JP2704052B2 - 真空装置 - Google Patents
真空装置Info
- Publication number
- JP2704052B2 JP2704052B2 JP3040444A JP4044491A JP2704052B2 JP 2704052 B2 JP2704052 B2 JP 2704052B2 JP 3040444 A JP3040444 A JP 3040444A JP 4044491 A JP4044491 A JP 4044491A JP 2704052 B2 JP2704052 B2 JP 2704052B2
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- JP
- Japan
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- pipe
- vacuum
- valve
- gas introduction
- gas
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- Expired - Lifetime
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、真空容器の真空排気及
びガス導入を繰返して行う真空装置に関する。
びガス導入を繰返して行う真空装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図２は従来の真空装置の一例を示す系統
図である。従来、この種の真空装置は、同図に示すよう
に、試料を収納する真空容器１と、この真空容器１を排
気するとともに配管を介して接続される真空ポンプ１６
を、この真空ポンプの廃棄するガス量を調節するバルブ
１３，１４及びニードルバルブ１４と、真空容器１にガ
スを導入するバルブ６と、ガスの導入圧力を調節する減
圧弁９と、導入するガスの容量を抑制するバルブ７及び
ニードルバルブ８と、導入されるガスのごみを除去する
フィルタ２とを有していた。
図である。従来、この種の真空装置は、同図に示すよう
に、試料を収納する真空容器１と、この真空容器１を排
気するとともに配管を介して接続される真空ポンプ１６
を、この真空ポンプの廃棄するガス量を調節するバルブ
１３，１４及びニードルバルブ１４と、真空容器１にガ
スを導入するバルブ６と、ガスの導入圧力を調節する減
圧弁９と、導入するガスの容量を抑制するバルブ７及び
ニードルバルブ８と、導入されるガスのごみを除去する
フィルタ２とを有していた。
【０００３】この真空装置の排気動作は、まず、バルブ
１５を開き、バルブ１３を閉じた状態で、排気量が絞ら
れた状態で調整されたニードルバルブ１４を通して排気
する。その後真空ポンプ側の圧力と真空容器１側の圧力
差がある程度小さくなった時点で、コンダクタンスの高
い排気系統にあるバルブ１３を開け排気する。また、真
空状態にある真空容器１を大気に戻すのには、初めバル
ブ７を開けニードルバルブ８で小流量に絞られた系統で
徐々にパージガスを導入する。次に、ガス導入系統と真
空容器１の圧力差がある程度小さくなった時点で、ガス
を多く流せる系統にあるバルブ６を開け、真空容器１を
大気する。真空容器１を真空排気するときあるいは、大
気に戻すときに、真空容器内のゴミを極力舞い上げない
ように、圧力差を急激に変えずに、２段階で真空排気及
び大気導入を図っていた。
１５を開き、バルブ１３を閉じた状態で、排気量が絞ら
れた状態で調整されたニードルバルブ１４を通して排気
する。その後真空ポンプ側の圧力と真空容器１側の圧力
差がある程度小さくなった時点で、コンダクタンスの高
い排気系統にあるバルブ１３を開け排気する。また、真
空状態にある真空容器１を大気に戻すのには、初めバル
ブ７を開けニードルバルブ８で小流量に絞られた系統で
徐々にパージガスを導入する。次に、ガス導入系統と真
空容器１の圧力差がある程度小さくなった時点で、ガス
を多く流せる系統にあるバルブ６を開け、真空容器１を
大気する。真空容器１を真空排気するときあるいは、大
気に戻すときに、真空容器内のゴミを極力舞い上げない
ように、圧力差を急激に変えずに、２段階で真空排気及
び大気導入を図っていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】この従来の真空装置で
は、真空容器内のごみを極力舞い上げないようにしてい
るため、真空容器内には外から持ち込まれたごみや内部
で発生したごみが集積されることになり、かえってごみ
の舞い上げが多くなり、真空容器内で処理される試料を
汚染するという問題があった。
は、真空容器内のごみを極力舞い上げないようにしてい
るため、真空容器内には外から持ち込まれたごみや内部
で発生したごみが集積されることになり、かえってごみ
の舞い上げが多くなり、真空容器内で処理される試料を
汚染するという問題があった。
【０００５】本発明の目的は、かかる問題を解消する真
空装置を提供することである。
空装置を提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の特徴は、試料を
収納し処理する真空容器と、この真空容器と第１の配管
を介して接続される第１の開閉バルブと、この第１の開
閉バルブに第２の配管を介して接続される真空ポンプ
と、前記第１の配管と前記第２の配管との間に接続され
る第１のバイパス配管の途中に設けられる流量調節弁お
よび第３の開閉バルブと、前記真空容器に第４の開閉バ
ルブを介してガスを導入する第１のガス導入管を有する
第１のガス導入系統とを備える真空排気装置において、
前記真空容器と接続する第３の配管の開口を開閉する第
５の開閉バルブを介して接続される予備真空容器と、前
記真空ポンプと接続する前記第２の配管と前記予備真空
容器と接続する第４の配管の配管途中に設けられる第６
の開閉弁と、前記真空容器に第７の開閉バルブを介して
前記ガスを導入する第２のガス導入管とガス導入圧調整
器とを有する第２のガス導入系統とを備える真空排気装
置である。また、前記第２のガス導入管の口径は前記第
１のガス導入管の口径より大きいことが望ましい。
収納し処理する真空容器と、この真空容器と第１の配管
を介して接続される第１の開閉バルブと、この第１の開
閉バルブに第２の配管を介して接続される真空ポンプ
と、前記第１の配管と前記第２の配管との間に接続され
る第１のバイパス配管の途中に設けられる流量調節弁お
よび第３の開閉バルブと、前記真空容器に第４の開閉バ
ルブを介してガスを導入する第１のガス導入管を有する
第１のガス導入系統とを備える真空排気装置において、
前記真空容器と接続する第３の配管の開口を開閉する第
５の開閉バルブを介して接続される予備真空容器と、前
記真空ポンプと接続する前記第２の配管と前記予備真空
容器と接続する第４の配管の配管途中に設けられる第６
の開閉弁と、前記真空容器に第７の開閉バルブを介して
前記ガスを導入する第２のガス導入管とガス導入圧調整
器とを有する第２のガス導入系統とを備える真空排気装
置である。また、前記第２のガス導入管の口径は前記第
１のガス導入管の口径より大きいことが望ましい。
【０００７】
【実施例】次に本発明について図面を参照して説明す
る。
る。
【０００８】図１は本発明の一実施例の真空装置を示す
系統図である。この真空装置は、同図に示すように従来
より真空容器１に取付けられた真空排気系統及びガス導
入系統以外に、新たにガス導入系統であるよりコンダク
タンスの大きい大容量配管４、フィルタ２、バルブ３及
び減圧弁５と、真空排気系統である開閉用のバルブ１
０，１２及び予備真空容器１１とを設けたことである。
また、バルブ３を含むガス導入系統はバルブ６を含むガ
ス導入系統に比べ導入されるガス圧力が高く設定されて
いる。
系統図である。この真空装置は、同図に示すように従来
より真空容器１に取付けられた真空排気系統及びガス導
入系統以外に、新たにガス導入系統であるよりコンダク
タンスの大きい大容量配管４、フィルタ２、バルブ３及
び減圧弁５と、真空排気系統である開閉用のバルブ１
０，１２及び予備真空容器１１とを設けたことである。
また、バルブ３を含むガス導入系統はバルブ６を含むガ
ス導入系統に比べ導入されるガス圧力が高く設定されて
いる。
【０００９】従って、真空状態になっている真空容器１
にガスを導入する際には、新規に設けられたガス導入系
統の配管自体も太いため、バルブ３が開いた時に高圧の
導入ガスが急激に真空容器内に流れ込むことになる。ま
た、真空排気の際は、予め充分に真空排気された予備真
空容器１１をもつ真空排気系統のバルブ１３，バルブ１
２を開けることで、真空容器１内の気体が急激にある圧
力まで真空排気される。このような事象をとらえて、定
期的に、真空排気及びガス導入を新規に付加させた真空
排気系統及びガス導入系統を交互に動作させることによ
り、真空容器１に蓄積されたごみを一挙に舞い上らせ、
真空容器１の底にごみが落下しない内に真空容器外にご
みを排出することである。
にガスを導入する際には、新規に設けられたガス導入系
統の配管自体も太いため、バルブ３が開いた時に高圧の
導入ガスが急激に真空容器内に流れ込むことになる。ま
た、真空排気の際は、予め充分に真空排気された予備真
空容器１１をもつ真空排気系統のバルブ１３，バルブ１
２を開けることで、真空容器１内の気体が急激にある圧
力まで真空排気される。このような事象をとらえて、定
期的に、真空排気及びガス導入を新規に付加させた真空
排気系統及びガス導入系統を交互に動作させることによ
り、真空容器１に蓄積されたごみを一挙に舞い上らせ、
真空容器１の底にごみが落下しない内に真空容器外にご
みを排出することである。
【００１０】また、この実施例では、説明し易いよう
に、新に真空排気系統及びガス導入系統を設けたが、図
２に示す従来の真空排気系統及びガス導入系統を利用し
て、真空排気シーケンス及びガス導入シーケンスを変え
ることによって、同様の効果が得られる。すなわち、真
空排気動作及びガス導入動作の際に、バルブ１５とニー
ドルバルブ１４及びバルブ７とニードルバルブ８とを閉
じて動作させることである。
に、新に真空排気系統及びガス導入系統を設けたが、図
２に示す従来の真空排気系統及びガス導入系統を利用し
て、真空排気シーケンス及びガス導入シーケンスを変え
ることによって、同様の効果が得られる。すなわち、真
空排気動作及びガス導入動作の際に、バルブ１５とニー
ドルバルブ１４及びバルブ７とニードルバルブ８とを閉
じて動作させることである。
【００１１】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、真空容器
が試料を処理するとき以外に、より大きい容量をもつガ
ス導入系統とよりコンダクタンスの大きい真空排気系統
と交互に動作させることによって、真空容器内のごみが
多量に舞い上げられ、ごみが真空容器外に排出されるの
で、試料を汚染することのない真空装置が得られるとい
う効果がある。
が試料を処理するとき以外に、より大きい容量をもつガ
ス導入系統とよりコンダクタンスの大きい真空排気系統
と交互に動作させることによって、真空容器内のごみが
多量に舞い上げられ、ごみが真空容器外に排出されるの
で、試料を汚染することのない真空装置が得られるとい
う効果がある。
【図１】本発明の一実施例を示す真空装置の系統図であ
る。
る。
【図２】従来の一例を示す真空装置の系統図である。
１ 真空容器 ２ フィルタ ３，６，７，１０，１２，１３，１５ バルブ ４ 大容量配管 ８，１４ ニードルバルブ ５，９ 減圧弁 １１ 予備真空容器
Claims (2)
- 【請求項１】 試料を収納し処理する真空容器と、この
真空容器と第１の配管を介して接続される第１の開閉バ
ルブと、この第１の開閉バルブに第２の配管を介して接
続される真空ポンプと、前記第１の配管と前記第２の配
管との間に接続される第１のバイパス配管の途中に設け
られる流量調節弁および第３の開閉バルブと、前記真空
容器に第４の開閉バルブを介してガスを導入する第１の
ガス導入管を有する第１のガス導入系統とを備える真空
排気装置において、前記真空容器と接続する第３の配管
の開口を開閉する第５の開閉バルブを介して接続される
予備真空容器と、前記真空ポンプと接続する前記第２の
配管と前記予備真空容器と接続する第４の配管の配管途
中に設けられる第６の開閉弁と、前記真空容器に第７の
開閉バルブを介して前記ガスを導入する第２のガス導入
管とガス導入圧調整器とを有する第２のガス導入系統と
を備えることを特徴とする真空排気装置。 - 【請求項２】 前記第２のガス導入管の口径は前記第１
のガス導入管の口径より大きいことを特徴とする請求項
１記載の真空排気装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3040444A JP2704052B2 (ja) | 1991-03-07 | 1991-03-07 | 真空装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3040444A JP2704052B2 (ja) | 1991-03-07 | 1991-03-07 | 真空装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04281834A JPH04281834A (ja) | 1992-10-07 |
| JP2704052B2 true JP2704052B2 (ja) | 1998-01-26 |
Family
ID=12580817
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3040444A Expired - Lifetime JP2704052B2 (ja) | 1991-03-07 | 1991-03-07 | 真空装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2704052B2 (ja) |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6236737A (ja) * | 1985-08-09 | 1987-02-17 | Canon Inc | 光学系駆動装置 |
| JPS63232833A (ja) * | 1987-03-20 | 1988-09-28 | Hitachi Ltd | 真空装置の排気方法 |
| JPH01270933A (ja) * | 1988-04-25 | 1989-10-30 | Hitachi Ltd | 減圧処理装置 |
-
1991
- 1991-03-07 JP JP3040444A patent/JP2704052B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04281834A (ja) | 1992-10-07 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19970909 |