SU1125403A2 - Криогенный конденсационный насос - Google Patents

Abstract

КРИОГЕННЫЙ КОНДЕНСА1ЩОННЫЙ НАСОС по авт.св. № 392268, отличающийс  тем, что, с целью сокращени  времени достижени  предельного вакуума, кольцева  диафрагма имеет отверстие с клапаном принудительного действи .

Description

Изобретение относитс  к вакуумной технике.

По основному авт.св. № 392268 известен криогенный конденсационньщ касос, содержащий корпус с размещенным в нем внутри охлс1ждаемого экрана откачивающим элементом, выполненный в виде сосуда. заполненного жидким газом, например гепием. В зоне днища сосуда установлена с минимальным зазором кольцева  диафрагма, имеюща  тепловой контакт с экраном Г13°

Недостатком известного криогенного конденсационнога насоса  вл етс.  значительное врем  достижени  предельного вакуума, вследствие длительного процесса переконденсации газа через узкую кольцевую щель между диафрагмой и днищем сосуда, что вли ет на снижение эффективности откачки„

Целью изобретени   вл етс  сокращение времени достижени  предельного вакуума,

Указанна  цель достигаетс  тем, что в криогенном конденсационном насосе , содержащем корпус с размещенны нем внутри охлаждаемого экрана откачивающим элементомJ выполненным,в виде сосуда, заполненного жидким газом , например гелием, установленную в зоне днищ  сосуда с минимальным зазором колы1;евую диафрагму, имекнцую тепловой контакт с экраном, кольцева диафрагма имеет отверстие с клапаном принудительного действи .

На чертеже изображен предлагаемый насос„

Криогенньв конденсационный насос содержит корпус t с размещенным в нем внутри охлаждаемого экрана 2 откачивающим элементом, вьшапненным в )зиде сосуда 3, заполненного жидким газом, например гелием. В зоне дншца сосуда 3 установлена с минимальным зазором кольцева  диафрагма 4, имеюща  тепловой контакт с экраном 2. Кольцева  диафрагма 4 снабжена отверстием 5 с клапаном 6 принудительного действи . Залив жиддого газа осуществл етс  через патрубок 7,

Насос работает следующим образом.

Через патрубок 7 в сосуд 3 заливают ожиженный газ. Откачиваемый газ конденсируетс  на днище сосуда 3, имеющем найменьщую температуру.

В первоначальный период откачки, когда в откачиваемом объеме (на чертеже не показан) имеетс  повышенное давление газа, часть газа все же проникает через узкий кольцевой зазор между диафрагмой 4 и днищем и конденсируетс  на участках сосуда 3, у которых более высока  температура,чем сама  низка  температура его днища. По мере понижени  давлени  в откачиваемом объеме происходит перекачка газа, первоначально скон;: енсировавшегос  на относительно тепльЬс поверхност х , через кольцевой зазор на наиболее холодную поверхность сосуда 3 (его днище).

Дл  того, чтобы сократить врем  переконденсации газа, в момент достижени  давлени  в откачиваемом объеме до величины 1 мм.рт.с открьшаетс  отверстие 5.

Поскольку отверстие 5 имеет достаточно большую площадь (в сотни раз превышак цую площадь кольцевого зазора ) , то через него происходит ускоренна  перекачка газа, ранее сконденсировавшегос  на более теплых поверх нсст х сосуда 3, на днище этого сосуда . I

Таким образом, выполнение отверсти  в кольцевой диафрагме позвол ет значительно ускорит процесс переконденсации газа, а следовательно, повысить эффективность откачки.

Claims (1)

1. КРИОГЕННЫЙ КОНДЕНСАЦИОННЫЙ НАСОС по авт.св. № 392268, отличающийся тем, что, с целью сокращения времени достижения предельного вакуума, кольцевая диафрагма имеет отверстие с клапаном прину-