RU1095737C - Диффузионный вакуумный насос - Google Patents

Abstract

ДИФФУЗИОННЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС. содержащ|«й корпус и концейтр(«4но размещенные в нем кольцевые 1сриогейныё панелм, снабженные трубками, подключёнными при помощи канала к и точнику криоагента, о т л и ч а to щ « и с   тем, что, с целью повышени  Fipefiei Horo вакуума насос смабж й лереох адителем, выполненным в виде сосуда, установленное го по оси корлусау а канал имеет участок, размещенный внутри сосуда.

Description

ел

CJ S4

Изобретение относитс  к вакуумной технике.

Известен диффузионный насос, содержащий корпус с соплом, размещенным по оси

Недостатком известного диффузионного вакуумного насоса  вл етс  сравнительно невысокое предельное остаточное давление, определ емое упругостью паров рабочего тела, истекающего из сопла при температуре жидкого азота. При использовании в качестве рабочего тела двуокиси углерода обычно удаетс  достичь предельного вакуума 1 -10 - 10 Торр.

Известен также диффузионный вакуумный насос, содержащий корпус и концентрично размещенные а нем кольцевые криогенные панели, снабженные трубками, подключенными при помойки канала к источнику криоагента.

Недостаток насоса - невысокое предельное остаточное дав/тение, например, на двуокиси углерода удаетс  подучить вакуум Ь10-6 Торр при охлажден14и криогенного экрана жидким азотом, кип щим под атмосферным давлением. При снижении температуры жидкого азота примерно на 10 К возможно получение преде ьного вакуума 1 10 - 5 10® Торр на -R же рабочем теле, но необходимость переохлаждени  жидкого азота, которое обычн ь осуществл етс  путем непрерывной паров над его поверхностью, значитедьй© увеличивает габариты насоса. Кроме того, при перекачке азота из автономного «ет)ника в насос необходима улучшенна  т лоизол ци  трубопроводов , в проти8«о случае путевые тепловые потери снижокут эффективность использовани  переохлажденного азота.

Целью изобретени   вл етс  повышег ние предельного вакуума.

Указанна  цель достигаетс  тем, что Диффузионный вакуумный насос, содержащей корпус и концентрично размещенные в нем кольцевые криогенные панели, снабженные трубками, подключенными при помощи канала к 44сточнику криоагента, снабжен переохладителем, выполненным в виде сосуда, установленного по оси корпуса , а канал имеет участок, размещенный внутри сосуда.

На чертеже изображен продольный разрез описываемого насоса.

Диффузионный вакуумный насос содержит корпус 1 и концентрично размещенные в нем кольцевые криогенные панели 2, снабженные трубками 3, подключёнными при помощи канала 4 к источнику 5 криоагента.

Насос снабжен переохладитедем выполненным в виде сосуда 6, установленного по оси корпуса 1, а канал 4 имеет участок, размещенный внутри сосуда 6,

К сосуду 6 подключен трубопровод откачки паров азота из полости сосуда б, В полости корпуса 1 размещен сопловой блок 7. ; :- . : :V:;V-;;; .:, : ;

Перед началом работы полость сосуда б откачиваетс  до 100-90Торр. Под действием перепада давлени  (между атмосферным в источнике 5 и пониженным в полости сосуда 6) жидкий азот поступает

из источника 5 по каналу 4 к трубкам 3 где он закипает и в виде двухфазной смеси поступает в полость сосуда 6,.

При вакуумированйи полости сосуда 6 над поверхностью жидкого азота, от челившегос  от паровой фазы отход щего потока хладагента, происходит понижение его темп ,ературы вплоть До 31амерзанй . При поддержании давлени  (коло 90 Торр температура ггереохлажденного азота будет

иметь величину, близкую к тройной точке, т.е. 63 К. Пр мой поток азота из источника 5, проход  по участку, расположенному в сосуде 6, омываемому снаружи переохлажденным азотом, переохлаждаетс  и поступает в трубки 3 криогенной панели 2, При захолаживании криогенной панели 2 в сопловой блок 7 подаетс  рабочее тело, например -двуокись углерода (Сра). Откачиваемый газ, диффундиру  в струю рабочего тела, сжимаетс  и переноситс  в сторону форвакуумного насоса. Рабочее тело, соприкаса сь с азоторхлаждаемыми поверхност ми криогенных панелей 2 и наружной поверхностью сосуда б, конденсируетс  и

накапливаетс  в в«дё сло  криоОсадка.

Размещение участка канала 4 в полости переохладител , вь полненного в виде сосуда 6, позвол ет уменьшить выбросы жидкой фазы хладагента в aт 4ocфepy путем ее отделени  от пара в этом сосуде и использовании дл  переохлаждени  г р мог6 потока жидкого азота, которое достигаетс путем oтkaчки парОв азота/

При расг1оложении переохладитёл  в

центральной части насбса по его оси по вилась возможность достичь минимальной длины каналов подачи переохлажденного азота на панели При минимальном загромождении рабочего сечени  насоса.

Кроме того, наличие во внутренней полости сосуда переохлажденного азота 410звол ет использовать его наружную поверхность в качестве поверхности конденсации рабочего тела.