JPH0287451A - 電子顕微鏡の排気系 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は電子顕微鏡の排気系において、特に試料交換時
の試料室の真空状態の悪化を防止した装置に関する。

［従来の技術］ 近時、電子顕微鏡では試料観察時のコンタミを少なくす
るため、試料室をできるだけ高真空に排気して試′料観
察を行うようにしている。第２図は、このような装置の
従来例を示すもので、１は電子銃室、２は対物レンズポ
ールピース付近に形成された試料室で、３はカメラ室で
ある。４は試料室２に試料交換用バルブ５を介して連通
した試料交換室である。この試料交換室４には図示はし
ないがこの交換室に置かれた試料を試料室２に移動させ
るための試料交換機構が組み込まれている。６は油拡散
ポンプやターボ分子ポンプなどの高真空用ポンプで、該
高真空用ポンプ６は主排気管７゜主弁８を介して前記試
料室２に接続されており、該試料室２は主弁８を開状態
にすることにより高真空用ポンプ６によって高真空（本
引き）状態に排気される。９Ａは前記高真空用ポンプ６
の背圧側を排気する油回転ポンプ等の低真空用ポンプで
、９Ｂは試料交換室４を排気するための油回転ポンプ等
の低真空用ポンプである。該低真空用ポンプ９Ｂは排気
管１０．粗引用バルブ１１．排気管１２を介して試料交
換室４に接続され、該試料交換室４は粗引用バルブ１１
を開状態にすることにより比較的低真空（粗引き）状態
に排気される。１３は前記試料交燐室４を大気圧にする
ためのり−り弁である。

この様に構成された装置では、試料交換室４内の試料は
試料室２が本引き状態まで排気され、試料交換室４が粗
引状態まで排気されると試料交換用バルブ５を開状態に
した状態で試料室２内に挿入される。

［発明が解決しようとする課８］ この様な従来装置においては、試料交換時に比較的真空
状態の悪い試料交換室４と高真空に排気されたクリーン
な試料室２とが連通ずるため、該試料室２の真空状態を
悪化させ、コンタミを増加させてしまう欠点があった。

本発明は以上の点に鑑みなされたもので、電子顕微鏡の
排気系において、試料室と試料交換室を連通させて試料
交換を行う場合でも、試料室の真空状態を悪化させずに
試料交換を行い得る装置を提供することを目的としてい
る。

［課題を解決するための手段］ そのため本発明は、試料が挿入され高真空用ポンプで排
気される試料室と、該試料室に試料交換用バルブを介し
て連通された試料交換室と、該試料交換室を粗引用バル
ブを介して排気するための低真空用ポンプとを備えた装
置において、前記試料交換室と前記粗引用バルブとを接
続する排気管に設けられた第１の真空バルブと、前記粗
引用バルブと該第１の真空バルブとの間において、前記
排気管に第２の真空バルブを介して接続された高真空用
ポンプとを備えたことを特徴としている。

［実施例］ 以下本発明の実施例を図面を用いて詳述する。

第１図は本発明の一実施例の構成図であり、第１図にお
いては、第２図に示す従来装置と同一構成要素には同一
番号を付してその説明を省略する。

第１図において、１４は試料交換室４と粗引用バルブ１
１を接続するための排気管１２に設けられた第１の真空
バルブで、該第１の真空バルブは試料交換室４の近傍に
配置されている。又、排気管１２は排気管１５．第２の
真空バルブ１６を介して前記高真空ポンプ６に接続され
ている。１７は前述した試料交換用バルブ５．粗引用バ
ルブ１１、第１の真空バルブ１４．第２の真空バルブ１
６の各バルブの開閉動作を制御するバルブ制御回路であ
る。

この様に構成された装置においては、先ず、試料交換機
構によって試料を試料交換室４内に挿入すると共に、試
料室２を高真空用ポンプ６によって水引状態に排気する
。試料が試料交換機構によって試料交換室４内に挿入さ
れると、バルブ制御回路１７は、粗引用バルブ１１及び
第１の真空バルブ１４を開状態にする。これによって、
試料交換室４は低真空用ポンプ９Ｂで粗引状態まで排気
される。ここでバルブ制御回路１７は、粗引用バルブ１
１を閉状態にして第２の真空バルブ１６を開状態にする
。この制御により、排気管１２と試料交換室４が高真空
用ポンプ６によって試料室２と略々同じ程度の真空度に
まで排気される。該試料交換室４が試料室２と略々同程
度の真空度にまで排気されたら、バルブ制御回路１７は
、第１の真空バルブ１４を閉状態にした後、試料交換用
バルブ５を開状態にして、試料交換室４内の試料を試料
室２内に挿入できるようにする。

従って、このように構成された装置では、排気管１２に
排気管１５を接続したため、排気管１５の分だけ試料交
換室４の容積が見掛上増加することとなる。しかしなが
ら、試料交換時にはバルブ制御回路１７によって第１の
真空バルブ１４が閉状態にされているため、試料交換用
バルブ５開放時に試料交換室４を介して試料室２に連通
される領域の容積が従来装置より少なくなる。そのため
、従来装置に比較して略々排気管１２の容積骨だけ真空
度悪化が改善される。又、前述したように試料交換室４
と排気管１２．排気管１５は高真空用ポンプ６で高真空
に排気され、試料交換室４は試料室２と略々同程度の真
空度にまで排気されている。そのため、試料交換用バル
ブ５を開状態にして試料交換室４と試料室２とを連通さ
せて試料交換を行っても試料室２の真空状態を悪化させ
ずに試料交換を行うことができる。又、試料交換後、試
料室２を試料交換前の真空度にまで復帰させる場合でも
従来装置に比較して時間が大巾に短縮される。

尚、上記実施例では第１の真空バルブ１４によって試料
交換室４を排気管１２側を遮断するようにしたが、完全
に遮断する必要はない。従って、第１の真空バルブ１４
として開閉を完全に行い得るバルブだけでなく、可変オ
リフィスを用いてコンダクタンスを減少させ得るように
しても同様の効果を得ることができる。又、本実施例に
おいては、高真空用ポンプ６の背圧側を排気するための
低真空用ポンプ９Ａの他に試料交換室４を粗引するため
の低真空用ポンプ９Ｂを別に設けるようにしたが、高真
空用ポンプ６に接続された低真空用ポンプ９Ａによって
試料交換室４を粗引きするようにしても良い。

［発明の効果］ 以上詳述したように本発明によれば、試料室と試料交換
室を連通させて試料交換を行うようにした電子顕微鏡の
排気系において、試料室の真空状態を悪化させずに試料
交換を行い得る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を説明するための構成図、第
２図は従来装置を説明する為の図である。 に電子銃室、２：試料室、３：カメラ室、４：試料交換
室、５：試料交換用バルブ、６：高真空用ポンプ、７：
主排気管、８：主弁、９Ａ、９Ｂ：低真空用ポンプ、１
０：排気管、１１：粗引用バルブ、１２：排気管、１３
：リーク弁、１４：第１の真空バルブ、１５：排気管、
１６：第２の真空バルブ、１７：バルブ制御回路。 出願人　　　　日本電子株式会社 第１図 夕θ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 試料が挿入され高真空用ポンプで排気される試料室と、
   該試料室に試料交換用バルブを介して連通された試料交
   換室と、該試料交換室を粗引用バルブを介して排気する
   ための低真空用ポンプとを備えた装置において、前記試
   料交換室と前記粗引用バルブとを接続する排気管に設け
   られた第１の真空バルブと、前記粗引用バルブと該第１
   の真空バルブとの間において、前記排気管に第２の真空
   バルブを介して接続された高真空用ポンプとを備えたこ
   とを特徴とする電子顕微鏡の排気系。