発生する。
した状態において電極３ ａ ，３ ｂ間で放電を起こ
すことにより希ガスの共鳴線が発生する。
該共鳴線は三段のオリフイス５ａ，５ｂ，５Ｃを通過し
て試料室６内に導入され、試料７を照射する。
て試料室６内に導入され、試料７を照射する。
これによりこの試料から光電子ｅを発生し、該光電子は
静電レンズ８によって集束されてエネルギーアナライザ
ー９に導入され、エネルギー分析されて検出器１０に検
出される。
静電レンズ８によって集束されてエネルギーアナライザ
ー９に導入され、エネルギー分析されて検出器１０に検
出される。
尚１１は励起源室１内の希ガスを排気するパイプ、１２
はコリメーターである。
はコリメーターである。
斯様な装置においては試料室６内が１０−９〜１０−”
Ｔｏｒｒ程度の超高真空度を必要とするのに対して、励
起源室１内は放電を起こすことから０．１〜Ｉ Ｔｏｒ
ｒ程度の真空度であり、両者間に極端な真空度の差が生
ずる。
Ｔｏｒｒ程度の超高真空度を必要とするのに対して、励
起源室１内は放電を起こすことから０．１〜Ｉ Ｔｏｒ
ｒ程度の真空度であり、両者間に極端な真空度の差が生
ずる。
この真空度の差を維持するために、従来においては励起
源室と試料室との境に例えば三段のオリフイス５ａ，５
ｂ，５Ｃを設置すると共に、このオリフイス５ａと５ｂ
及び５ｂと５Ｃとの間を排気管１３ ａ ，１３ ｂを
介して夫々１０−３〜ｉｏ−”ｒ Ｏ ｒｒ及び１０−
６〜１０−８ＴＯｒｒ程度の真空に排気する、いわゆる
差動排気構造を採用している。
源室と試料室との境に例えば三段のオリフイス５ａ，５
ｂ，５Ｃを設置すると共に、このオリフイス５ａと５ｂ
及び５ｂと５Ｃとの間を排気管１３ ａ ，１３ ｂを
介して夫々１０−３〜ｉｏ−”ｒ Ｏ ｒｒ及び１０−
６〜１０−８ＴＯｒｒ程度の真空に排気する、いわゆる
差動排気構造を採用している。
従って構造が複雑且つ大型化し、しかもオリフイス間を
排気する真空ポンプを必要とするためにコストが高くな
る。
排気する真空ポンプを必要とするためにコストが高くな
る。
その上わずかな希ガスがオリフイスを通って試料室１内
に流入するのを完全に防止することはできないので、試
料が汚染されたりする欠点がある。
に流入するのを完全に防止することはできないので、試
料が汚染されたりする欠点がある。
斯様な欠点を防止するために、励起源室と試料室とを薄
膜により遮断することが考えられるが、この薄膜は希ガ
スの共鳴線を透過させなければならないことから例えば
厚さ１０００ Ａ程度の非常に薄いものでなければなら
ない。
膜により遮断することが考えられるが、この薄膜は希ガ
スの共鳴線を透過させなければならないことから例えば
厚さ１０００ Ａ程度の非常に薄いものでなければなら
ない。
このとき分析中には先に述べた試料室の１０−９〜１０
−”Ｔｏｒｒと励起源室の１〜０．ＩＴｏｒｒとの真空
度の差によって薄膜に１ｌ カカＫｎＤ ｂるが、その力は略大気圧の７６０〜７６
００に過ぎず、薄膜は破壊されない。
−”Ｔｏｒｒと励起源室の１〜０．ＩＴｏｒｒとの真空
度の差によって薄膜に１ｌ カカＫｎＤ ｂるが、その力は略大気圧の７６０〜７６
００に過ぎず、薄膜は破壊されない。
しかし乍ら前記励起源室或は試料室内をリークするとき
には大気圧が薄膜に加わるために、薄膜は破壊してしま
い、実用に供さない。
には大気圧が薄膜に加わるために、薄膜は破壊してしま
い、実用に供さない。
本考案は斯かる薄膜を破壊することなく使用することの
できる装置を提供するものであり、以下第２図に示した
実施例に基づき詳説する。
できる装置を提供するものであり、以下第２図に示した
実施例に基づき詳説する。
尚同図において第１図と同一番号は同一構戒要素を示す
。
。
図において１４は励起源室１と試料室６との境である壁
１５に形威された通過穴で、該通過穴は励起源室で発生
した希ガスの共鳴線４を試料室６内に導入させるための
ものである。
１５に形威された通過穴で、該通過穴は励起源室で発生
した希ガスの共鳴線４を試料室６内に導入させるための
ものである。
１６は前記壁１５の励起源室側（試料室側でもよい）に
移動可能におかれた板体で、該板体には駆動棒１７がビ
ス等を介して固定してある。
移動可能におかれた板体で、該板体には駆動棒１７がビ
ス等を介して固定してある。
該駆動棒の他端は前記励起源室に固定された案内筒１８
を移動可能に貫通して外部に取り出され、先端に雄ネジ
１９が形或されている。
を移動可能に貫通して外部に取り出され、先端に雄ネジ
１９が形或されている。
該雄ネジには調整ナット２０が螺合されており、該調整
ナットは前記案内筒１８に回転可能に嵌合されて軸心方
向への移動は阻止されている。
ナットは前記案内筒１８に回転可能に嵌合されて軸心方
向への移動は阻止されている。
又前記駆動棒１７に設けたピン２１ ａが案内筒１８に
形威したキー溝２１ ｂに挿入していて駆動棒１７の回
転を阻止している。
形威したキー溝２１ ｂに挿入していて駆動棒１７の回
転を阻止している。
従って調整ナット２０を時計或は反時計方向に回転させ
ると駆動棒１７が同図中紙面に対して左右に移動するた
め、板体１６が駆動棒とともに移動する。
ると駆動棒１７が同図中紙面に対して左右に移動するた
め、板体１６が駆動棒とともに移動する。
２２は前記駆動棒と案内筒との間を真空シールするため
のべローズである。
のべローズである。
２３は前記板体１６に形威した窓で、該窓には希ガスの
共鳴線４が透過可能な例えば厚さ１ｏｏｏ Ａ程度のア
ルミ箔からなる薄膜２４がはりつけてある。
共鳴線４が透過可能な例えば厚さ１ｏｏｏ Ａ程度のア
ルミ箔からなる薄膜２４がはりつけてある。
前記壁１５と板体１６との間の通過穴１４の周りにはＯ
リングパッキングが設けてある。
リングパッキングが設けてある。
而して今、同図の如き窓２３と通過穴１４とが一致した
状態においては、励起源室１で発生した共鳴線４が薄膜
２４を透過して試料室６内に進入し、試料を照射するた
め、所望のスペクトルを得ることができる。
状態においては、励起源室１で発生した共鳴線４が薄膜
２４を透過して試料室６内に進入し、試料を照射するた
め、所望のスペクトルを得ることができる。
この状態においては薄膜２４により励起源室と試料室と
は遮断されるため、希ガスの試料室６内への流入は阻止
される。
は遮断されるため、希ガスの試料室６内への流入は阻止
される。
しかも先に述べた様に励起源室と試料室との真空度の差
は太きいけれども、実際に薄膜２４にかかる力は小さく
、従って薄膜は破壊されることはない。
は太きいけれども、実際に薄膜２４にかかる力は小さく
、従って薄膜は破壊されることはない。
次に調整ナット２０を回転することにより駆動棒１７を
同図中紙面に対して左方に移動し、板体１６を一点鎖線
ａで示す位置まで移動させると窓２３は通過穴１４から
外れ、該通過穴は板体１６によって閉鎖される。
同図中紙面に対して左方に移動し、板体１６を一点鎖線
ａで示す位置まで移動させると窓２３は通過穴１４から
外れ、該通過穴は板体１６によって閉鎖される。
この状態において前記薄膜２４は励起源室１内におかれ
ているため、励起源室内をリークしても薄膜の両面は同
時に大気圧に保たれ、薄膜には何等の力が加わらないの
で、破壊されることはない。
ているため、励起源室内をリークしても薄膜の両面は同
時に大気圧に保たれ、薄膜には何等の力が加わらないの
で、破壊されることはない。
又逆に励起源室内を排気する場合でも同様に薄膜が破壊
されることはない。
されることはない。
尚試料室側も独立にリークすることができる。
以上の如く本考案は、装置内をリーク或は排気するとき
には薄膜を有した窓を共鳴線通路から外すことができる
ため、薄膜の破壊を防止でき、従来困難とされていた薄
膜による励起源室と試料室との遮断を実用化することが
できる。
には薄膜を有した窓を共鳴線通路から外すことができる
ため、薄膜の破壊を防止でき、従来困難とされていた薄
膜による励起源室と試料室との遮断を実用化することが
できる。
尚前述の説明では希ガスの共鳴線を試料に照射する紫外
電子分光装置を示したが、これに限定されることなく、
例えばシンクロトロン軌道放射線を分光して試料に照射
する型の電子分光装置の如く励起源室と分光室及び試料
室等で構或される装置においては各結合部でかなりの圧
力勾配が生ずるために、本考案を実施することができる
。
電子分光装置を示したが、これに限定されることなく、
例えばシンクロトロン軌道放射線を分光して試料に照射
する型の電子分光装置の如く励起源室と分光室及び試料
室等で構或される装置においては各結合部でかなりの圧
力勾配が生ずるために、本考案を実施することができる
。
第１図は従来装置を示す概略図、第２図は本考案の一実
施例を示す断面図である。 第２図において１は励起源室、６は試料室、１２はコリ
メーター、１４は通過穴、１５は壁、１６は板体、１７
は駆動棒、１８は案内筒、２０は調整ナット、２３は薄
膜２４を有した窓である。
施例を示す断面図である。 第２図において１は励起源室、６は試料室、１２はコリ
メーター、１４は通過穴、１５は壁、１６は板体、１７
は駆動棒、１８は案内筒、２０は調整ナット、２３は薄
膜２４を有した窓である。
Claims (1)
- 放射線を発生する励起源室と試料を収納する試料室とを
連通ずる放射線通路を遮断する移動可能な板体を設け、
該板体に前記放射線を透過可能な薄膜を有した窓を設け
、該板体を動かして窓を放射線通路に配置する位置と放
射線通路からはずす位置に移動させる手段を設けてなる
電子分光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1975163683U JPS5912597Y2 (ja) | 1975-12-04 | 1975-12-04 | 電子分光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1975163683U JPS5912597Y2 (ja) | 1975-12-04 | 1975-12-04 | 電子分光装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5275483U JPS5275483U (ja) | 1977-06-06 |
| JPS5912597Y2 true JPS5912597Y2 (ja) | 1984-04-16 |
Family
ID=28642486
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1975163683U Expired JPS5912597Y2 (ja) | 1975-12-04 | 1975-12-04 | 電子分光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5912597Y2 (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4868165A (ja) * | 1971-12-18 | 1973-09-17 |
-
1975
- 1975-12-04 JP JP1975163683U patent/JPS5912597Y2/ja not_active Expired
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4868165A (ja) * | 1971-12-18 | 1973-09-17 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5275483U (ja) | 1977-06-06 |
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