JPS6220231A - Ｉｃｐ質量分析装置 - Google Patents
Ｉｃｐ質量分析装置Info
- Publication number
- JPS6220231A JPS6220231A JP60159180A JP15918085A JPS6220231A JP S6220231 A JPS6220231 A JP S6220231A JP 60159180 A JP60159180 A JP 60159180A JP 15918085 A JP15918085 A JP 15918085A JP S6220231 A JPS6220231 A JP S6220231A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ion
- vacuum chamber
- mass spectrometer
- vacuum
- ions
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/26—Mass spectrometers or separator tubes
- H01J49/34—Dynamic spectrometers
- H01J49/42—Stability-of-path spectrometers, e.g. monopole, quadrupole, multipole, farvitrons
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/02—Details
- H01J49/04—Arrangements for introducing or extracting samples to be analysed, e.g. vacuum locks; Arrangements for external adjustment of electron- or ion-optical components
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/02—Details
- H01J49/06—Electron- or ion-optical arrangements
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/02—Details
- H01J49/10—Ion sources; Ion guns
- H01J49/105—Ion sources; Ion guns using high-frequency excitation, e.g. microwave excitation, Inductively Coupled Plasma [ICP]
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、ＩＣＰ（高周波誘導結合プラズマ）質量分析
において使用される装置に関する。
において使用される装置に関する。
ＩＣＰイオン源とイオンを引き出し収束させるイオンレ
ンズ系とイオンを分析検出する質量分析計で構成された
装置において、上記イオンレンズ系の構造を簡単にしイ
オンの吸収を少なくするために、イオンレンズ系を有す
る真空室の真空度を向」二さゼる構造にする。本発明の
結果、イオンレンズ系でのイオンの吸収が少な（なり、
質量分析計に入るイオン量が増大し、分析感度が向上す
る。
ンズ系とイオンを分析検出する質量分析計で構成された
装置において、上記イオンレンズ系の構造を簡単にしイ
オンの吸収を少なくするために、イオンレンズ系を有す
る真空室の真空度を向」二さゼる構造にする。本発明の
結果、イオンレンズ系でのイオンの吸収が少な（なり、
質量分析計に入るイオン量が増大し、分析感度が向上す
る。
従来、ｉｃｐ質量分析装置においては、次の２種類の構
造が用いられてきた。第２図ｆａ）では、ＩＣＰＩのイ
オン源のイオンを引き出すサンプリング室と、イオンレ
ンズ系６と質量分析計１０を有する真空室１１との構造
を示す。サンプリング室の真空度はｌ Ｔｏｒｒｓ次の
真空室の真空度は１Ｏ−６Ｔｏｒｒである。第２図［ｂ
）では、ＩＣＰイオン源のイオンを引き出すサンプリン
グ室、イオンレンズ系を有する真空室、質量分析計を有
する真空室の構造を示す。サンプリング室と２つの真空
室の真空度はそれぞれｌ Ｔｏｒｒ、１０−’Ｔｏｒｒ
、１０−’Ｔｏｒｒである。
造が用いられてきた。第２図ｆａ）では、ＩＣＰＩのイ
オン源のイオンを引き出すサンプリング室と、イオンレ
ンズ系６と質量分析計１０を有する真空室１１との構造
を示す。サンプリング室の真空度はｌ Ｔｏｒｒｓ次の
真空室の真空度は１Ｏ−６Ｔｏｒｒである。第２図［ｂ
）では、ＩＣＰイオン源のイオンを引き出すサンプリン
グ室、イオンレンズ系を有する真空室、質量分析計を有
する真空室の構造を示す。サンプリング室と２つの真空
室の真空度はそれぞれｌ Ｔｏｒｒ、１０−’Ｔｏｒｒ
、１０−’Ｔｏｒｒである。
文献１）雑誌 アナリスト １９８３出版著者 Ａ、Ｌ
、グレイ、ＡＲデート ［インダクティビティ カップルド プラズマ マス スペクトロメトリー ユージング コンティニューム フロラ イオン エクストラクション−１〔発明が解決
しようとする問題点〕 従来、用いられてきた第２図ｉａｌの装置では゛、イオ
ンレンズ系と質量分析計を有する真空室の真空度を高め
るために大排気量の真空ポンプが必要となり、大型化す
るという欠点がある。第２図（ｂｌに示す装置（文献１
）では、イオンレンズ系を有する真空室の真空度が低い
ため、イオンの散乱を防くためにイオンレンズ系を多段
に配し、イオンを収束させる必要がある。イオンレンズ
系を多段にし、真空度が低いため、イオンの吸収が多く
なり、火室の質量分析計へのイオンの導入量が減少し、
分析感度が低下するという欠点がある。
、グレイ、ＡＲデート ［インダクティビティ カップルド プラズマ マス スペクトロメトリー ユージング コンティニューム フロラ イオン エクストラクション−１〔発明が解決
しようとする問題点〕 従来、用いられてきた第２図ｉａｌの装置では゛、イオ
ンレンズ系と質量分析計を有する真空室の真空度を高め
るために大排気量の真空ポンプが必要となり、大型化す
るという欠点がある。第２図（ｂｌに示す装置（文献１
）では、イオンレンズ系を有する真空室の真空度が低い
ため、イオンの散乱を防くためにイオンレンズ系を多段
に配し、イオンを収束させる必要がある。イオンレンズ
系を多段にし、真空度が低いため、イオンの吸収が多く
なり、火室の質量分析計へのイオンの導入量が減少し、
分析感度が低下するという欠点がある。
当該発明者は、従来用いられてきたＩＣＰ質量分析装置
の欠点を解決するため、イオンレンズ系を存する真空室
をイオン引き出し部とイオン収束部に分割し、イオン収
束部と質量分析計を一つの真空室とする構造にし、真空
室は第２図ｔｂ＋のように３室とし、イオンの吸収を可
能な限り少なくするために、第３真空室のイオン収束部
の構造を簡単にする。
の欠点を解決するため、イオンレンズ系を存する真空室
をイオン引き出し部とイオン収束部に分割し、イオン収
束部と質量分析計を一つの真空室とする構造にし、真空
室は第２図ｔｂ＋のように３室とし、イオンの吸収を可
能な限り少なくするために、第３真空室のイオン収束部
の構造を簡単にする。
本発明により、ＩＣＰ質量分析装置の構造を簡単にし、
可能な限り小型化し、質量分析計へのイオン導入量を増
大し、ＩＣＰ質量分析装置の感度を向上させる。
可能な限り小型化し、質量分析計へのイオン導入量を増
大し、ＩＣＰ質量分析装置の感度を向上させる。
以下、本発明を図面に基づき詳細に説明する。
第１図において、１は被分析試料が導入されているＩＣ
Ｐ、２はＩＣＰＩのイオンを引き込むための穴径０．３
〜１ 、５ｍｍを有するサンプリングコーンであり、３
は排気管４が接続されサンプリングコーン２を有する仕
切により大気と仕切られ、図示しない真空ポンプにより
約Ｉ Ｔｏｒｒの真空度に保たれるサンプリング室であ
る。５はサンプリング室３よりイオンを引き込むために
穴径０．５〜２．０１を有するスキマーであり、６はイ
オンを引き出すために図示しない直流電源より＋５０〜
５００Ｖの電圧を印加されるイオン引き出しレンズであ
る。７は排気管８が接続され、５のスキマーを有する仕
切により３の真空室と仕切られ、図示しない真空ポンプ
により真空度１０−’Ｔｏｒｒ程度に保たれる第２真空
室である。９はＩＣＰＩよりサンプリングコーン２、ス
キマー５をｉｍす、イオンレンズ６により引き出された
イオンを質量分析計１０に収束させるためのイオン収束
レンズである。１１は排気管１２が接続され、イオンレ
ンズ系を有する仕切により真空室７と仕切られ図示しな
い真空ポンプにより真空度１０−６Ｔｏｒｒ程度に保た
れる第３真空室である。
Ｐ、２はＩＣＰＩのイオンを引き込むための穴径０．３
〜１ 、５ｍｍを有するサンプリングコーンであり、３
は排気管４が接続されサンプリングコーン２を有する仕
切により大気と仕切られ、図示しない真空ポンプにより
約Ｉ Ｔｏｒｒの真空度に保たれるサンプリング室であ
る。５はサンプリング室３よりイオンを引き込むために
穴径０．５〜２．０１を有するスキマーであり、６はイ
オンを引き出すために図示しない直流電源より＋５０〜
５００Ｖの電圧を印加されるイオン引き出しレンズであ
る。７は排気管８が接続され、５のスキマーを有する仕
切により３の真空室と仕切られ、図示しない真空ポンプ
により真空度１０−’Ｔｏｒｒ程度に保たれる第２真空
室である。９はＩＣＰＩよりサンプリングコーン２、ス
キマー５をｉｍす、イオンレンズ６により引き出された
イオンを質量分析計１０に収束させるためのイオン収束
レンズである。１１は排気管１２が接続され、イオンレ
ンズ系を有する仕切により真空室７と仕切られ図示しな
い真空ポンプにより真空度１０−６Ｔｏｒｒ程度に保た
れる第３真空室である。
ＩＣＰＩより引き出されたイオンは、イオン引き出しレ
ンズ６を通り、真空度が１０−６Ｔｏｒｒ程度に保たれ
ている第３真空室１１内のイオン収束レンズ９を通り質
量分析計１０に到達する。イオン収束レンズ９内でのイ
オンの運動する距離は真空度１０−’Ｔｏｒｒ程度の真
空中に比べて１００倍程度長くなり、またイオンの散乱
を防ぐことが可能となり、１段の簡単な構造をもつイオ
ンレンズ系を通して質量分析計１０にイオンを導入する
ことが可能となる。第１図に示すＩＣＰ質量分析装置に
おける前記のイオンレンズ６．９を通過するイオン量は
運動する距離に比例して増大し、ＩＣＰ質量分析装置の
分析感度は向」ニする。
ンズ６を通り、真空度が１０−６Ｔｏｒｒ程度に保たれ
ている第３真空室１１内のイオン収束レンズ９を通り質
量分析計１０に到達する。イオン収束レンズ９内でのイ
オンの運動する距離は真空度１０−’Ｔｏｒｒ程度の真
空中に比べて１００倍程度長くなり、またイオンの散乱
を防ぐことが可能となり、１段の簡単な構造をもつイオ
ンレンズ系を通して質量分析計１０にイオンを導入する
ことが可能となる。第１図に示すＩＣＰ質量分析装置に
おける前記のイオンレンズ６．９を通過するイオン量は
運動する距離に比例して増大し、ＩＣＰ質量分析装置の
分析感度は向」ニする。
本発明により、従来の真空度の低い真空室に収納されて
いるイオンレンズ系を有するＩＣＰ質量分析装置に比較
して、分析感度が格段に向上した。
いるイオンレンズ系を有するＩＣＰ質量分析装置に比較
して、分析感度が格段に向上した。
第１図は、本発明のＩＣＰ質量分析装置の概略図である
。第２図ｆａｔ、（ｂｌは従来のｔｃｐ質量分析装置の
概略図である。 １・・・■ＣＰ ２・・ ・サンプリングコーン ３・・・サンプリング室 ４・・・排気管 ５・・・スキマー ６・・・イオン引き出しレンズ ７・・・第１真空室 ８・・・排気管 ９・・・イオン収束レンズ １０・・・質量分析計 １１・・・第２真空室 １２・・・排気管 以 −ト ＩＡＬ
。第２図ｆａｔ、（ｂｌは従来のｔｃｐ質量分析装置の
概略図である。 １・・・■ＣＰ ２・・ ・サンプリングコーン ３・・・サンプリング室 ４・・・排気管 ５・・・スキマー ６・・・イオン引き出しレンズ ７・・・第１真空室 ８・・・排気管 ９・・・イオン収束レンズ １０・・・質量分析計 １１・・・第２真空室 １２・・・排気管 以 −ト ＩＡＬ
Claims (2)
- （１）大気圧下のＩＣＰ（高周波誘導プラズマ）のイオ
ンを取り入れるサンプリングコーン、該サンプリングコ
ーンに接続されるサンプリング室、該サンプリング室を
通過したイオンを引き出し収束させるイオンレンズ系、
該イオンレンズ系を通過したイオンを分析するための質
量分析計及びイオンレンズ系及び質量分析計を収納する
ための真空室よりなるＩＣＰ質量分析装置において、該
真空室は、イオン通過口を有する仕切により第１真空室
及び第２真空室に２分されており、サンプリング室に隣
接する第１真空室は、イオンレンズ系の一部を収納し、
かつ排気系により排気され、第１真空室に隣接する第２
真空室は、イオンレンズ系の残部及び質量分析計を収納
し、かつ排気系により排気されているとともに、第２真
空室は第１真空室より高真空に保たれていることを特徴
とするＩＣＰ質量分析装置。 - （２）前記第２真空室に収納されるイオンレンズ系の残
部は、対称な数枚の電極より構成されていることを特徴
とする第１項記載のＩＣＰ質量分析装置（３）前記ＩＣ
Ｐ質量分析装置は４重極質量分析計と２次電子増倍管よ
り成ることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のＩ
ＣＰ質量分析装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60159180A JPS6220231A (ja) | 1985-07-18 | 1985-07-18 | Ｉｃｐ質量分析装置 |
| US06/886,977 US4740696A (en) | 1985-07-18 | 1986-07-17 | ICP mass spectrometer |
| DE19863624355 DE3624355A1 (de) | 1985-07-18 | 1986-07-18 | Massenspektrometer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60159180A JPS6220231A (ja) | 1985-07-18 | 1985-07-18 | Ｉｃｐ質量分析装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6220231A true JPS6220231A (ja) | 1987-01-28 |
Family
ID=15688047
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60159180A Pending JPS6220231A (ja) | 1985-07-18 | 1985-07-18 | Ｉｃｐ質量分析装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4740696A (ja) |
| JP (1) | JPS6220231A (ja) |
| DE (1) | DE3624355A1 (ja) |
Families Citing this family (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB8813149D0 (en) * | 1988-06-03 | 1988-07-06 | Vg Instr Group | Mass spectrometer |
| JP2753265B2 (ja) * | 1988-06-10 | 1998-05-18 | 株式会社日立製作所 | プラズマイオン化質量分析計 |
| GB8901975D0 (en) * | 1989-01-30 | 1989-03-22 | Vg Instr Group | Plasma mass spectrometer |
| JPH03194843A (ja) * | 1989-12-25 | 1991-08-26 | Hitachi Ltd | プラズマイオン源極微量元素質量分析装置 |
| JP2913924B2 (ja) * | 1991-09-12 | 1999-06-28 | 株式会社日立製作所 | 質量分析の方法および装置 |
| US6002130A (en) * | 1991-09-12 | 1999-12-14 | Hitachi, Ltd. | Mass spectrometry and mass spectrometer |
| US5495107A (en) * | 1994-04-06 | 1996-02-27 | Thermo Jarrell Ash Corporation | Analysis |
| DE19523860A1 (de) * | 1995-06-30 | 1997-01-02 | Bruker Franzen Analytik Gmbh | Ionenfallen-Massenspektrometer mit vakuum-externer Ionenerzeugung |
| ATE331631T1 (de) | 1999-02-24 | 2006-07-15 | Canon Kk | Druckapparat und drucksteuerungsverfahren |
| GB0021902D0 (en) * | 2000-09-06 | 2000-10-25 | Kratos Analytical Ltd | Ion optics system for TOF mass spectrometer |
| US7119330B2 (en) * | 2002-03-08 | 2006-10-10 | Varian Australia Pty Ltd | Plasma mass spectrometer |
| US7405397B2 (en) * | 2002-03-28 | 2008-07-29 | Mds Sciex Inc. | Laser desorption ion source with ion guide coupling for ion mass spectroscopy |
| US9105457B2 (en) * | 2010-02-24 | 2015-08-11 | Perkinelmer Health Sciences, Inc. | Cone-shaped orifice arrangement for inductively coupled plasma sample introduction system |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5291494A (en) * | 1976-01-28 | 1977-08-01 | Hitachi Ltd | Mass spectrometer |
| US4300044A (en) * | 1980-05-07 | 1981-11-10 | Iribarne Julio V | Method and apparatus for the analysis of chemical compounds in aqueous solution by mass spectroscopy of evaporating ions |
| US4501965A (en) * | 1983-01-14 | 1985-02-26 | Mds Health Group Limited | Method and apparatus for sampling a plasma into a vacuum chamber |
| US4682026A (en) * | 1986-04-10 | 1987-07-21 | Mds Health Group Limited | Method and apparatus having RF biasing for sampling a plasma into a vacuum chamber |
-
1985
- 1985-07-18 JP JP60159180A patent/JPS6220231A/ja active Pending
-
1986
- 1986-07-17 US US06/886,977 patent/US4740696A/en not_active Expired - Lifetime
- 1986-07-18 DE DE19863624355 patent/DE3624355A1/de not_active Ceased
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE3624355A1 (de) | 1987-02-05 |
| US4740696A (en) | 1988-04-26 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US10020174B2 (en) | Methods and devices for parallel analysis of ion mobility spectrum and mass spectrum | |
| US11017990B2 (en) | Compact mass spectrometer | |
| US6784424B1 (en) | Apparatus and method for focusing and selecting ions and charged particles at or near atmospheric pressure | |
| US10978288B2 (en) | Compact mass spectrometer | |
| JP6698698B2 (ja) | オーバーサンプル型飛行時間質量分析 | |
| US9190251B2 (en) | Pre-scan for mass to charge ratio range | |
| CA2162856A1 (en) | Method of plasma mass analysis with reduced space charge effects | |
| EP1109198A2 (en) | Mass spectrometer system including a double ion guide interface and method of operation | |
| US20080067349A1 (en) | Multi-channel time-of-flight mass spectrometer | |
| JPS6220231A (ja) | Ｉｃｐ質量分析装置 | |
| US10354847B2 (en) | Compact mass spectrometer | |
| US9697996B2 (en) | DDA experiment with reduced data processing | |
| US20240055248A1 (en) | Mass Spectrometer Sampler Cones and Interfaces and Methods of Sealing Them to Each Other | |
| CN113495112A (zh) | 质谱分析方法和质谱系统 | |
| US20240347330A1 (en) | Improved Low-Power Mass Interrogation System and Assay For Determining Vitamin D Levels | |
| CA2157343A1 (en) | Apparatus and method for isotopic ratio plasma mass spectrometry | |
| CN211654768U (zh) | 一种基于等离子体原理的质谱源内解离装置 | |
| US6621078B2 (en) | Ion trapping device | |
| CN209447762U (zh) | 一种质谱仪 | |
| US9536723B1 (en) | Thin field terminator for linear quadrupole ion guides, and related systems and methods | |
| US20240071741A1 (en) | Electrostatic Ion Trap Configuration | |
| JP2000162186A (ja) | 質量分析装置におけるデータ処理方法、質量分析装置用記録媒体および質量分析装置 | |
| CN112908826A (zh) | 一种不连续大气压接口的离子导入方法 | |
| JPS61131356A (ja) | 質量分析装置 | |
| JPH05129001A (ja) | イオン分析計 |