JPS5811074B2 - 真空装置における排気系 - Google Patents
真空装置における排気系Info
- Publication number
- JPS5811074B2 JPS5811074B2 JP52088977A JP8897777A JPS5811074B2 JP S5811074 B2 JPS5811074 B2 JP S5811074B2 JP 52088977 A JP52088977 A JP 52088977A JP 8897777 A JP8897777 A JP 8897777A JP S5811074 B2 JPS5811074 B2 JP S5811074B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample chamber
- oil
- pump
- exhaust
- diffusion pump
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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Description
【発明の詳細な説明】
本発明は真空装置１例えば走査電子顕微鏡における排気
系の改良に関する。
系の改良に関する。
走査電子顕微鏡においては試料室全体を大気に開放した
状態で試料の交換を行うことがある。
状態で試料の交換を行うことがある。
しかして該試料交換後試料室を再び高真空にするには、
先ず試料室に油回転ポンプを接続することにより０．２
Ｔｏｒｒの圧力まで排気し、しかる後油拡散ポンプと切
換えることにより所望の圧力まで排気せしめる。
先ず試料室に油回転ポンプを接続することにより０．２
Ｔｏｒｒの圧力まで排気し、しかる後油拡散ポンプと切
換えることにより所望の圧力まで排気せしめる。
しかし乍ら斯様に試料室の圧力を０．２Ｔｏｒｒまで排
気した状態で試料室と油拡散ポンプとの間の主弁を瞬時
に開放すると、油拡散ポンプの背圧が許容値の０．３Ｔ
ｏｒｒ以上になる現象が過渡的に発生する。
気した状態で試料室と油拡散ポンプとの間の主弁を瞬時
に開放すると、油拡散ポンプの背圧が許容値の０．３Ｔ
ｏｒｒ以上になる現象が過渡的に発生する。
これにより油拡散ポンプ用油の試料室への逆流が生じて
試料汚染の原因となり、又同時に油拡散ポンプのポンプ
作用が一時停止する。
試料汚染の原因となり、又同時に油拡散ポンプのポンプ
作用が一時停止する。
一方斯様な欠点を防止するためには試料室の圧力を油回
転ポンプにより１Ｏ−３Ｔｏｒｒ程度まで排気した状態
で油拡散ポンプへ切換えればよいわけであるが、このと
き油回転ポンプにより試料室の圧力を０．２Ｔｏｒｒ以
下に排気すると今度はこの油回転ポンプ用油の蒸気圧の
高いハイドロカーボンが試料室に逆流するという問題が
生ずる。
転ポンプにより１Ｏ−３Ｔｏｒｒ程度まで排気した状態
で油拡散ポンプへ切換えればよいわけであるが、このと
き油回転ポンプにより試料室の圧力を０．２Ｔｏｒｒ以
下に排気すると今度はこの油回転ポンプ用油の蒸気圧の
高いハイドロカーボンが試料室に逆流するという問題が
生ずる。
本発明は斯様な点に鑑みて、油回転ポンプ用油の試料室
への逆流を抑え、しかも油拡散ポンプの背圧の上昇を阻
止することのできる新規な排気系を提供するもので、以
下図面に基づき詳説する。
への逆流を抑え、しかも油拡散ポンプの背圧の上昇を阻
止することのできる新規な排気系を提供するもので、以
下図面に基づき詳説する。
図面は本発明の一実施例を示す構成略図であり、１は走
査電子顕微鏡等の試料室を示し、該試料室には主排気管
２，３を介して油回転ポンプ４及び油拡散ポンプ５が夫
々接続されている。
査電子顕微鏡等の試料室を示し、該試料室には主排気管
２，３を介して油回転ポンプ４及び油拡散ポンプ５が夫
々接続されている。
前記主排気管２及び３には試料室と夫々のポンプとの間
を遮断するための粗引弁６及び主弁７が設けてあり、又
これらの弁としては例えばバタフライバルブが使用され
、排気コンダクタンスを大きくしている。
を遮断するための粗引弁６及び主弁７が設けてあり、又
これらの弁としては例えばバタフライバルブが使用され
、排気コンダクタンスを大きくしている。
前記油拡散ポンプ５の背圧側は弁８を有した排気管９を
介して油回転ポンプ１０により常に排気されている。
介して油回転ポンプ１０により常に排気されている。
これまでの構成は従来通りの排気系であり、本発明は更
に前記試料室１と油拡散ポンプ５との間に主排気管３と
並列におかれた補助排気管１１を接続したことに特徴が
ある。
に前記試料室１と油拡散ポンプ５との間に主排気管３と
並列におかれた補助排気管１１を接続したことに特徴が
ある。
該補助排気管１１にはオリフィス型電磁弁１２を設け、
補助排気管１１による排気コンダクタンスが主排気管３
による排気コンダクタンスよりも非常に小さくなるよう
に構成しである。
補助排気管１１による排気コンダクタンスが主排気管３
による排気コンダクタンスよりも非常に小さくなるよう
に構成しである。
しかして今、大気に開放された試料室１を高真空に保つ
には、先ず粗引弁６を開放して油回転ポンプ４により試
料室の圧力を０．２Ｔｏｒｒまで排気する。
には、先ず粗引弁６を開放して油回転ポンプ４により試
料室の圧力を０．２Ｔｏｒｒまで排気する。
しかる後、粗引弁６を閉鎖し、オリフィス型電磁弁１２
を開放することにより排気コンダクタンスの小さい補助
排気管１１を介して試料室１を油拡散ポンプ５により排
気する。
を開放することにより排気コンダクタンスの小さい補助
排気管１１を介して試料室１を油拡散ポンプ５により排
気する。
この排気により試料室の圧力が１Ｏ−３Ｔｏｒｒ程度に
達すると主弁７を開放し、排気コンダクタンスの大きい
主排気管３によって試料室を油拡散ポンプ５により所望
の圧力まで排気する。
達すると主弁７を開放し、排気コンダクタンスの大きい
主排気管３によって試料室を油拡散ポンプ５により所望
の圧力まで排気する。
以上のように本発明は油回転ポンプによる試料室の粗引
は０．２Ｔｏｒｒであるため、油回転ポンプ用油の蒸気
圧の高いハイドロカーボンが試料室に逆流することはな
い。
は０．２Ｔｏｒｒであるため、油回転ポンプ用油の蒸気
圧の高いハイドロカーボンが試料室に逆流することはな
い。
又試料室の油拡散ポンプによる排気にあたっては排気コ
ンダクタンスの小さい補助排気管を使用して行うために
、油回転ポンプから油拡散ポンプへの切換時に過渡的に
生ずる油拡散ポンプの背圧上昇を阻止することができ、
従って油拡散ポンプ用油の試料室への逆流を防止するこ
とができる等、実用性大なる効果を有する。
ンダクタンスの小さい補助排気管を使用して行うために
、油回転ポンプから油拡散ポンプへの切換時に過渡的に
生ずる油拡散ポンプの背圧上昇を阻止することができ、
従って油拡散ポンプ用油の試料室への逆流を防止するこ
とができる等、実用性大なる効果を有する。
尚前述の説明は本発明の例示であり実施にあたっては幾
多の変形が考えられる。
多の変形が考えられる。
例えば補助排気管に設ける弁としてオリフィス型電磁弁
を使用することにより補助排気管の排気コンダクタンス
を小ならしめた場合を示したが、これに限定されること
なく、補助排気管自体の径を細くすることにより排気コ
ンダクタンスを小さくしてもよい。
を使用することにより補助排気管の排気コンダクタンス
を小ならしめた場合を示したが、これに限定されること
なく、補助排気管自体の径を細くすることにより排気コ
ンダクタンスを小さくしてもよい。
又試料室１を油拡散ポンプ５により排気する際に使用す
る補助排気管１１から主排気管３への切換、即ち弁１２
と主弁７の開閉動作は手動により行う場合を示したが、
これに限定されることなく、試料室の圧力を検出し、圧
力が所定圧力（例えば１Ｏ−３Ｔｏｒｒ）に達すると自
動的に主弁７が開放するように構成してもよい。
る補助排気管１１から主排気管３への切換、即ち弁１２
と主弁７の開閉動作は手動により行う場合を示したが、
これに限定されることなく、試料室の圧力を検出し、圧
力が所定圧力（例えば１Ｏ−３Ｔｏｒｒ）に達すると自
動的に主弁７が開放するように構成してもよい。
更に油回転ポンプから油拡散ポンプへの切換えも試料室
の圧力に応じて自動的に行うように構成してもよい。
の圧力に応じて自動的に行うように構成してもよい。
更に又、本発明は透過電子顕微鏡の電子銃室や試料室或
いはカメラ室等を排気する場合にも同様に実施すること
ができる。
いはカメラ室等を排気する場合にも同様に実施すること
ができる。
更に又、本発明は試料室を超高真空ポンプ（例えばスパ
ッターイオンポンプやサブリメーションポンプ若しくは
両者を結合したポンプ）で排気する場合にも実施するこ
とができる。
ッターイオンポンプやサブリメーションポンプ若しくは
両者を結合したポンプ）で排気する場合にも実施するこ
とができる。
図面は本発明の一実施例を示す構成略図である。
図において１は試料室、２及び３は主排気管、４及び１
０は油回転ポンプ、５は油拡散ポンプ、６は粗引弁、７
は主弁、８は弁、１１は補助排気管、１２はオリフィス
型電磁弁である。
０は油回転ポンプ、５は油拡散ポンプ、６は粗引弁、７
は主弁、８は弁、１１は補助排気管、１２はオリフィス
型電磁弁である。
Claims (1)
- １ 真空室を油回転ポンプにより予備排気した後、該真
空室を油拡散ポンプで排気する装置において、前記真空
室と油拡散ポンプとの間を排気コンダクタンスの大きな
主排気通路とこの主排気通路の排気コンダクタンスより
も小さい排気コンダクタンスの補助排気通路からなる二
つの通路によって接続せしめてなる真空装置における排
気系。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP52088977A JPS5811074B2 (ja) | 1977-07-25 | 1977-07-25 | 真空装置における排気系 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP52088977A JPS5811074B2 (ja) | 1977-07-25 | 1977-07-25 | 真空装置における排気系 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5423464A JPS5423464A (en) | 1979-02-22 |
| JPS5811074B2 true JPS5811074B2 (ja) | 1983-03-01 |
Family
ID=13957847
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP52088977A Expired JPS5811074B2 (ja) | 1977-07-25 | 1977-07-25 | 真空装置における排気系 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5811074B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5923443A (ja) * | 1982-07-28 | 1984-02-06 | Jeol Ltd | 電子顕微鏡等の真空排気装置 |
| JPS59164471A (ja) * | 1983-03-07 | 1984-09-17 | Anelva Corp | コンダクタンスバルブ圧力制御装置 |
| JP6207344B2 (ja) * | 2013-10-30 | 2017-10-04 | 日本電子株式会社 | 荷電粒子線装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5018442U (ja) * | 1973-06-16 | 1975-02-28 | ||
| JPS5152276A (ja) * | 1974-11-01 | 1976-05-08 | Hitachi Ltd | Sosadenshikenbikyomataha ruijisochino haikikei |
-
1977
- 1977-07-25 JP JP52088977A patent/JPS5811074B2/ja not_active Expired
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5018442U (ja) * | 1973-06-16 | 1975-02-28 | ||
| JPS5152276A (ja) * | 1974-11-01 | 1976-05-08 | Hitachi Ltd | Sosadenshikenbikyomataha ruijisochino haikikei |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5423464A (en) | 1979-02-22 |
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