JPH0511061A - エネルギー分散型ｘ線検出器 - Google Patents
エネルギー分散型ｘ線検出器Info
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- JPH0511061A JPH0511061A JP3165690A JP16569091A JPH0511061A JP H0511061 A JPH0511061 A JP H0511061A JP 3165690 A JP3165690 A JP 3165690A JP 16569091 A JP16569091 A JP 16569091A JP H0511061 A JPH0511061 A JP H0511061A
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- tank
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01T—MEASUREMENT OF NUCLEAR OR X-RADIATION
- G01T1/00—Measuring X-radiation, gamma radiation, corpuscular radiation, or cosmic radiation
- G01T1/36—Measuring spectral distribution of X-rays or of nuclear radiation spectrometry
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/244—Detectors; Associated components or circuits therefor
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/244—Detection characterized by the detecting means
- H01J2237/2441—Semiconductor detectors, e.g. diodes
- H01J2237/24415—X-ray
- H01J2237/2442—Energy-dispersive (Si-Li type) spectrometer
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 冷却槽の容量の如何に拘らず、冷却槽と保護
容器との間の間隙にガスが発生してもＸ線検出器を良好
な真空状態に保つ。 【構成】 冷却槽１と保護容器５との間の間隙Ａの所定
の位置には隔壁２０が配設されてデュアタンク部２１と
検出器ノーズ部２２が形成されており、これらのデュア
タンク部２１と検出器ノーズ部２２は真空的に分割され
ている。 【効果】 液体窒素２が蒸発して冷却槽１が空になる等
してデュアタンク部２１の真空度が低下しても検出器ノ
ーズ部２２は良好な真空状態に保たれる。また、検出器
ノーズ部２２にガスが発生したとしても当該空間は非常
に狭いものであるから、外部の真空系により短時間で排
気し、高真空状態に保つことができる。
容器との間の間隙にガスが発生してもＸ線検出器を良好
な真空状態に保つ。 【構成】 冷却槽１と保護容器５との間の間隙Ａの所定
の位置には隔壁２０が配設されてデュアタンク部２１と
検出器ノーズ部２２が形成されており、これらのデュア
タンク部２１と検出器ノーズ部２２は真空的に分割され
ている。 【効果】 液体窒素２が蒸発して冷却槽１が空になる等
してデュアタンク部２１の真空度が低下しても検出器ノ
ーズ部２２は良好な真空状態に保たれる。また、検出器
ノーズ部２２にガスが発生したとしても当該空間は非常
に狭いものであるから、外部の真空系により短時間で排
気し、高真空状態に保つことができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、エネルギー分散型Ｘ線
分析装置（ＥＤＳ）に用いられるＸ線検出器の構造に関
する。
分析装置（ＥＤＳ）に用いられるＸ線検出器の構造に関
する。
【０００２】
【従来の技術】ＥＤＳに用いられるＸ線検出器としてＸ
線検出用半導体素子の前方にベリリウム（Ｂｅ）薄膜付
きウィンドウを有するいわゆるウィンドウ型と、Ｘ線検
出用半導体素子の前方に薄膜付きウィンドウを有しな
い、いわゆるウィンドウレス型が知られており、これら
何れのＸ線検出器においても、Ｘ線検出器は、その表面
に霜やガスが付着することによって汚染されないように
保護容器に収納され、且つ液体窒素によって冷却されて
高真空状態に保たれている。しかし、液体窒素を涸らし
た場合には保護容器内部の温度が上昇し、ガスが発生し
て保護容器内の真空度が低下するばかりでなくＸ線検出
器が汚染され、性能劣化の原因となる。また保護容器内
には当該容器内を高真空状態に保つために吸着材が配置
されるのが通常であるが、当該ＥＤＳ装置を長時間使用
した場合には吸着材の吸着能力が徐々に低下し、真空度
が低下してＸ線検出器の表面に霜やガスが付着するとい
う問題があった。
線検出用半導体素子の前方にベリリウム（Ｂｅ）薄膜付
きウィンドウを有するいわゆるウィンドウ型と、Ｘ線検
出用半導体素子の前方に薄膜付きウィンドウを有しな
い、いわゆるウィンドウレス型が知られており、これら
何れのＸ線検出器においても、Ｘ線検出器は、その表面
に霜やガスが付着することによって汚染されないように
保護容器に収納され、且つ液体窒素によって冷却されて
高真空状態に保たれている。しかし、液体窒素を涸らし
た場合には保護容器内部の温度が上昇し、ガスが発生し
て保護容器内の真空度が低下するばかりでなくＸ線検出
器が汚染され、性能劣化の原因となる。また保護容器内
には当該容器内を高真空状態に保つために吸着材が配置
されるのが通常であるが、当該ＥＤＳ装置を長時間使用
した場合には吸着材の吸着能力が徐々に低下し、真空度
が低下してＸ線検出器の表面に霜やガスが付着するとい
う問題があった。
【０００３】これに対して、本出願人は先に特願平3−1
2898号において、ウィンドウ型、ウィンドウレス型の何
れのＸ線検出器においても、保護容器内の真空度低下に
よるＸ線検出器への霜やガス等の汚れの付着を防止する
ことができるＸ線検出器を提案した。その構成例を図
４、図５に示す。図４はウィンドウ型Ｘ線検出器を用い
たＥＤＳの概略構成を示す図であり、図中、１は液体窒
素２を収納した冷却槽、３は熱伝導棒、４はＸ線検出
器、５は冷却槽１、熱伝導棒３、Ｘ線検出器４を真空封
入するための保護容器を示す。保護容器５は、電子顕微
鏡等の真空容器（真空筐体）６内の試料７の近傍にＸ線
検出器４を配置するため、その一端は管状をなしてい
る。冷却槽１の外周には、冷却槽１と保護容器５との間
の間隙Ａの真空度が低下することを防止するために活性
炭等の吸着材８が配置され、また間隙Ａは冷却槽１等の
温度が保護容器５に伝わらないようにするために１０-5
Torr程度に真空排気されている。９は保護容器５の一端
に支持され、真空容器６の真空シールを行うための、例
えばベリリウム薄膜が張られたウィンドウである。１０
はＸ線検出器４よりの信号を外部に取り出すための出力
端子、１１は冷却槽１等と保護容器５との間の間隙Ａを
真空排気するための開閉可能な排気口、１２は冷却槽１
内に液体窒素２を出し入れするための栓である。試料７
は電子銃２０からの電子線１３によって照射され、試料
７の電子線照射部から特性Ｘ線１４が放射される。この
特性Ｘ線１４はウィンドウ９を透過し、Ｘ線検出器４に
よって検出され、電気信号に変換される。保護容器５と
真空容器６とは排気管１６によって接続され、排気管１
６には真空バルブ１７が設けられ、間隙Ａが真空容器６
を排気するための真空ポンプ１８によって排気されるよ
うになされている。１９は間隙Ａの真空度を測定するた
めの真空計である。
2898号において、ウィンドウ型、ウィンドウレス型の何
れのＸ線検出器においても、保護容器内の真空度低下に
よるＸ線検出器への霜やガス等の汚れの付着を防止する
ことができるＸ線検出器を提案した。その構成例を図
４、図５に示す。図４はウィンドウ型Ｘ線検出器を用い
たＥＤＳの概略構成を示す図であり、図中、１は液体窒
素２を収納した冷却槽、３は熱伝導棒、４はＸ線検出
器、５は冷却槽１、熱伝導棒３、Ｘ線検出器４を真空封
入するための保護容器を示す。保護容器５は、電子顕微
鏡等の真空容器（真空筐体）６内の試料７の近傍にＸ線
検出器４を配置するため、その一端は管状をなしてい
る。冷却槽１の外周には、冷却槽１と保護容器５との間
の間隙Ａの真空度が低下することを防止するために活性
炭等の吸着材８が配置され、また間隙Ａは冷却槽１等の
温度が保護容器５に伝わらないようにするために１０-5
Torr程度に真空排気されている。９は保護容器５の一端
に支持され、真空容器６の真空シールを行うための、例
えばベリリウム薄膜が張られたウィンドウである。１０
はＸ線検出器４よりの信号を外部に取り出すための出力
端子、１１は冷却槽１等と保護容器５との間の間隙Ａを
真空排気するための開閉可能な排気口、１２は冷却槽１
内に液体窒素２を出し入れするための栓である。試料７
は電子銃２０からの電子線１３によって照射され、試料
７の電子線照射部から特性Ｘ線１４が放射される。この
特性Ｘ線１４はウィンドウ９を透過し、Ｘ線検出器４に
よって検出され、電気信号に変換される。保護容器５と
真空容器６とは排気管１６によって接続され、排気管１
６には真空バルブ１７が設けられ、間隙Ａが真空容器６
を排気するための真空ポンプ１８によって排気されるよ
うになされている。１９は間隙Ａの真空度を測定するた
めの真空計である。
【０００４】この装置においては、間隙Ａの真空度の低
下が真空計１９によって確認された場合、あるいは間隙
Ａの真空度が低下して冷却槽１内の液体窒素２の単位時
間当りの消費量が多くなった場合には真空バルブ１７を
開状態にし、真空ポンプ１８によって排気して間隙Ａの
真空度を向上させた後、真空バルブ１７を閉状態にして
使用する。また、Ｘ線検出器４の表面に水蒸気が霜とな
って付着した場合には、真空バルブ１７を開状態にし
て、冷却槽１内の液体窒素２を取り出して室温状態に
し、真空ポンプ１８によって十分排気し、Ｘ線検出器４
の表面に付着した霜を取り除いた後、真空バルブ１７を
閉状態にして、冷却槽１内に液体窒素を再度注入し、使
用する。以上のように、この構成によればＸ線検出器４
が汚染された場合にも容易に再生して使用することがで
きる。
下が真空計１９によって確認された場合、あるいは間隙
Ａの真空度が低下して冷却槽１内の液体窒素２の単位時
間当りの消費量が多くなった場合には真空バルブ１７を
開状態にし、真空ポンプ１８によって排気して間隙Ａの
真空度を向上させた後、真空バルブ１７を閉状態にして
使用する。また、Ｘ線検出器４の表面に水蒸気が霜とな
って付着した場合には、真空バルブ１７を開状態にし
て、冷却槽１内の液体窒素２を取り出して室温状態に
し、真空ポンプ１８によって十分排気し、Ｘ線検出器４
の表面に付着した霜を取り除いた後、真空バルブ１７を
閉状態にして、冷却槽１内に液体窒素を再度注入し、使
用する。以上のように、この構成によればＸ線検出器４
が汚染された場合にも容易に再生して使用することがで
きる。
【０００５】図５は、ウィンドウレス型Ｘ線検出器を用
いたＥＤＳの概略構成を示す図であり、Ｘ線検出器４の
前方にゲートバルブ１５を設け、Ｘ線分析を行わないと
きにはゲートバルブ１５を閉状態として冷却槽１等と保
護容器５との間の間隙Ａの真空を保持するようにし、Ｘ
線分析を行う場合には、ゲートバルブ１５を開状態とし
て試料７よりの特性Ｘ線をＸ線検出器４に直接入射させ
るようにしている。そして、この装置においては間隙Ａ
の真空度の低下が確認された場合には、ゲートバルブ１
５を閉状態とし、上述したウィンドウ型ＥＤＳと同様
に、真空バルブ１７を開状態にして真空ポンプ１８によ
って排気する。そして、間隙Ａの真空度の向上を真空計
１９によって確認した後、真空バルブ１７を閉状態に
し、ゲートバルブ１５を開状態にして使用する。この構
成によれば真空容器６内の真空度を低下させないばかり
か、間隙Ａに滞留しているガスは排気管１６を通過して
排気されるため、Ｘ線検出器４が汚染されることを防止
することができる。
いたＥＤＳの概略構成を示す図であり、Ｘ線検出器４の
前方にゲートバルブ１５を設け、Ｘ線分析を行わないと
きにはゲートバルブ１５を閉状態として冷却槽１等と保
護容器５との間の間隙Ａの真空を保持するようにし、Ｘ
線分析を行う場合には、ゲートバルブ１５を開状態とし
て試料７よりの特性Ｘ線をＸ線検出器４に直接入射させ
るようにしている。そして、この装置においては間隙Ａ
の真空度の低下が確認された場合には、ゲートバルブ１
５を閉状態とし、上述したウィンドウ型ＥＤＳと同様
に、真空バルブ１７を開状態にして真空ポンプ１８によ
って排気する。そして、間隙Ａの真空度の向上を真空計
１９によって確認した後、真空バルブ１７を閉状態に
し、ゲートバルブ１５を開状態にして使用する。この構
成によれば真空容器６内の真空度を低下させないばかり
か、間隙Ａに滞留しているガスは排気管１６を通過して
排気されるため、Ｘ線検出器４が汚染されることを防止
することができる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ウィン
ドウ型のＸ線検出器を使用するにしろ、ウィンドウレス
型のＸ線検出器を使用するにしろ、上述したように冷却
槽１と保護容器５との間の間隙Ａを他の装置の真空系で
排気できるように構成した場合、冷却槽１が１リットル
程度の比較的小型のものである場合には間隙Ａの容量は
小さなものとなるので、短時間で高真空状態に排気でき
るが、冷却槽１が１０リットル程度の大型の場合には常
温になった場合に発生するガスの量が非常に多くなるの
で、間隙ＡをＸ線検出器４に支障のない程度の真空状態
に排気するためには長時間を要するばかりでなく、間隙
Ａを排気するための真空系に非常な負担がかかるという
問題が生じた。
ドウ型のＸ線検出器を使用するにしろ、ウィンドウレス
型のＸ線検出器を使用するにしろ、上述したように冷却
槽１と保護容器５との間の間隙Ａを他の装置の真空系で
排気できるように構成した場合、冷却槽１が１リットル
程度の比較的小型のものである場合には間隙Ａの容量は
小さなものとなるので、短時間で高真空状態に排気でき
るが、冷却槽１が１０リットル程度の大型の場合には常
温になった場合に発生するガスの量が非常に多くなるの
で、間隙ＡをＸ線検出器４に支障のない程度の真空状態
に排気するためには長時間を要するばかりでなく、間隙
Ａを排気するための真空系に非常な負担がかかるという
問題が生じた。
【０００７】本発明は上記の課題を解決するものであっ
て、冷却槽の容量の如何に拘らず、冷却槽と保護容器と
の間の間隙にガスが発生してもＸ線検出器を良好な真空
状態に保つことができるエネルギー分散型Ｘ線検出器を
提供することを目的とするものである。
て、冷却槽の容量の如何に拘らず、冷却槽と保護容器と
の間の間隙にガスが発生してもＸ線検出器を良好な真空
状態に保つことができるエネルギー分散型Ｘ線検出器を
提供することを目的とするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】ところで、冷却槽と保護
容器との間の間隙に発生するガスの大部分は大きな表面
積を占める冷却槽と、吸着剤から発生するものであり、
Ｘ線検出器及びその近傍から発生するガスの量は極めて
少ないものである。そこで、冷却槽と保護容器との間の
間隙の中のＸ線検出器の近傍だけを真空的に分割すれ
ば、該間隙の他の部分の真空度が低下したとしてもＸ線
検出器が配置されている部分は良好な真空状態に保てる
ことが分かる。従って本発明のエネルギー分散型Ｘ線検
出器は、冷却槽と保護容器との間の間隙をデュアタンク
部と検出器ノーズ部とに真空的に分割する隔壁を備える
ことを特徴とする。
容器との間の間隙に発生するガスの大部分は大きな表面
積を占める冷却槽と、吸着剤から発生するものであり、
Ｘ線検出器及びその近傍から発生するガスの量は極めて
少ないものである。そこで、冷却槽と保護容器との間の
間隙の中のＸ線検出器の近傍だけを真空的に分割すれ
ば、該間隙の他の部分の真空度が低下したとしてもＸ線
検出器が配置されている部分は良好な真空状態に保てる
ことが分かる。従って本発明のエネルギー分散型Ｘ線検
出器は、冷却槽と保護容器との間の間隙をデュアタンク
部と検出器ノーズ部とに真空的に分割する隔壁を備える
ことを特徴とする。
【０００９】
【作用】冷却槽１と保護容器５との間の間隙Ａの所定の
位置には隔壁２０が配設されてデュアタンク部２１と検
出器ノーズ部２２が形成されており、これらのデュアタ
ンク部２１と検出器ノーズ部２２は真空的に分割されて
いる。従って、液体窒素２が蒸発して冷却槽１が空にな
る等してデュアタンク部２１の真空度が低下しても検出
器ノーズ部２２は良好な真空状態に保たれる。また、検
出器ノーズ部２２にガスが発生したとしても当該空間は
非常に狭いものであるから、外部の真空系により短時間
で排気し、高真空状態に保つことができる。
位置には隔壁２０が配設されてデュアタンク部２１と検
出器ノーズ部２２が形成されており、これらのデュアタ
ンク部２１と検出器ノーズ部２２は真空的に分割されて
いる。従って、液体窒素２が蒸発して冷却槽１が空にな
る等してデュアタンク部２１の真空度が低下しても検出
器ノーズ部２２は良好な真空状態に保たれる。また、検
出器ノーズ部２２にガスが発生したとしても当該空間は
非常に狭いものであるから、外部の真空系により短時間
で排気し、高真空状態に保つことができる。
【００１０】
【実施例】以下本発明の実施例を図面を参照しつつ説明
する。図１は本発明に係るエネルギー分散型Ｘ線検出器
の一実施例の構成を示す図であり、図中、２０は隔壁、
２１はデュアタンク部、２２は検出器ノーズ部、２３、
２４は排気管、２５、２６は真空バルブ、２７は真空シ
ール、２８は断熱材を示す。なお、図１において図４と
同一の符号が付されているものは同一もしくは同等の構
成要素を示す。
する。図１は本発明に係るエネルギー分散型Ｘ線検出器
の一実施例の構成を示す図であり、図中、２０は隔壁、
２１はデュアタンク部、２２は検出器ノーズ部、２３、
２４は排気管、２５、２６は真空バルブ、２７は真空シ
ール、２８は断熱材を示す。なお、図１において図４と
同一の符号が付されているものは同一もしくは同等の構
成要素を示す。
【００１１】図１において、冷却槽１と保護容器５との
間の間隙Ａの所定の位置には隔壁２０が配置されてデュ
アタンク部２１と検出器ノーズ部２２が形成されてお
り、これらのデュアタンク部２１と検出器ノーズ部２２
は真空的に分割されている。そして、デュアタンク部２
１は真空バルブ２５を介して排気管２３により真空容器
６に接続され、また検出器ノーズ部２２は真空バルブ２
６を介して排気管２４により真空容器６に接続されてい
る。
間の間隙Ａの所定の位置には隔壁２０が配置されてデュ
アタンク部２１と検出器ノーズ部２２が形成されてお
り、これらのデュアタンク部２１と検出器ノーズ部２２
は真空的に分割されている。そして、デュアタンク部２
１は真空バルブ２５を介して排気管２３により真空容器
６に接続され、また検出器ノーズ部２２は真空バルブ２
６を介して排気管２４により真空容器６に接続されてい
る。
【００１２】隔壁２０は、例えば図２Ａに示すように、
熱伝導棒３が貫通される開口３０を有する円盤状部材で
構成することもできるし、また同図Ｂに示すように、保
護容器５の内壁には截頭円錐形状部材３１を配設し、熱
伝導棒３には円錐形状部材３２を配設して、これらの部
材３１、３２を隣接して配置することによってオリフィ
ス構造の隔壁を構成してもよいものである。なお、隔壁
２０を構成する部材の材料としては真空保持性が良好で
熱絶縁性を有し、且つガスの発生がないもの、例えば繊
維強化プラスチック（ＦＲＰ）、あるいはマイラー（登
録商標）、パリレン、ポリエチレン等の薄膜を使用する
ことができる。
熱伝導棒３が貫通される開口３０を有する円盤状部材で
構成することもできるし、また同図Ｂに示すように、保
護容器５の内壁には截頭円錐形状部材３１を配設し、熱
伝導棒３には円錐形状部材３２を配設して、これらの部
材３１、３２を隣接して配置することによってオリフィ
ス構造の隔壁を構成してもよいものである。なお、隔壁
２０を構成する部材の材料としては真空保持性が良好で
熱絶縁性を有し、且つガスの発生がないもの、例えば繊
維強化プラスチック（ＦＲＰ）、あるいはマイラー（登
録商標）、パリレン、ポリエチレン等の薄膜を使用する
ことができる。
【００１３】図１の構成においては、吸着材８の吸着能
力の低下、または冷却槽１の液体窒素２が空になること
等により間隙Ａ内にガスが発生したとしても、ガスはデ
ュアタンク部２１の内部だけに留まり、検出器ノーズ部
２２に入り込むことはないので、検出器ノーズ部２２の
内部は良好な真空状態に保たれ、従ってＸ線検出器４が
ガスや霜等により汚染されるのを防止することができ
る。また、検出器ノーズ部２２内にガスが発生し、真空
度が低下した場合には真空バルブ２６を開状態として排
気管２４から真空容器６の真空系（図１には図示せず）
により排気することができる。検出器ノーズ部２２の空
間は非常に狭いものであるから、短時間に排気すること
が可能で、且つ真空容器６の真空系に対する負荷も従来
に比較して大幅に軽減することができる。なお、真空バ
ルブ２６は当該ＥＤＳの稼働期間中開状態としておくこ
とも可能であることは明らかである。
力の低下、または冷却槽１の液体窒素２が空になること
等により間隙Ａ内にガスが発生したとしても、ガスはデ
ュアタンク部２１の内部だけに留まり、検出器ノーズ部
２２に入り込むことはないので、検出器ノーズ部２２の
内部は良好な真空状態に保たれ、従ってＸ線検出器４が
ガスや霜等により汚染されるのを防止することができ
る。また、検出器ノーズ部２２内にガスが発生し、真空
度が低下した場合には真空バルブ２６を開状態として排
気管２４から真空容器６の真空系（図１には図示せず）
により排気することができる。検出器ノーズ部２２の空
間は非常に狭いものであるから、短時間に排気すること
が可能で、且つ真空容器６の真空系に対する負荷も従来
に比較して大幅に軽減することができる。なお、真空バ
ルブ２６は当該ＥＤＳの稼働期間中開状態としておくこ
とも可能であることは明らかである。
【００１４】デュアタンク部２１の排気については、デ
ュアタンク部２１の容量が小さく、短時間で排気でき、
真空容器６の真空系に対する負荷が小さい場合には稼働
期間中真空バルブ２５を開状態として排気しながら分析
を行うことも可能であるが、デュアタンク部２１の容量
が大きく、排気に長時間を要し、従って真空容器６の真
空系に対する負荷が大きい場合には、当該ＥＤＳを使用
していない期間に真空バルブ２５を開状態として排気を
行えばよい。
ュアタンク部２１の容量が小さく、短時間で排気でき、
真空容器６の真空系に対する負荷が小さい場合には稼働
期間中真空バルブ２５を開状態として排気しながら分析
を行うことも可能であるが、デュアタンク部２１の容量
が大きく、排気に長時間を要し、従って真空容器６の真
空系に対する負荷が大きい場合には、当該ＥＤＳを使用
していない期間に真空バルブ２５を開状態として排気を
行えばよい。
【００１５】以上、本発明の一実施例について説明した
が、次に本発明の他の実施例について説明する。図３は
本発明の他の実施例の構成を示す図であり、図１におい
ては、デュアタンク部２１と検出器ノーズ部２２はそれ
ぞれ独立の排気系を備えているのに対して、図３ではデ
ュアタンク部２１と検出器ノーズ部２２の排気系が共通
になっている点でのみ異なっている。即ち、図３におい
てはデュアタンク部２１と検出器ノーズ部２２は共に３
方弁３５を介して排気管３６に接続されている。そし
て、当該ＥＤＳを稼働させる時には図に示すように検出
器ノーズ部２２のみを排気し、稼働していないときには
デュアタンク部２１を排気するように３方弁３５を切り
換える。
が、次に本発明の他の実施例について説明する。図３は
本発明の他の実施例の構成を示す図であり、図１におい
ては、デュアタンク部２１と検出器ノーズ部２２はそれ
ぞれ独立の排気系を備えているのに対して、図３ではデ
ュアタンク部２１と検出器ノーズ部２２の排気系が共通
になっている点でのみ異なっている。即ち、図３におい
てはデュアタンク部２１と検出器ノーズ部２２は共に３
方弁３５を介して排気管３６に接続されている。そし
て、当該ＥＤＳを稼働させる時には図に示すように検出
器ノーズ部２２のみを排気し、稼働していないときには
デュアタンク部２１を排気するように３方弁３５を切り
換える。
【００１６】なお、図３に示す３方弁３５はデュアタン
ク部２１と検出器ノーズ部２２の何れか一方しか排気で
きないが、開状態としたときデュアタンク部２１と検出
器ノーズ部２２が共に排気可能となる弁を使用すること
も可能である。
ク部２１と検出器ノーズ部２２の何れか一方しか排気で
きないが、開状態としたときデュアタンク部２１と検出
器ノーズ部２２が共に排気可能となる弁を使用すること
も可能である。
【００１７】以上、本発明の実施例について説明した
が、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、種
々の変形が可能である。例えば上記実施例ではウィンド
ウ型のＸ線検出器について説明したが、本発明はウィン
ドウレス型のＸ線検出器にも適用できるものであること
は当然である。また、検出器ノーズ部２２に吸着材を配
置してもよいものである。更に、デュアタンク部２１あ
るいは検出器ノーズ部２２に真空計を配置し、真空度が
所定の値以下に低下した場合には自動的に排気するよう
にすることも可能である。
が、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、種
々の変形が可能である。例えば上記実施例ではウィンド
ウ型のＸ線検出器について説明したが、本発明はウィン
ドウレス型のＸ線検出器にも適用できるものであること
は当然である。また、検出器ノーズ部２２に吸着材を配
置してもよいものである。更に、デュアタンク部２１あ
るいは検出器ノーズ部２２に真空計を配置し、真空度が
所定の値以下に低下した場合には自動的に排気するよう
にすることも可能である。
【００１８】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、冷
却槽と保護容器の間の間隙にガスが発生しても当該ガス
が検出器ノーズ部へ流れ、検出器を汚染することがな
い。また、検出器ノーズ部２２の空間は狭いので、排気
は短時間で終了させることができ、外部の真空系に対す
る負荷は小さいものである。更に、冷却槽を大型にでき
るため、検出器を長時間に渡って低温に保つことができ
るので稼働時間を向上させることができる。また更に、
デュアタンク部２１は厳密な真空度が要求されるもので
はなく、真空度が劣化したとしても影響が少ないので、
排気を行う間隔を大きくとることができる。
却槽と保護容器の間の間隙にガスが発生しても当該ガス
が検出器ノーズ部へ流れ、検出器を汚染することがな
い。また、検出器ノーズ部２２の空間は狭いので、排気
は短時間で終了させることができ、外部の真空系に対す
る負荷は小さいものである。更に、冷却槽を大型にでき
るため、検出器を長時間に渡って低温に保つことができ
るので稼働時間を向上させることができる。また更に、
デュアタンク部２１は厳密な真空度が要求されるもので
はなく、真空度が劣化したとしても影響が少ないので、
排気を行う間隔を大きくとることができる。
【図１】 本発明の一実施例の構成を示す図である。
【図２】 隔壁の構成例を示す図である。
【図３】 本発明の他の実施例の構成を示す図である。
【図４】 従来のウィンドウ型のＸ線検出器を用いたＥ
ＤＳの構成例を示す図である。
ＤＳの構成例を示す図である。
【図５】 従来のウィンドウレス型のＸ線検出器の概略
構成を示す図である。
構成を示す図である。
１…冷却槽、２…液体窒素、３…熱伝導棒、４…Ｘ線検
出器、５…保護容器、６…真空容器、８…吸着材、９…
ウィンドウ、１０…出力端子、１１…排気口、１２…
栓、２０…隔壁、２１…デュアタンク部、２２…検出器
ノーズ部、２３、２４…排気管、２５、２６…真空バル
ブ。
出器、５…保護容器、６…真空容器、８…吸着材、９…
ウィンドウ、１０…出力端子、１１…排気口、１２…
栓、２０…隔壁、２１…デュアタンク部、２２…検出器
ノーズ部、２３、２４…排気管、２５、２６…真空バル
ブ。
Claims (2)
- 【請求項１】 冷却槽と保護容器との間の間隙をデュア
タンク部と検出器ノーズ部とに真空的に分割する隔壁を
備えることを特徴とするエネルギー分散型Ｘ線検出器。 - 【請求項２】 前記隔壁により隔てられたデュアタンク
部及び検出器ノーズ部は共通または独立した弁を介して
外部の真空系に接続されることを特徴とする請求項１記
載のエネルギー分散型Ｘ線検出器。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3165690A JPH0511061A (ja) | 1991-07-05 | 1991-07-05 | エネルギー分散型ｘ線検出器 |
| US07/907,722 US5270544A (en) | 1991-07-05 | 1992-07-02 | Energy-dispersive X-ray detector |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3165690A JPH0511061A (ja) | 1991-07-05 | 1991-07-05 | エネルギー分散型ｘ線検出器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0511061A true JPH0511061A (ja) | 1993-01-19 |
Family
ID=15817195
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3165690A Withdrawn JPH0511061A (ja) | 1991-07-05 | 1991-07-05 | エネルギー分散型ｘ線検出器 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5270544A (ja) |
| JP (1) | JPH0511061A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2011145295A1 (ja) * | 2010-05-20 | 2011-11-24 | 日本電気株式会社 | ボロメータ、その製造方法 |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05251028A (ja) * | 1992-03-09 | 1993-09-28 | Jeol Ltd | Ｘ線分析装置を備えた電子顕微鏡 |
| US5587736A (en) * | 1993-02-16 | 1996-12-24 | Envision Medical Corporation | Sterilizable CCD video camera |
| JP3820964B2 (ja) * | 2001-11-13 | 2006-09-13 | 株式会社日立製作所 | 電子線を用いた試料観察装置および方法 |
| JP6464048B2 (ja) * | 2015-06-30 | 2019-02-06 | 日本電子株式会社 | 電子顕微鏡 |
| WO2019080041A1 (en) * | 2017-10-26 | 2019-05-02 | Shenzhen Xpectvision Technology Co., Ltd. | X-RAY DETECTOR WITH COOLING SYSTEM |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3812288A (en) * | 1972-11-21 | 1974-05-21 | Edax Int Inc | Television display system |
| GB8607356D0 (en) * | 1986-03-25 | 1986-05-21 | Ortec Inc | Modular cryogenic detector head assembly |
| JP2582114B2 (ja) * | 1988-04-01 | 1997-02-19 | 日本電子株式会社 | 電子顕微鏡におけるｘ線分析装置 |
-
1991
- 1991-07-05 JP JP3165690A patent/JPH0511061A/ja not_active Withdrawn
-
1992
- 1992-07-02 US US07/907,722 patent/US5270544A/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2011145295A1 (ja) * | 2010-05-20 | 2011-11-24 | 日本電気株式会社 | ボロメータ、その製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5270544A (en) | 1993-12-14 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19981008 |