SU1019103A1 - Способ откачки объема - Google Patents

Abstract

СПОСОБ ОТКАЧКИ ОБЪЕМА секционным криоадсорбционным насосом путем последовательной подачи хладагента в каждую секцию и поочередного отключени  последних от откачиваемого объема, отличающийс  тем, что, с целью сокращени  времени вакуумировани  объема насосом с пористыми экранами, секции отключают подачей в насос легкоконденсируемого газа с последующей конденсацией его в порах экрана . .

Description

S

(Л

о

isoA

СО

о оо

1 Изобретение относитс  к вакуумной технике . Наиболее близким к предлагаемому техническим решением  вл етс  способ откачки объема секционным криоадсорбционным насосом путем последовательной подачи хладагента в каждую секцию и поочередного отключени  последних от откачиваемого объема .(. Однако известный способ требует значительных затрат времени на достижение предельного вакуума вследствие использовани  механических средств отключени  секций от вакуумируемого объема. Целью изобретени   вл етс  сокращение времени вакуумировани  объема насосом с пористыми экранами. Указанна  цель достигаетс  тем, что согласно способу откачки объема секционным криоадсорбционным насосом путем последовательной подачи хладагента в каждую секцию и поочередного отключени  последних от откачиваемого объема, секции отключают подачей в насос легкоконденсируемого газа с последующей конденсацией его в порах экрана. На чертеже изображена схема криоадсорбционного насоса, работающего по предлагаемому способу. Секционный криоадсорбционный насос содержит корпус 1 с входным патрубком 2, посредством которого насос сообнХен с откачиваемым объемом 3. В корпусе 1 размещены отдельные крмоадсорбционные сек ции 4 с адсорбентом 5, защищенным от теплового излучени  тепловых стенок корпуса 1 пористым экраном 6. Дл  осуществлени  подачи легкоконденсируемого газа в насос на корпусе установлен вентиль 7. Насос работает следующим образом. В одну из секций 4 подаетс  хладагент, который охлаждает адсорбент 5 и пористый экран 6. По мере охлаждени  адсорбент поглощает газ, поступающий из объема 3. Достигнув насыщени  при определенном давлении адсорбент 5 прекращает поглощение газа. После насыщени  адсорбента 5 в первой секции 4 в насос через вентиль 7 подают легкоконденсируемый газ, например пары воды или углекислый газ, и конденсируют его в порах экрана 6. Затем подают хладагент во вторую секцию 4 насоса. Сконденсированный газ преп тствует десорбции адсорбированного газа. После насыщени  второй секции 4 вновь осуществл ют подачу легкоконденсируемого газа в насос . Далее все операции повтор ют в этой же последовательности. Если понижение давлени  проводить по известному способу, т. е. путем подачи хладагента в следующую секцию, то по мере понижени  давлени  в насосе условие равновеси  газа, наход щегос  в адсорбированном состо нии в первой секции, с давлением газа в насосе нарущаетс , что приводит к десорбции газа из этой секции, а следовательно , к ухудщению предельного вакуума , достигаемого насосом. Таким образом, отключение секций от вакуумируемого объема путем подачи в насос легкоконденсируемого газа и конденсации его в порах экрана значительно сокращает врем  вакуумировани . Кроме того, применение предлагаемого способа позвол ет также упростить конструкцию насоса ввиду исключени  механических устройств дл  отключени  секций от вакуумируемого объема.

Claims (1)

1. СПОСОБ ОТКАЧКИ ОБЪЕМА секционным криоадсорбционным насосом путем последовательной подачи хладагента в каждую секцию и поочередного отключения последних от откачиваемого объема, отличающийся тем, что, с целью сокращения времени вакуумирования объема насосом с пористыми экранами, секции отключают подачей в насос легкоконденсируемого газа с последующей конденсацией его в порах экрана. .