SU898122A1 - Высоковакуумное быстродействующее откачное устройство - Google Patents
Высоковакуумное быстродействующее откачное устройство Download PDFInfo
- Publication number
- SU898122A1 SU898122A1 SU752133545A SU2133545A SU898122A1 SU 898122 A1 SU898122 A1 SU 898122A1 SU 752133545 A SU752133545 A SU 752133545A SU 2133545 A SU2133545 A SU 2133545A SU 898122 A1 SU898122 A1 SU 898122A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- pump
- vacuum
- active suction
- pumped
- vacuum quick
- Prior art date
Links
Landscapes
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Description
(54) ВЫСОКОВАКУУМНОЕ БЫСТРОДЕЙСТВУЮЩЕЕ ОТКАЧНОЕ УСТРОЙСТВО
I
Изобретение относитс к вакуумной техНике , а именно к быстродействующим откачным устройствам.
Известны высоковакуумные быстродействуюшие откачные устройства, содержащиедиффузионный насос с тарельчатым затвором и соединенный с ним трубопроводом форвакуумный насос с расположенными на входе поворотной заслонкой и сорбционной ловушкой I).
Heдocтatкaми известных устройств вл ютс ограниченна производительность, а также значительное загр знение откачиваемого объема парами рабочих жидкостей насосов вследствие их миграции.
Целью изобретени вл етс повышение производительности и исключение миграции паров рабочих жидкостей насосов в откачиваемый объем.
Указанна цель достигаетс тем, что затвор дополнительно снабжен сорбционной лову1икой, размещенной в выполненном в тарели отверстии, и поворотна заслонка имеет капилл рное отверстие.
На чертеже представлена схема устройства .
бысоковакуумное быстродействующее откачное устройство содержит диффузионный iHacoc 1 с тарельчатым затвором 2 и соединенный с ним трубопроводом 3 форвакуумный насос 4 с расположенными на входе поворотной заслонкой 5 и сорбционной ловушкой б, причем затвор 2 дополнительно снабжен сорбционной ловушкой 7, размещенной в выполненном в тарели отверстии, и поворотна заслонка 5 имеет капилл рное отверстие S. Устройство соедин етс с откачиваемым объемом 9, имеющим напускной
10 вентиль 10.
Устройство работает следующим образом Газ из откачиваемого объема 9 удал етс диффузионным насосом I с рабочей жидкостью , стойкой к воздействию атмосферы в трубопровод 3, и оттуда - форвакуумным насосом 4. При необходимости кратковременной разгерметизации рабочего объема, например, дл замены какого-либо издели , тарельчатый затвор 2 и поворотна заслонка 5 наход тс в положении «закрыто.
20 При этом через отверстие 8 в форвакуумный .насос 4 .поступает ограниченное количество газа, что не приводит к срыву рабочего.
Claims (1)
- Формула изобретенияВысоковакуумное быстродействующее откачное устройство, содержащее диффузионный насос с тарельчатым затвором и соединенный с ним трубопроводом форвакуум5 ный насос с расположенными на входе поворотной заслонкой и сорбционной ловушкой отличающееся тем, что, с целью повышения производительности и исключения миграции паров рабочих жидкостей насосов в откачиваемый объем, затвор дополнительно 10 снабжен сорбционной ловушкой, размещенной в выполненном в тарели отверстии, и поворотная заслонка имеет капиллярное отверстие.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU752133545A SU898122A1 (ru) | 1975-05-15 | 1975-05-15 | Высоковакуумное быстродействующее откачное устройство |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU752133545A SU898122A1 (ru) | 1975-05-15 | 1975-05-15 | Высоковакуумное быстродействующее откачное устройство |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU898122A1 true SU898122A1 (ru) | 1982-01-15 |
Family
ID=20619214
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU752133545A SU898122A1 (ru) | 1975-05-15 | 1975-05-15 | Высоковакуумное быстродействующее откачное устройство |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU898122A1 (ru) |
-
1975
- 1975-05-15 SU SU752133545A patent/SU898122A1/ru active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2994740B2 (ja) | 脱気装置 | |
| GB1068165A (en) | Improvements in sorption vacuum pumps | |
| JP2005330967A (ja) | 軽量気体用真空ポンプシステム | |
| SU898122A1 (ru) | Высоковакуумное быстродействующее откачное устройство | |
| US2499158A (en) | Wide inlet rotary pump for circulating liquids under vacuum | |
| US3464223A (en) | Trap pump for vacuum system | |
| Roth | Vacuum technology. | |
| Latham et al. | An assessment of some working fluids for diffusion pumps | |
| US3156406A (en) | High vacuum pumping method and apparatus | |
| JPS63128542A (ja) | イオン打込装置 | |
| SU391286A1 (ru) | Сверхвысоковакуумная установка | |
| RU2099598C1 (ru) | Способ создания безмасляного вакуума | |
| Banning et al. | A convenient type of vacuum chamber for the evaporation of optical films | |
| US3278113A (en) | Vacuum pump | |
| SU1460410A1 (ru) | Вакуумна система | |
| Hilleret | Mechanical pumps | |
| SU767391A1 (ru) | Высоковакуумна установка | |
| Knor | Low gas pressures obtained by means of sorbents | |
| JPS6036791A (ja) | 清浄る高真空を得る方法 | |
| SU633547A1 (ru) | Устройство дл адсорбционного улавливани паров рабочей жидкости вакуумных насосов | |
| GB992236A (en) | Process and installation for extracting by condensation condensable vapours | |
| JPS5811074B2 (ja) | 真空装置における排気系 | |
| SU715877A1 (ru) | Клапанный узел дл вакуумного механического насоса | |
| JPH05180165A (ja) | 真空容器用真空排気装置 | |
| SU1232840A1 (ru) | Сорбционна ловушка |