JPH11185695A - 誘導結合プラズマ質量分析装置 - Google Patents
誘導結合プラズマ質量分析装置Info
- Publication number
- JPH11185695A JPH11185695A JP9356853A JP35685397A JPH11185695A JP H11185695 A JPH11185695 A JP H11185695A JP 9356853 A JP9356853 A JP 9356853A JP 35685397 A JP35685397 A JP 35685397A JP H11185695 A JPH11185695 A JP H11185695A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chamber
- pump
- plasma mass
- mass spectrometer
- pressure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 コストを上げることなく、Ｈｅガス等の導入
を可能とすると共に、ホットプラズマ、クールプラズマ
の両者に対応可能とする。 【解決手段】 アナライザチャンバ４０を排気する第２
のターボポンプ６２のバッキングラインを、イオンレン
ズチャンバ３０を排気する第１のターボポンプ６０によ
って圧力が下げられたイオンレンズチャンバ３０に接続
する。ロータリポンプ５０として排気速度の大きな物を
用いると共に、該ロータリポンプ５０とインターフェー
スチャンバ２０を接続する配管５２の途中に、圧力調節
用の可変弁７４を設ける。
を可能とすると共に、ホットプラズマ、クールプラズマ
の両者に対応可能とする。 【解決手段】 アナライザチャンバ４０を排気する第２
のターボポンプ６２のバッキングラインを、イオンレン
ズチャンバ３０を排気する第１のターボポンプ６０によ
って圧力が下げられたイオンレンズチャンバ３０に接続
する。ロータリポンプ５０として排気速度の大きな物を
用いると共に、該ロータリポンプ５０とインターフェー
スチャンバ２０を接続する配管５２の途中に、圧力調節
用の可変弁７４を設ける。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、誘導結合プラズマ
質量分析装置に係り、特に、真空系を改良することによ
って、コストを上げることなく外部からガスの導入を可
能にしたり、インターフェースチャンバの圧力調節が可
能とされた、誘導結合プラズマ質量分析装置に関する。
質量分析装置に係り、特に、真空系を改良することによ
って、コストを上げることなく外部からガスの導入を可
能にしたり、インターフェースチャンバの圧力調節が可
能とされた、誘導結合プラズマ質量分析装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、発光分析の光源に用いられている
誘導結合プラズマを、質量分析計のイオン源として用い
て、溶液中の元素分析をイオンによって行う誘導結合プ
ラズマ（Inductive Coupled Plasma：ＩＣＰ）質量分析
装置が提案されている（例えば特開昭６２−２６７５７
参照）。
誘導結合プラズマを、質量分析計のイオン源として用い
て、溶液中の元素分析をイオンによって行う誘導結合プ
ラズマ（Inductive Coupled Plasma：ＩＣＰ）質量分析
装置が提案されている（例えば特開昭６２−２６７５７
参照）。
【０００３】この誘導結合プラズマ質量分析装置１０の
真空系は、例えば図３に示す如く、大気圧下のイオン化
部（図示省略）でイオン化された元素をサンプリングし
て、高真空化のイオンレンズチャンバ３０に導入するた
めの、イオン化部のトーチ（図示省略）内で発生したイ
オンの運動エネルギの方向を揃えるためのサンプリング
コーン２２、及び、該サンプリングコーン２２を通過し
たイオンの一部を通過させるためのスキマーコーン２４
を含むインターフェースチャンバ２０と、該インターフ
ェースチャンバ２０を通過したイオンを収束してアナラ
イザチャンバ４０に導くための、静電イオンレンズを用
いた引出電極、収束レンズ、イオンレンズ等のレンズ群
３２、及び、プラズマが点灯していないときに真空度が
下がるのを防止するために閉じられるゲート弁３４を含
むイオンレンズチャンバ３０と、該イオンレンズチャン
バ３０から導入されるイオンの質量を選択するためのマ
スフィルタを構成する四重極（Ｑポールと称する）４
２、及び、該Ｑポール４２を通過してきた測定質量数の
イオンを計数するための、例えば２次電子増倍管が用い
られた検出器４４を含むアナライザチャンバ４０とを備
えている。
真空系は、例えば図３に示す如く、大気圧下のイオン化
部（図示省略）でイオン化された元素をサンプリングし
て、高真空化のイオンレンズチャンバ３０に導入するた
めの、イオン化部のトーチ（図示省略）内で発生したイ
オンの運動エネルギの方向を揃えるためのサンプリング
コーン２２、及び、該サンプリングコーン２２を通過し
たイオンの一部を通過させるためのスキマーコーン２４
を含むインターフェースチャンバ２０と、該インターフ
ェースチャンバ２０を通過したイオンを収束してアナラ
イザチャンバ４０に導くための、静電イオンレンズを用
いた引出電極、収束レンズ、イオンレンズ等のレンズ群
３２、及び、プラズマが点灯していないときに真空度が
下がるのを防止するために閉じられるゲート弁３４を含
むイオンレンズチャンバ３０と、該イオンレンズチャン
バ３０から導入されるイオンの質量を選択するためのマ
スフィルタを構成する四重極（Ｑポールと称する）４
２、及び、該Ｑポール４２を通過してきた測定質量数の
イオンを計数するための、例えば２次電子増倍管が用い
られた検出器４４を含むアナライザチャンバ４０とを備
えている。
【０００４】前記インターフェースチャンバ２０には、
配管５２を介して、インターフェースチャンバ排気用の
第１のロータリポンプ（ＲＰ）５０が接続され、該ロー
タリポンプ５０によって達成可能な低真空が得られる。
配管５２を介して、インターフェースチャンバ排気用の
第１のロータリポンプ（ＲＰ）５０が接続され、該ロー
タリポンプ５０によって達成可能な低真空が得られる。
【０００５】又、前記イオンレンズチャンバ３０及びア
ナライザチャンバ４０には、それぞれ独立した第１及び
第２のターボ（分子）ポンプ（ＴＭＰ）６０、６２が接
続され、測定に必要な高真空が得られるようになってい
る。このターボポンプ６０及び６２のバッキングライン
は、配管６４を介して、ターボポンプバッキングライン
排気用の第２のロータリポンプ（ＲＰ）６６に接続さ
れ、前記ターボポンプ６０、６２を稼働させるのに必要
な低真空が、ターボポンプ６０、６２の背圧側に得られ
るようにされている。
ナライザチャンバ４０には、それぞれ独立した第１及び
第２のターボ（分子）ポンプ（ＴＭＰ）６０、６２が接
続され、測定に必要な高真空が得られるようになってい
る。このターボポンプ６０及び６２のバッキングライン
は、配管６４を介して、ターボポンプバッキングライン
排気用の第２のロータリポンプ（ＲＰ）６６に接続さ
れ、前記ターボポンプ６０、６２を稼働させるのに必要
な低真空が、ターボポンプ６０、６２の背圧側に得られ
るようにされている。
【０００６】図において、６８は、工場出荷時の真空度
を可能な限り維持して客先現場でのスタートアップ時間
を短くするための、配管６４に設けられた開閉弁であ
る。
を可能な限り維持して客先現場でのスタートアップ時間
を短くするための、配管６４に設けられた開閉弁であ
る。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】このような真空系の誘
導結合プラズマ質量分析装置において、測定の妨害とな
る分子イオンを減少させるべく、レンズ系、例えばイオ
ンレンズチャンバ３０のゲート弁３４より下流側にコリ
ジョンセルを設けて、Ｈｅガス等を導入することが考え
られるが、コリジョンセルによるＨｅの導入は真空系に
負荷となり、ターボポンプの圧縮比が小さいため、アナ
ライザチャンバ４０内の圧力が十分に下がらなくなり、
Ｑポール４２で放電が起こってしまうという問題点を有
していた。
導結合プラズマ質量分析装置において、測定の妨害とな
る分子イオンを減少させるべく、レンズ系、例えばイオ
ンレンズチャンバ３０のゲート弁３４より下流側にコリ
ジョンセルを設けて、Ｈｅガス等を導入することが考え
られるが、コリジョンセルによるＨｅの導入は真空系に
負荷となり、ターボポンプの圧縮比が小さいため、アナ
ライザチャンバ４０内の圧力が十分に下がらなくなり、
Ｑポール４２で放電が起こってしまうという問題点を有
していた。
【０００８】又、ホットプラズマで検出限界をよくする
ためには、前記インターフェースチャンバ２０の圧力を
低くする必要があり、一方、シールドトーチを使ったク
ールプラズマで分子イオンのバックグランドを下げるた
めには、前記インターフェースチャンバ２０の圧力を高
くする必要があるが、従来は、インターフェースチャン
バ２０の圧力を簡単に変えることができなかった。
ためには、前記インターフェースチャンバ２０の圧力を
低くする必要があり、一方、シールドトーチを使ったク
ールプラズマで分子イオンのバックグランドを下げるた
めには、前記インターフェースチャンバ２０の圧力を高
くする必要があるが、従来は、インターフェースチャン
バ２０の圧力を簡単に変えることができなかった。
【０００９】本発明は、前記従来の問題点を解消するべ
くなされたもので、コストを上げることなく、外部から
ガスを導入可能とすることを第１の課題とする。
くなされたもので、コストを上げることなく、外部から
ガスを導入可能とすることを第１の課題とする。
【００１０】本発明は、又、インターフェースチャンバ
の圧力を調節可能とすることを第２の課題とする。
の圧力を調節可能とすることを第２の課題とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明は、イオンレンズ
チャンバを排気する第１のターボポンプと、アナライザ
チャンバを排気する第２のターボポンプを備えた誘導結
合プラズマ質量分析装置において、第２のターボポンプ
のバッキングラインを、第１のターボポンプによって圧
力が下げられた部分に接続することにより、前記第１の
課題を解決したものである。
チャンバを排気する第１のターボポンプと、アナライザ
チャンバを排気する第２のターボポンプを備えた誘導結
合プラズマ質量分析装置において、第２のターボポンプ
のバッキングラインを、第１のターボポンプによって圧
力が下げられた部分に接続することにより、前記第１の
課題を解決したものである。
【００１２】又、前記第２のターボポンプのバッキング
ラインを、イオンレンズチャンバに接続することによ
り、簡単な構成で高い効果が得られるようにしたもので
ある。
ラインを、イオンレンズチャンバに接続することによ
り、簡単な構成で高い効果が得られるようにしたもので
ある。
【００１３】更に、前記イオンレンズチャンバに、外部
からガスを導入するためのコリジョンセルを設けて、外
部からのガスの導入を容易としたものである。
からガスを導入するためのコリジョンセルを設けて、外
部からのガスの導入を容易としたものである。
【００１４】本発明は又、インターフェースチャンバを
排気するロータリポンプを備えた誘導結合プラズマ質量
分析装置において、前記ロータリポンプとして排気速度
の大きな物を用いると共に、該ロータリポンプとインタ
ーフェースチャンバを接続する配管の途中に圧力調節用
の可変弁を設け、インターフェースチャンバの圧力を調
節可能とすることにより、前記第２の課題を解決したも
のである。
排気するロータリポンプを備えた誘導結合プラズマ質量
分析装置において、前記ロータリポンプとして排気速度
の大きな物を用いると共に、該ロータリポンプとインタ
ーフェースチャンバを接続する配管の途中に圧力調節用
の可変弁を設け、インターフェースチャンバの圧力を調
節可能とすることにより、前記第２の課題を解決したも
のである。
【００１５】又、前記可変弁をニードル弁として、微妙
な圧力調整を可能としたものである。
な圧力調整を可能としたものである。
【００１６】本発明は、又、インターフェースチャンバ
を排気するロータリポンプと、イオンレンズチャンバを
排気する第１のターボポンプと、アナライザチャンバを
排気する第２のターボポンプとを備えた誘導結合プラズ
マ質量分析装置において、前記ロータリポンプとして排
気速度の大きな物を用いると共に、該ロータリポンプと
インターフェースチャンバを接続する配管の途中に圧力
調節用の可変弁を設け、更に、第２のターボポンプのバ
ッキングラインを、第１のターボポンプによって圧力が
下げられた部分に接続することによって、前記第１及び
第２の課題を同時に解決したものである。
を排気するロータリポンプと、イオンレンズチャンバを
排気する第１のターボポンプと、アナライザチャンバを
排気する第２のターボポンプとを備えた誘導結合プラズ
マ質量分析装置において、前記ロータリポンプとして排
気速度の大きな物を用いると共に、該ロータリポンプと
インターフェースチャンバを接続する配管の途中に圧力
調節用の可変弁を設け、更に、第２のターボポンプのバ
ッキングラインを、第１のターボポンプによって圧力が
下げられた部分に接続することによって、前記第１及び
第２の課題を同時に解決したものである。
【００１７】
【発明の実施の形態】以下図面を参照して、本発明の実
施形態を詳細に説明する。
施形態を詳細に説明する。
【００１８】本発明の第１実施形態は、図３に示した従
来例と同様の誘導結合プラズマ質量分析装置において、
図１に示す如く、イオンレンズチャンバ３０のゲート弁
３４より下流側に、外部から、例えばＨｅガスを導入す
るためのコリジョンセル７０を設けると共に、第２のタ
ーボポンプ６２のバッキングラインを、配管７２によ
り、第１のターボポンプ６０によって圧力が下げられた
イオンレンズチャンバ３０に接続するようにしたもので
ある。
来例と同様の誘導結合プラズマ質量分析装置において、
図１に示す如く、イオンレンズチャンバ３０のゲート弁
３４より下流側に、外部から、例えばＨｅガスを導入す
るためのコリジョンセル７０を設けると共に、第２のタ
ーボポンプ６２のバッキングラインを、配管７２によ
り、第１のターボポンプ６０によって圧力が下げられた
イオンレンズチャンバ３０に接続するようにしたもので
ある。
【００１９】これに伴い、第２のロータリポンプ６６
は、第２のターボポンプ６２には接続されず、第１のタ
ーボポンプ６０のバッキングラインにのみ接続されてい
る。
は、第２のターボポンプ６２には接続されず、第１のタ
ーボポンプ６０のバッキングラインにのみ接続されてい
る。
【００２０】更に、前記第１のロータリポンプ５０とし
て、従来（例えば排気速度３．３ｍ 3 ／ｈ）よりも排気
速度の大きな物（例えば排気速度１７ｍ3 ／ｈ）を用い
ると共に、該第１のロータリポンプ５０とインターフェ
ースチャンバ２０を接続する配管５２の途中に、圧力調
節用の可変弁（例えばニードル弁）７４を設けている。
て、従来（例えば排気速度３．３ｍ 3 ／ｈ）よりも排気
速度の大きな物（例えば排気速度１７ｍ3 ／ｈ）を用い
ると共に、該第１のロータリポンプ５０とインターフェ
ースチャンバ２０を接続する配管５２の途中に、圧力調
節用の可変弁（例えばニードル弁）７４を設けている。
【００２１】他の点に関しては、前記従来例と同様であ
るので説明は省略する。
るので説明は省略する。
【００２２】本実施形態においては、第２のターボポン
プ６２のバッキングラインの圧力が、第１のターボポン
プ６０によって高真空とされているイオンレンズチャン
バ３０の圧力まで下げられるので、該第２のターボポン
プ６２の圧縮比が小さくても、アナライザチャンバ４０
の圧力を十分に下げることができ、Ｑポール４２の放電
を防止して、正常な測定を行うことが可能となる。
プ６２のバッキングラインの圧力が、第１のターボポン
プ６０によって高真空とされているイオンレンズチャン
バ３０の圧力まで下げられるので、該第２のターボポン
プ６２の圧縮比が小さくても、アナライザチャンバ４０
の圧力を十分に下げることができ、Ｑポール４２の放電
を防止して、正常な測定を行うことが可能となる。
【００２３】又、例えばホットプラズマで検出限界をよ
くしたい場合には、可変弁７４を十分に開いて、インタ
ーフェースチャンバ２０の圧力が十分に低められるよう
にする。一方、シールドトーチのようなクールプラズマ
で分子イオンのバックグラウンドを下げたい場合には、
逆に可変弁７４を閉じ気味として、インターフェースチ
ャンバ２０の圧力を高くすることができる。このよう
に、可変弁７２の開度を調節するだけで、ホットプラズ
マ、クールプラズマの両者に容易に対応できる。
くしたい場合には、可変弁７４を十分に開いて、インタ
ーフェースチャンバ２０の圧力が十分に低められるよう
にする。一方、シールドトーチのようなクールプラズマ
で分子イオンのバックグラウンドを下げたい場合には、
逆に可変弁７４を閉じ気味として、インターフェースチ
ャンバ２０の圧力を高くすることができる。このよう
に、可変弁７２の開度を調節するだけで、ホットプラズ
マ、クールプラズマの両者に容易に対応できる。
【００２４】本実施形態においては、第２のターボポン
プ６２のバッキングラインを、イオンレンズチャンバ３
０に接続していたので、構成が特に簡略である。
プ６２のバッキングラインを、イオンレンズチャンバ３
０に接続していたので、構成が特に簡略である。
【００２５】次に、図２を参照して、本発明の第２実施
形態を詳細に説明する。
形態を詳細に説明する。
【００２６】本実施形態は、第２のターボポンプ６２の
バッキングラインを、配管７２により、第１のターボポ
ンプ６０に直接接続すると共に、コリジョンセル７０及
び第２のロータリポンプ６６を省略し、配管６４の開閉
弁６８より上流側を、配管７６により、第１のロータリ
ポンプ５０に接続した点が、前記第１実施形態と異な
る。
バッキングラインを、配管７２により、第１のターボポ
ンプ６０に直接接続すると共に、コリジョンセル７０及
び第２のロータリポンプ６６を省略し、配管６４の開閉
弁６８より上流側を、配管７６により、第１のロータリ
ポンプ５０に接続した点が、前記第１実施形態と異な
る。
【００２７】他の点に関しては、前記第１実施形態と同
様であるので、説明は省略する。
様であるので、説明は省略する。
【００２８】本実施形態においては、第２のロータリポ
ンプを省略することができ、構成が簡略である。
ンプを省略することができ、構成が簡略である。
【００２９】前記実施形態においては、いずれも、第１
のロータリポンプ５０とインターフェースチャンバ２０
を接続する配管５２の途中に設ける可変弁７４としてニ
ードル弁を用いているので、圧力調整を容易に行うこと
ができる。なお、ニードル弁の代わりにボール弁等の他
の可変弁を用いたり、可変弁７４を省略したりすること
もできる。
のロータリポンプ５０とインターフェースチャンバ２０
を接続する配管５２の途中に設ける可変弁７４としてニ
ードル弁を用いているので、圧力調整を容易に行うこと
ができる。なお、ニードル弁の代わりにボール弁等の他
の可変弁を用いたり、可変弁７４を省略したりすること
もできる。
【００３０】前記実施形態においては、いずれも、マス
フィルタとしてＱポールが用いられ、検出器として２次
電子増倍管を用いた場合を例示していたが、マスフィル
タや検出器の種類等は、これに限定されない。
フィルタとしてＱポールが用いられ、検出器として２次
電子増倍管を用いた場合を例示していたが、マスフィル
タや検出器の種類等は、これに限定されない。
【００３１】
【発明の効果】本発明により、第２のターボポンプのバ
ッキングラインを、第１のターボポンプによって圧力が
下げられた部分に接続するようにした場合には、コスト
を上げることなく、Ｈｅ等のガスを導入することが可能
になる。
ッキングラインを、第１のターボポンプによって圧力が
下げられた部分に接続するようにした場合には、コスト
を上げることなく、Ｈｅ等のガスを導入することが可能
になる。
【００３２】又、本発明により、ロータリポンプとして
排気速度の大きな物を用いると共に、該ロータリポンプ
とインターフェースチャンバを接続する配管の途中に圧
力調節用の可変弁を設けた場合には、インターフェース
チャンバの圧力が調節可能となり、チューニングパラメ
ータを変えるだけで、ホットプラズマ、クールプラズマ
の両者に容易に対応可能となる。
排気速度の大きな物を用いると共に、該ロータリポンプ
とインターフェースチャンバを接続する配管の途中に圧
力調節用の可変弁を設けた場合には、インターフェース
チャンバの圧力が調節可能となり、チューニングパラメ
ータを変えるだけで、ホットプラズマ、クールプラズマ
の両者に容易に対応可能となる。
【図１】本発明の第１実施形態の構成を示す断面図
【図２】同じく第２実施形態の構成を示す断面図
【図３】従来例の構成を示す断面図
１０…誘導結合プラズマ質量分析装置 ２０…インターフェースチャンバ ３０…イオンレンズチャンバ ４０…アナライザチャンバ ５０、６６…ロータリポンプ ５２、６４、７２、７６…配管 ６０、６２…ターボポンプ ７０…コリジョンセル ７４…可変弁
Claims (6)
- 【請求項１】イオンレンズチャンバを排気する第１のタ
ーボポンプと、アナライザチャンバを排気する第２のタ
ーボポンプを備えた誘導結合プラズマ質量分析装置にお
いて、 第２のターボポンプのバッキングラインを、第１のター
ボポンプによって圧力が下げられた部分に接続すること
を特徴とする誘導結合プラズマ質量分析装置。 - 【請求項２】請求項１において、前記第２のターボポン
プのバッキングラインを、イオンレンズチャンバに接続
することを特徴とする誘導結合プラズマ質量分析装置。 - 【請求項３】請求項１又は２において、前記イオンレン
ズチャンバに、外部からガスを導入するためのコリジョ
ンセルが設けられていることを特徴とする誘導結合プラ
ズマ質量分析装置。 - 【請求項４】請求項１乃至３のいずれか一項において、
更に、インターフェースチャンバを排気するロータリポ
ンプを備え、 該ロータリポンプとして排気速度の大きな物を用いると
共に、 該ロータリポンプとインターフェースチャンバを接続す
る配管の途中に圧力調節用の可変弁を設け、 インターフェースチャンバの圧力を調節可能としたこと
を特徴とする誘導結合プラズマ質量分析装置。 - 【請求項５】インターフェースチャンバを排気するロー
タリポンプを備えた誘導結合プラズマ質量分析装置にお
いて、 前記ロータリポンプとして排気速度の大きな物を用いる
と共に、 該ロータリポンプとインターフェースチャンバを接続す
る配管の途中に圧力調節用の可変弁を設け、 インターフェースチャンバの圧力を調節可能としたこと
を特徴とする誘導結合プラズマ質量分析装置。 - 【請求項６】請求項４又は５において、前記可変弁がニ
ードル弁であることを特徴とする誘導結合プラズマ質量
分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9356853A JPH11185695A (ja) | 1997-12-25 | 1997-12-25 | 誘導結合プラズマ質量分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9356853A JPH11185695A (ja) | 1997-12-25 | 1997-12-25 | 誘導結合プラズマ質量分析装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11185695A true JPH11185695A (ja) | 1999-07-09 |
Family
ID=18451096
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9356853A Pending JPH11185695A (ja) | 1997-12-25 | 1997-12-25 | 誘導結合プラズマ質量分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11185695A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003016990A (ja) * | 2001-06-28 | 2003-01-17 | Seiko Instruments Inc | 誘導結合プラズマ質量分析装置 |
| US7850434B2 (en) | 2004-05-21 | 2010-12-14 | Edwards Limited | Pumping arrangement |
| CN104882352A (zh) * | 2015-05-18 | 2015-09-02 | 中国计量科学研究院 | 气相分子-离子反应的质谱装置及分析方法 |
| GB2572819A (en) * | 2018-04-13 | 2019-10-16 | Thermo Fisher Scient Bremen Gmbh | Method and apparatus for operating a vacuum interface of a mass spectrometer |
-
1997
- 1997-12-25 JP JP9356853A patent/JPH11185695A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003016990A (ja) * | 2001-06-28 | 2003-01-17 | Seiko Instruments Inc | 誘導結合プラズマ質量分析装置 |
| US7850434B2 (en) | 2004-05-21 | 2010-12-14 | Edwards Limited | Pumping arrangement |
| CN104882352A (zh) * | 2015-05-18 | 2015-09-02 | 中国计量科学研究院 | 气相分子-离子反应的质谱装置及分析方法 |
| GB2572819A (en) * | 2018-04-13 | 2019-10-16 | Thermo Fisher Scient Bremen Gmbh | Method and apparatus for operating a vacuum interface of a mass spectrometer |
| WO2019197258A1 (en) * | 2018-04-13 | 2019-10-17 | Thermo Fisher Scientific (Bremen) Gmbh | Method and apparatus for operating a vacuum interface of a mass spectrometer |
| CN111971777A (zh) * | 2018-04-13 | 2020-11-20 | 塞莫费雪科学（不来梅）有限公司 | 一种操作质谱仪真空接口的方法和设备 |
| GB2572819B (en) * | 2018-04-13 | 2021-05-19 | Thermo Fisher Scient Bremen Gmbh | Method and apparatus for operating a vacuum interface of a mass spectrometer |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4712108B2 (ja) | 質量分析計および質量分析計の運転方法 | |
| JP2753265B2 (ja) | プラズマイオン化質量分析計 | |
| US6265717B1 (en) | Inductively coupled plasma mass spectrometer and method | |
| CA2162856A1 (en) | Method of plasma mass analysis with reduced space charge effects | |
| GB2489623A (en) | Multi-pressure stage mass spectrometer | |
| AU5144199A (en) | Method for separation and enrichment of isotopes in gaseous phase | |
| JP7021092B2 (ja) | 元素分析装置及び元素分析方法 | |
| JP2013545243A (ja) | 質量分析法における改良及び質量分析法に関係する改良 | |
| CA2157343A1 (en) | Apparatus and method for isotopic ratio plasma mass spectrometry | |
| JPH10228881A (ja) | イオントラップ質量分析計を用いた分析装置 | |
| JP2008095504A (ja) | 分析装置 | |
| JPH11185695A (ja) | 誘導結合プラズマ質量分析装置 | |
| JPS6220231A (ja) | Ｉｃｐ質量分析装置 | |
| JPH0668841A (ja) | 化学的イオン化モードで使用するイオン・トラップ質量分析計のための試剤ガス制御 | |
| WO2008146333A1 (ja) | 質量分析装置 | |
| JP3947762B2 (ja) | 誘導結合プラズマ質量分析装置、及び、その排気制御方法 | |
| WO2020230297A1 (ja) | イオン分析装置 | |
| US20240145225A1 (en) | Mass spectrometer | |
| JP2024064401A (ja) | 質量分析装置 | |
| JPH08203468A (ja) | 大気圧イオン化質量分析計 | |
| CN111971777A (zh) | 一种操作质谱仪真空接口的方法和设备 | |
| JPH08124518A (ja) | イオン質量分析装置 | |
| WO2023007820A1 (ja) | 質量分析装置 | |
| JPH0746853Y2 (ja) | 差動排気系 | |
| JP3133016B2 (ja) | 誘導結合プラズマ質量分析装置 |