JP2647922B2 - 電子顕微鏡の排気系 - Google Patents
電子顕微鏡の排気系Info
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- JP2647922B2 JP2647922B2 JP63238366A JP23836688A JP2647922B2 JP 2647922 B2 JP2647922 B2 JP 2647922B2 JP 63238366 A JP63238366 A JP 63238366A JP 23836688 A JP23836688 A JP 23836688A JP 2647922 B2 JP2647922 B2 JP 2647922B2
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は電子顕微鏡の排気系において、特に試料交換
時の試料室の真空状態の悪化を防止した装置に関する。
時の試料室の真空状態の悪化を防止した装置に関する。
［従来の技術］ 近時、電子顕微鏡では試料観察時のコンタミを少なく
するため、試料室をできるだけ高真空に排気して試料観
察を行うようにしている。第２図は、このような装置の
従来例を示すもので、１は電子銃室、２は対物レンズポ
ールピース付近に形成された試料室で、３はカメラ室で
ある。４は試料室２に試料交換用バルブ５を介して連通
した試料交換室である。この試料交換室４には図示はし
ないがこの交換室に置かれた試料を試料室２に移動させ
るための試料交換機構が組み込まれている。６は油拡散
ポンプやターボ分子ポンプなどの高真空用ポンプで、該
真空用ポンプ６は主排気管7,主弁８を介して前記試料室
２に接続されており、該試料室２は主弁８を開状態にす
ることにより高真空用ポンプ６によって高真空（本引
き）状態に排気される。9Aは前記高真空用ポンプ６の背
圧側を排気する油回転ポンプ等の低真空用ポンプで、9B
は試料交換室４を排気するための油回転ポンプ等の低真
空用ポンプである。該低真空用ポンプ9Bは排気管10,粗
引用バルブ11,排気管12を介して試料交換室４に接続さ
れ、該試料交換室４は粗引用バルブ11を開状態にするこ
とにより比較的低真空（粗引き）状態に排気される。13
は前記試料交換室４を大気圧にするためのリーク弁であ
る。
するため、試料室をできるだけ高真空に排気して試料観
察を行うようにしている。第２図は、このような装置の
従来例を示すもので、１は電子銃室、２は対物レンズポ
ールピース付近に形成された試料室で、３はカメラ室で
ある。４は試料室２に試料交換用バルブ５を介して連通
した試料交換室である。この試料交換室４には図示はし
ないがこの交換室に置かれた試料を試料室２に移動させ
るための試料交換機構が組み込まれている。６は油拡散
ポンプやターボ分子ポンプなどの高真空用ポンプで、該
真空用ポンプ６は主排気管7,主弁８を介して前記試料室
２に接続されており、該試料室２は主弁８を開状態にす
ることにより高真空用ポンプ６によって高真空（本引
き）状態に排気される。9Aは前記高真空用ポンプ６の背
圧側を排気する油回転ポンプ等の低真空用ポンプで、9B
は試料交換室４を排気するための油回転ポンプ等の低真
空用ポンプである。該低真空用ポンプ9Bは排気管10,粗
引用バルブ11,排気管12を介して試料交換室４に接続さ
れ、該試料交換室４は粗引用バルブ11を開状態にするこ
とにより比較的低真空（粗引き）状態に排気される。13
は前記試料交換室４を大気圧にするためのリーク弁であ
る。
この様に構成された装置では、試料交換室４内の試料
は試料室２が本引き状態まで排気され、試料交換室４が
粗引状態まで排気されると試料交換用バルブ５を開状態
にした状態で試料室２内に挿入される。
は試料室２が本引き状態まで排気され、試料交換室４が
粗引状態まで排気されると試料交換用バルブ５を開状態
にした状態で試料室２内に挿入される。
［発明が解決しようとする課題］ この様な従来装置においては、試料交換時に比較的真
空状態の悪い試料交換室４と高真空に排気されたクリー
ンな試料室２とが連通するため、該試料室２の真空状態
を悪化させ、コンタミを増加させてしまう欠点があっ
た。
空状態の悪い試料交換室４と高真空に排気されたクリー
ンな試料室２とが連通するため、該試料室２の真空状態
を悪化させ、コンタミを増加させてしまう欠点があっ
た。
本発明は以上の点に鑑みてなされたもので、電子顕微
鏡の排気系において、試料室と試料交換室を連通させて
試料交換を行う場合でも、試料室の真空状態を悪化させ
ずに試料交換を行い得る装置を提供することを目的とし
ている。
鏡の排気系において、試料室と試料交換室を連通させて
試料交換を行う場合でも、試料室の真空状態を悪化させ
ずに試料交換を行い得る装置を提供することを目的とし
ている。
［課題を解決するための手段］ そのため本発明は、試料が挿入され高真空用ポンプで
排気される試料室と、該試料室に試料交換用バルブを介
して連通された試料交換室と、該試料交換室を粗引用バ
ルブを介して排気するための低真空用ポンプとを備えた
装置において、前記試料交換室と前記粗引用バルブとを
接続する排気管に設けられた第１の真空バルブと、前記
粗引用バルブと該第１の真空バルブとの間において、前
記排気管に第２の真空バルブを介して接続された高真空
用ポンプとを備えたことを特徴としている。
排気される試料室と、該試料室に試料交換用バルブを介
して連通された試料交換室と、該試料交換室を粗引用バ
ルブを介して排気するための低真空用ポンプとを備えた
装置において、前記試料交換室と前記粗引用バルブとを
接続する排気管に設けられた第１の真空バルブと、前記
粗引用バルブと該第１の真空バルブとの間において、前
記排気管に第２の真空バルブを介して接続された高真空
用ポンプとを備えたことを特徴としている。
［実施例］ 以下本発明の実施例を図面を用いて詳述する。
第１図は本発明の一実施例の構成図であり、第１図に
おいては、第２図に示す従来装置と同一構成要素には同
一番号を付してその説明を省略する。
おいては、第２図に示す従来装置と同一構成要素には同
一番号を付してその説明を省略する。
第１図において、14は試料交換室４と粗引用バルブ11
を接続するための排気管12に設けられた第１の真空バル
ブで、該第１の真空バルブは試料交換室４の近傍に配置
されている。又、排気管12は排気管15,第２の真空バル
ブ16を介して前記高真空ポンプ６に接続されている。17
は前述した試料交換用バルブ5,粗引用バルブ11,第１の
真空バルブ14,第２の真空バルブ16の各バルブの開閉動
作を制御するバルブ制御回路である。
を接続するための排気管12に設けられた第１の真空バル
ブで、該第１の真空バルブは試料交換室４の近傍に配置
されている。又、排気管12は排気管15,第２の真空バル
ブ16を介して前記高真空ポンプ６に接続されている。17
は前述した試料交換用バルブ5,粗引用バルブ11,第１の
真空バルブ14,第２の真空バルブ16の各バルブの開閉動
作を制御するバルブ制御回路である。
この様に構成された装置においては、先ず、試料交換
機構によって試料を試料交換室４内に挿入すると共に、
試料室２を高真空用ポンプ６によって本引状態に排気す
る。試料が試料交換機構によって試料交換室４内に挿入
されると、バルブ制御回路17は、粗引用バルブ11及び第
１の真空バルブ14を開状態にする。これによって、試料
交換室４は低真空用ポンプ9Bで粗引状態まで排気され
る。ここでバルブ制御回路17は、粗引用バルブ11を閉状
態にして第２の真空バルブ16を開状態にする。この制御
により、排気管12と試料交換室４が高真空用ポンプ６に
よって試料室２と略々同じ程度の真空度にまで排気され
る。該試料交換室４が試料室２と略々同程度の真空度に
まで排気されたら、バルブ制御回路17は、第１の真空バ
ルブ14を閉状態にした後、試料交換用バルブ５を開状態
にして、試料交換室４内の試料を試料室２内に挿入でき
るようにする。
機構によって試料を試料交換室４内に挿入すると共に、
試料室２を高真空用ポンプ６によって本引状態に排気す
る。試料が試料交換機構によって試料交換室４内に挿入
されると、バルブ制御回路17は、粗引用バルブ11及び第
１の真空バルブ14を開状態にする。これによって、試料
交換室４は低真空用ポンプ9Bで粗引状態まで排気され
る。ここでバルブ制御回路17は、粗引用バルブ11を閉状
態にして第２の真空バルブ16を開状態にする。この制御
により、排気管12と試料交換室４が高真空用ポンプ６に
よって試料室２と略々同じ程度の真空度にまで排気され
る。該試料交換室４が試料室２と略々同程度の真空度に
まで排気されたら、バルブ制御回路17は、第１の真空バ
ルブ14を閉状態にした後、試料交換用バルブ５を開状態
にして、試料交換室４内の試料を試料室２内に挿入でき
るようにする。
従って、このように構成された装置では、排気管12に
排気管15を接続したため、排気管15の分だけ試料交換室
４の容積が見掛上増加することとなる。しかしながら、
試料交換時にはバルブ制御回路17によって第１の真空バ
ルブ14が閉状態にされているため、試料交換用バルブ５
開放時に試料交換室４を介して試料室２に連通される領
域の容積が従来装置より少なくなる。そのため、従来装
置に比較して略々排気管12の容積分だけ真空度悪化が改
善される。又、前述したように試料交換室４と排気管1
2,排気管15は高真空用ポンプ６で高真空に排気され、試
料交換室４は試料室２と略々同程度の真空度にまで排気
されている。そのため、試料交換用バルブ５を開状態に
して試料交換室４と試料室２とを連通させて試料交換を
行っても試料室２の真空状態を悪化させずに試料交換を
行うことができる。又、試料交換後、試料室２を試料交
換前の真空度にまで復帰させる場合でも従来装置に比較
して時間が大巾に短縮される。
排気管15を接続したため、排気管15の分だけ試料交換室
４の容積が見掛上増加することとなる。しかしながら、
試料交換時にはバルブ制御回路17によって第１の真空バ
ルブ14が閉状態にされているため、試料交換用バルブ５
開放時に試料交換室４を介して試料室２に連通される領
域の容積が従来装置より少なくなる。そのため、従来装
置に比較して略々排気管12の容積分だけ真空度悪化が改
善される。又、前述したように試料交換室４と排気管1
2,排気管15は高真空用ポンプ６で高真空に排気され、試
料交換室４は試料室２と略々同程度の真空度にまで排気
されている。そのため、試料交換用バルブ５を開状態に
して試料交換室４と試料室２とを連通させて試料交換を
行っても試料室２の真空状態を悪化させずに試料交換を
行うことができる。又、試料交換後、試料室２を試料交
換前の真空度にまで復帰させる場合でも従来装置に比較
して時間が大巾に短縮される。
尚、上記実施例では第１の真空バルブ14によって試料
交換室４を排気管12側を遮断するようにしたが、完全に
遮断する必要はない。従って、第１の真空バルブ14とし
て開閉を完全に行い得るバルブだけでなく、可変オリフ
ィスを用いてコンダクタンスを減少させ得るようにして
も同様の効果を得ることができる。又、本実施例におい
ては、高真空用ポンプ６の背圧側を排気するための低真
空用ポンプ9Aの他に試料交換室４を粗引するための低真
空用ポンプ9Bを別に設けるようにしたが、高真空用ポン
プ６に接続された低真空用ポンプ9Aによって試料交換室
４を粗引きするようにしても良い。
交換室４を排気管12側を遮断するようにしたが、完全に
遮断する必要はない。従って、第１の真空バルブ14とし
て開閉を完全に行い得るバルブだけでなく、可変オリフ
ィスを用いてコンダクタンスを減少させ得るようにして
も同様の効果を得ることができる。又、本実施例におい
ては、高真空用ポンプ６の背圧側を排気するための低真
空用ポンプ9Aの他に試料交換室４を粗引するための低真
空用ポンプ9Bを別に設けるようにしたが、高真空用ポン
プ６に接続された低真空用ポンプ9Aによって試料交換室
４を粗引きするようにしても良い。
［発明の効果］ 以上詳述したように本発明によれば、試料室と試料交
換室を連通させて試料交換を行うようにした電子顕微鏡
の排気系において、試料室の真空状態を悪化させずに試
料交換を行い得る。
換室を連通させて試料交換を行うようにした電子顕微鏡
の排気系において、試料室の真空状態を悪化させずに試
料交換を行い得る。
第１図は本発明の一実施例を説明するための構成図、第
２図は従来装置を説明する為の図である。 1:電子銃室、2:試料室、3:カメラ室、4:試料交換室、5:
試料交換用バルブ、6:高真空用ポンプ、7:主排気管、8:
主弁、9A,9B:低真空用ポンプ、10:排気管、11:粗引用バ
ルブ、12:排気管、13:リーク弁、14:第１の真空バル
ブ、15:排気管、16:第２の真空バルブ、17:バルブ制御
回路。
２図は従来装置を説明する為の図である。 1:電子銃室、2:試料室、3:カメラ室、4:試料交換室、5:
試料交換用バルブ、6:高真空用ポンプ、7:主排気管、8:
主弁、9A,9B:低真空用ポンプ、10:排気管、11:粗引用バ
ルブ、12:排気管、13:リーク弁、14:第１の真空バル
ブ、15:排気管、16:第２の真空バルブ、17:バルブ制御
回路。
Claims (1)
- 【請求項１】試料が挿入され高真空用ポンプで排気され
る試料室と、該試料室に試料交換用バルブを介して連通
された試料交換室と、該試料交換室を粗引用バルブを介
して排気するための低真空用ポンプとを備えた装置にお
いて、前記試料交換室と前記粗引用バルブとを接続する
排気管に設けられた第１の真空バルブと、前記粗引用バ
ルブと該第１の真空バルブとの間において、前記排気管
に第２の真空バルブを介して接続された高真空用ポンプ
とを備えたことを特徴とする電子顕微鏡の排気系。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63238366A JP2647922B2 (ja) | 1988-09-22 | 1988-09-22 | 電子顕微鏡の排気系 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63238366A JP2647922B2 (ja) | 1988-09-22 | 1988-09-22 | 電子顕微鏡の排気系 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0287451A JPH0287451A (ja) | 1990-03-28 |
| JP2647922B2 true JP2647922B2 (ja) | 1997-08-27 |
Family
ID=17029123
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63238366A Expired - Fee Related JP2647922B2 (ja) | 1988-09-22 | 1988-09-22 | 電子顕微鏡の排気系 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2647922B2 (ja) |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5812700B2 (ja) * | 1977-10-31 | 1983-03-09 | 日本電子株式会社 | 電子線装置 |
| JPS5518084A (en) * | 1978-07-27 | 1980-02-07 | Jeol Ltd | Exhaust system for corpuscular ray apparatus |
-
1988
- 1988-09-22 JP JP63238366A patent/JP2647922B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0287451A (ja) | 1990-03-28 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |