SU1460410A1 - Вакуумна система - Google Patents

Abstract

Изобретение м.б. использовано в системах, включающих криогенные средства откачки. Цель изобретени  - улучшение откачных характеристик вакуумной системы, К форвакуумному насосу 1 подсоединено магистралью 2 с вентилем 3 криогенное откачивающее устр-во. Устр-во выполнено в виде размещенных в общем корпусе 4 конденсационной и криоадсорбционной ступеней , сообщенных внещним вакуум- проводом 5 с запорной арматурой 6,7. Конденсационна  ступень вьшолнена в виде кольцевого сосуда 8 дл  хладагента . Криоадсорбционна  ступень выполнена в виде кольцевой адсорбционной кассеты 9, закрепленной на внутренней стенке сосуда 8, что обеспечивает рациональньй ввод в действие и подготовку к работе каждой ступени. 1 ил.

Description

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкциям вакуумных систем, включающих криогенные средства откачки.

Цель изобретения - улучшение откачных характеристик.

На чертеже представлена схема вакуумной системы.

Вакуумная система содержит форвакуумный насос 1 и подсоединенное к нему магистралью 2 с вентилем 3 криогенное откачивающее устройство, выполненное в виде размещенных в общем корпусе 4 конденсационной и крио-15 адсорбционной ступеней, сообщенных между собой при помощи внешнего вакуумпровода 5 с запорной арматурой 6 и 7, причем конденсационная ступень выполнена в виде кольцевого сосуда 8 для хладагента, а криоадсорбционная ступень - в виде кольцевой адсорбционной кассеты 9, закрепленной на внутренней стенке сосуда 8

Система работает следующим образом.

Первоначально газ из откачиваемого объема (вакуумной камеры) откачивается насосом 1 через вакуумпровод 5, вентили 6 и 3 й магистраль 2. По достижении остаточного давления, соответствующего изменению режима течения газа в магистрали 2, в кольцевой сосуд 8 заливается жидкий азот и стенки этого сосуда выполняют функцию охлаждаемой ловушки, предотвращая попадание паров масла из форвакуумного насоса 1 в откачиваемый объем. После того, как давление в вакуумной камере достигнет предельного значения при работе насоса 1 с охлаждаемой ловушкой, вентили 3 и 6 закрываются, открывается вентиль 7 и вакуумная камера откачи5 вается через вакуумпровод 5 адсорбционной кассетой 9, которая в процессе работы насоса 1 и охлаждения сосуда 8 охлаждалась, подготавливаясь к работе. Для регенерации ад10 сорбционной кассеты 9 в сосуд 8 подается горячий воздух,а откачка десорбируемого газа осуществляется через вакуумпровод 5 и магистраль 2 форвакуумным насосом 1.

Таким образом, взаимная компоновка конденсационной и криоадсорбционной ступеней в вакуумной системе позволяет улучшить ее откачные характеристики за счет рационального ввода 20 в действие и подготовки к работе каждой ступени.

Claims (1)

1. Формула изобретения

   25 Вакуумная система, содержащая форвакуумный насос и подсоединенное к нему магистралью с вентилем криогенное откачиваемое устройство, выполненное в виде размещенных в об30 Чем корпусе конденсационной и криоадсорбционной ступеней, сообщенных между собой при помощи внешнего вакуумпровода с запорной арматурой, отличающаяся тем, что, с целью улучшения откачных характеристик, конденсационная ступень выполнена в виде кольцевого сосуда для хладагента, а криоадсорбционная ступень - в виде кольцевой адсорбционной кассеты, закрепленной на внутренней стенке сосуда.