SU987169A1 - Криогенный форвакуумный насос - Google Patents

Description

(54) КРИОГЕННЫЙ ФОРВАКУУМНЫРТ НАСОС

1

Изобретение относитс  к вакуумной технике , а именно к устройству криогенных вакуумных Насосов.

Известен криогенный форвакууиный насос , содержащий корпус с размещенным. в его полости охлаждаемым конденсирующим элементом и сообщенный с корпусом посредством вентил  сборник жидкого конденсата 1.,

Недостатком известного насоса  вл ютс  невысокие откачные характеристики, вследствие накапливани  неконденсируемых газов, таких как гелий, неон, водород.

Цель изобретени  - улучшение откачных характеристик насоса.

Указанна -цель достигаетс  тем, что насос снабжен адсорбционным патроном, установленным в сборнике конденсата и сообщенным с полостью корпуса, а конденсирующий элемент выполнен в виде усеченного конуса, обращенного меньщим основанием к сборнику конденсата.

На чертеже схематически представлен предлагаемый насос, продольный разрез.

Криогенный форвакуумный насос содержит-корпус 1 с размещенным в его полости охлаждаемым конденсирующим элементом

2 и сообщенный с корпусом 1 посредством вентил  3 сборник 4 жидкого конденсата, причем насос снабжен адсорбционным патроном 5, установленным в сборнике 4 конденсата и сообщенным с полостью корпуса I, а конденсирующий элемент 2 выполнен в виде усеченного конуса, обращенного меньшим освнвванием к сборнику 4 конденсата . На трубопроводе, сообщающем патрон 5 с полостью корпуса 1, установлен вентиль 6.

Насос работает следующим образом.

При охлаждении конденсирующего элемента 2 до температуры сжижени  основных компонентов воздуха (кислорода, азота и аргона), колСпоненты начинают конден15 сироватьс  в жидкостью, стекающую в сборник 4 конденсата и охлаждающую установленный в сборнике адсорбционный патрон 5. Дальнейшее охлаждение элемента 2 приводит к конденсации газов в твердой фазе. При этом вентиль 3 закрываетс , отсека  сборник 4 от полости корпуса 1, а. вентиль 6 открываетс , сообц4а  патрон 5 с полостью корпуса 1. Дальн йщее понижение давлени  осуществл етс  -как путем вымораживани  основных составл ющих воздуха элементом 2, так и путем поглощени  неконденсируемых составл ющих воздуха адсорбентом в патроне 5.

Охлаждение элемента 2 осуществл етс  как подачей жидкого хладагента, так и контактом элемента со ступенью криогенератора .

Наличие адсорбционного патрона, сообщенного с полостью корпуса, позвол ет улучщить откачные характеристики насоса вследствие обеспечени  откачки неконденсируемых компонентов воздуха.

Claims (2)

1. Криогенный форвакуумный насос, содержащий корпус с размещенйым в его полости охлаждаемым конденсирующим элементом и сообщенный с корпусом посредством вентил  сборник жидкого конденсата , отличающийс  тем, .что, с целью улучшени  откачных характеристик, насос сйабжен адсорбционным патроном, установленным в сборнике конденсата и сообщенным с полостью корпуса.

2. Насос по п. 1, отличающийс  тем, что конденсирующий элемент выполнен в виде усеченного конуса, обращенного меньщим основанием к сборнику конденсата.

Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе 1. Авторское свидетельство СССР № 694656, кл. F 04 В 37/08, 1978.