SU391286A1 - Сверхвысоковакуумная установка - Google Patents

Description

1

Изобретение касаетс  вакуумной техники, в частности сверхвысоковакуумных установок , в которых неконденсируемые газы откачивают установленными в рабочем объеме криосорбционными насосами, охлаждаемыми л идким или газообразным гелием.

Известны сверхвысоковакуумные установки , содержащие герметичный корпус, внутри которого расположена теплоизолированна  охлаждаема  камера, снабженна  в рабочем объеме криосорбционным насосом.

Однако при разгерметизации камеры атмосферы воздействует на сорбент.

Целью изобретени   вл етс  предотвращение воздействи  атмосферы на сорбент разгерметизации рабочего объема установки.

Дл  этого криосорбционный насос помещен под кожух и дл  сообщени  насоса с рабочим объемом камеры в кожухе выполнено отверстие , перекрываемое отсечным клапаном при разгерметизации камеры.

Дл  снижени  теплового потока к криосорбц .иоппому насосу кожух снабжен змеевиком дл  циркул ции хладагента, и на входе в отверстие кожуха установлен оптически непрозрачный экран жалюзийного типа.

На чертеже показана описываема  сверхвысоковакуумна  установка.

В герметичном корпусе / расположена охлаждаема  камера 2 с крионасосом 3 и радиационным экраном 4. В рабочем объеме охлаждаемой камеры установлены криосорбционпый насос 5, расположенный под кожухом 6 с отверстием, перекрываемым отсечным клапаном 7. Кожух герметично соединен с днищем 8 охлаждаемой камеры. С нар жной стороны кожуха навит змеевик 9. Отверстие в кожухе защищено экраном 10 жалюзийного типа.

Герметичный корпус / соедин етс  клапаном 11 с насосами предварительного разрежени , рабочий объем камеры 2 при откачке его этими насосами сообщаетс  с межкамерным пространством посредством клапана 12.

Клапан 7 используют также и дл  перекрыти  входа откачного тракта 13, используемого при регенерации криосорбционного насоса 5. Камера 2 оборудована манометром 14 и датчиком массспектрометра 15, а криосорбционный насос 5 оснащен нагревателем 16 дл 

высокотемпературной регенерации сорбента.

Активаци  сорбента осуществл етс  через

клапан 17.

В процессе активации отверстие на кожухе 6 перекрываетс  клапаном 7, а откачка камер 1 и 2 насосами предварительного разрежени  ведетс  через клапан // (клапан 12 при этом открыт). При давлении в рабочем объеме тор камера 2 отсекаетс  от

межкамерного объема клананом 12. Клапан 7