JPH01120748A - 電子顕微鏡 - Google Patents
電子顕微鏡Info
- Publication number
- JPH01120748A JPH01120748A JP62277420A JP27742087A JPH01120748A JP H01120748 A JPH01120748 A JP H01120748A JP 62277420 A JP62277420 A JP 62277420A JP 27742087 A JP27742087 A JP 27742087A JP H01120748 A JPH01120748 A JP H01120748A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- partial pressure
- liquid nitrogen
- cold trap
- gas
- sample
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 36
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims abstract description 30
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 18
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 18
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims abstract description 13
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 4
- 238000007599 discharging Methods 0.000 abstract 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は電子顕微鏡に係り、特に電子顕微鏡の試料の汚
染防止に好適な電子顕微鏡に関する。
染防止に好適な電子顕微鏡に関する。
従来の装置は、鏡筒内にある試料汚染防止のため、液体
窒素を４人可能なコールドトラップを排管内に設けてあ
り、前記コールドトラップは排管内、鏡筒内のガス分子
（特に水分）を吸着する。
窒素を４人可能なコールドトラップを排管内に設けてあ
り、前記コールドトラップは排管内、鏡筒内のガス分子
（特に水分）を吸着する。
しかし、コールドトラップ内の液体窒素が消耗してしま
った時には上記吸着したガス分子の一部は鏡体内に放出
してしまい、試料汚染の原因になってしまう。尚、この
種の装置として関連するものには例えば発明協会発行分
枝番号８３−４４８８等が挙げられる。
った時には上記吸着したガス分子の一部は鏡体内に放出
してしまい、試料汚染の原因になってしまう。尚、この
種の装置として関連するものには例えば発明協会発行分
枝番号８３−４４８８等が挙げられる。
上記従来技術はコールドトラップ内の液体窒素が消耗し
た時の放出ガス分子の排気については完全ではなく、放
出ガス分子の一部は試料近傍にも放出され、試料汚染の
原因になるという問題があった。本発明の目的は上記放
出ガス分子を全て、試料近傍に放出させることなく、真
空外へ排出してしまうことにある。
た時の放出ガス分子の排気については完全ではなく、放
出ガス分子の一部は試料近傍にも放出され、試料汚染の
原因になるという問題があった。本発明の目的は上記放
出ガス分子を全て、試料近傍に放出させることなく、真
空外へ排出してしまうことにある。
上記目的は、１！子顕微鏡の排気系に設けられている真
空ポンプ及びコールドトラップと鏡筒との間のバルブを
放出ガス分子の圧力にリンクさせ開閉することにより達
成される。
空ポンプ及びコールドトラップと鏡筒との間のバルブを
放出ガス分子の圧力にリンクさせ開閉することにより達
成される。
電子顕微鏡の排気系に設けられた真空ポンプと鏡体間の
仕切りバルブは、１ガス分子の圧力にリンクして開閉動
作する。つまり、仕切りバルブよ゛す、排気系側に設け
たコールドトラップに液体窒素を充填した時のガス分圧
と液体窒素が消耗した時のガス分圧には大きな差が生じ
る。このガス分圧差の大きな１分子を選び、液体窒素充
填時の分圧より少い低い所の分圧にて、リンク回路を動
作“せしめることにより、上記仕切りバルブを閉じるこ
とができる。これによって、液体窒素にて吸着されてい
たガス分子は排気系にて全て排出され、鏡体内に上記ガ
ス分子は放出されず、この影響による試料汚染を全くな
くすることができる。
仕切りバルブは、１ガス分子の圧力にリンクして開閉動
作する。つまり、仕切りバルブよ゛す、排気系側に設け
たコールドトラップに液体窒素を充填した時のガス分圧
と液体窒素が消耗した時のガス分圧には大きな差が生じ
る。このガス分圧差の大きな１分子を選び、液体窒素充
填時の分圧より少い低い所の分圧にて、リンク回路を動
作“せしめることにより、上記仕切りバルブを閉じるこ
とができる。これによって、液体窒素にて吸着されてい
たガス分子は排気系にて全て排出され、鏡体内に上記ガ
ス分子は放出されず、この影響による試料汚染を全くな
くすることができる。
以下、本発明の一実施例を図を用いて説明する。
第１図に一般的な電子顕微鏡の鏡体内の真空通路及び排
気系のシステム図を示す。
気系のシステム図を示す。
鏡筒１の中心部は電子線の通過する真空通路があり、通
路上には必要に応じて仕切りのできるガンロックバルブ
２とカメラロックバルブ３と、差動排気絞り４，５が設
けられている。電子銃部６、試料部７、カンサラ部８．
カメラ部９は真空空間が広いため、各々太い真空排管で
真空排気されている。電子銃部６は仕切りバルブ１０で
、試料部は仕切りバルブ１１で真空的に分離できるよう
に構成されており、コールドトラップ１２の周辺を通っ
て、油拡散ポンプ１３と油回転ポンプ１４にて真空排気
される。ガス分圧測定器（マスフィルター）１５はコー
ルドトラップ１２の近傍に取付けられている。又、カン
サラ部８とカメラ部９も油拡散ポンプ１６と油回転ポン
プ１７にて真空排気される。通常の電子顕微鏡使用状態
に於いては、上記ロックバルブ２，３及び全仕切りバル
ブは開いて、真空排気されている。コールドトラップ１
２は電子顕微鏡用観察試料１８を長時間ｉ察又は微小部
の分析等の時１．試料汚染を防止するため、液体窒素１
９を充填して使用される。この状態に於いて、コールド
トラップ１２はクライオポンプの働きをし、鏡体内、排
気系内のいろいろなガス分子を吸着している。このガス
分子は液体窒素の消耗と共に排気系及び鏡体内に放出さ
せ、試料１８が真空通路内に導入されている時は、この
試料１８も汚染してしまう。上記コールドトラップ１２
近傍に設けられたガス分圧測定器（マスフィルター）１
５に液体窒素１９を充填した時、検出される最大分子の
ピークより少い高い所で動作する接点を設け、この接点
信号にて、仕切りバルブ１０．１１を閉じることができ
る。上記より、液体窒素１９が消耗し、吸着したガス分
子が放出し始めた時、設定した最大分子の分圧も増し、
ガス分圧測定器（マスフィルター）１５に接点信号を出
し、仕切りバルブ１０．１１を閉じ、コールドトラップ
１２よりの放出ガス分子は鏡筒内に放出させることなく
、真空ポンプにて排出することができる。
路上には必要に応じて仕切りのできるガンロックバルブ
２とカメラロックバルブ３と、差動排気絞り４，５が設
けられている。電子銃部６、試料部７、カンサラ部８．
カメラ部９は真空空間が広いため、各々太い真空排管で
真空排気されている。電子銃部６は仕切りバルブ１０で
、試料部は仕切りバルブ１１で真空的に分離できるよう
に構成されており、コールドトラップ１２の周辺を通っ
て、油拡散ポンプ１３と油回転ポンプ１４にて真空排気
される。ガス分圧測定器（マスフィルター）１５はコー
ルドトラップ１２の近傍に取付けられている。又、カン
サラ部８とカメラ部９も油拡散ポンプ１６と油回転ポン
プ１７にて真空排気される。通常の電子顕微鏡使用状態
に於いては、上記ロックバルブ２，３及び全仕切りバル
ブは開いて、真空排気されている。コールドトラップ１
２は電子顕微鏡用観察試料１８を長時間ｉ察又は微小部
の分析等の時１．試料汚染を防止するため、液体窒素１
９を充填して使用される。この状態に於いて、コールド
トラップ１２はクライオポンプの働きをし、鏡体内、排
気系内のいろいろなガス分子を吸着している。このガス
分子は液体窒素の消耗と共に排気系及び鏡体内に放出さ
せ、試料１８が真空通路内に導入されている時は、この
試料１８も汚染してしまう。上記コールドトラップ１２
近傍に設けられたガス分圧測定器（マスフィルター）１
５に液体窒素１９を充填した時、検出される最大分子の
ピークより少い高い所で動作する接点を設け、この接点
信号にて、仕切りバルブ１０．１１を閉じることができ
る。上記より、液体窒素１９が消耗し、吸着したガス分
子が放出し始めた時、設定した最大分子の分圧も増し、
ガス分圧測定器（マスフィルター）１５に接点信号を出
し、仕切りバルブ１０．１１を閉じ、コールドトラップ
１２よりの放出ガス分子は鏡筒内に放出させることなく
、真空ポンプにて排出することができる。
本発明によれば、試料汚染防止用のコールドトラップの
使用液体窒素が消耗する時の放出ガス分子を鏡筒内の試
料近傍に放出することなく、真空ポンプにて外部に排出
することができるので、試料汚染を防ぐことができ、そ
の効果は大である。
使用液体窒素が消耗する時の放出ガス分子を鏡筒内の試
料近傍に放出することなく、真空ポンプにて外部に排出
することができるので、試料汚染を防ぐことができ、そ
の効果は大である。
第１図は電子顕微鏡の鏡体内の真空通路及び排気系のシ
ステム図である。 １０．１１・・・仕切りバルブ、１２・・・コールドト
ラップ、１５・・・ガス分圧測定器、１８・・・試料、
１９・・・液体窒素。
ステム図である。 １０．１１・・・仕切りバルブ、１２・・・コールドト
ラップ、１５・・・ガス分圧測定器、１８・・・試料、
１９・・・液体窒素。
Claims (1)
- １、鏡体と鏡体内部の電子ビーム通路を真空にするため
の排気系と浮遊ガス分子吸着用のコールドトッラプと、
上記コールドトラップと鏡体間に開閉可能な仕切りバル
ブより成る電子顕微鏡において、上記コールドトラップ
近傍にガス分子測定器を設け、コールドトラップ内の液
体窒素の有無によるガス分圧差で、上記仕切りバルブを
自動的に開閉できることを特徴とする電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62277420A JPH01120748A (ja) | 1987-11-04 | 1987-11-04 | 電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62277420A JPH01120748A (ja) | 1987-11-04 | 1987-11-04 | 電子顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01120748A true JPH01120748A (ja) | 1989-05-12 |
Family
ID=17583303
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62277420A Pending JPH01120748A (ja) | 1987-11-04 | 1987-11-04 | 電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01120748A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009245907A (ja) * | 2008-04-01 | 2009-10-22 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子線装置 |
| JP2010092633A (ja) * | 2008-10-06 | 2010-04-22 | Hitachi High-Technologies Corp | 真空室内のガス成分測定方法、及び真空装置 |
-
1987
- 1987-11-04 JP JP62277420A patent/JPH01120748A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009245907A (ja) * | 2008-04-01 | 2009-10-22 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子線装置 |
| JP2010092633A (ja) * | 2008-10-06 | 2010-04-22 | Hitachi High-Technologies Corp | 真空室内のガス成分測定方法、及び真空装置 |
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