SU1110928A1

SU1110928A1 - Криогенный конденсационный насос

Info

Publication number: SU1110928A1
Application number: SU833645801A
Authority: SU
Inventors: Иван Дмитриевич Абушенков; Вадим Константинович Чернецкий; Владимир Яковлевич Ильичев
Original assignee: Физико-технический институт низких температур АН УССР
Priority date: 1983-09-26
Filing date: 1983-09-26
Publication date: 1984-08-30

Abstract

КРИОГЕННЫЙ КОНДЕНСАЦИОННЫЙ НАСОС, содержащий корпус с размещенным в нем внутри охлаждаемого экрана откачивающим элементом, выполненным в виде сосуда, и кольцевую диафрагму, отличающийс тем, что, с целью повыщени быстроты действи , откачивающий элемент снабжен дополнительным сосудом, размещенным в его нижней части и соединенным с ним посредством патрубка, а кольцева диафрагма установлена с минимальным зазором относительно патрубка. ел со Is:) 00

Description

Изобретение относитс к вакуумной технике .

Известен криогенный конденсационный насос, содержащий корпус с размещенным в нем внутри охлаждаемого экрана откачивающим элементом, выполненным в виде сосуда, и кольцевую диафрагму 1.

Недостатки известного криогенного конденсационного насоса - сравнительно большой периметр, а также больша площадь зазора между кольцевой диафрагмой и днищем сосуда. Поэтому откачиваемый газ имеет хороший доступ через этот зазор к участкам откачивающего элемента насоса, у которых более высока температура, чем сама низка температура конденсирующей поверхности . В результате по мере понижени давлени происходит перекачка газа, первоначально сконденсировавшегос на относительно теплых поверхност х, на более холодные через упом нутый зазор между кольцевой диафрагмой и днищем откачивающего элемента (сосуда), что приводит к увеличению времени получени предельного вакуума.

Целью изобретени вл етс повышение быстроты действи .

Указанна цель достигаетс тем, что в криогенном конденсационном насосе, содержащем корпус с размещенным в нем внутри охлаждаемого экрана откачивающим элементом, выполненным в виде сосуда, и кольцевую диафрагму, откачивающий элемент снабжен дополнительным сосудом, размещенным в его нижней части и соединенным с ним посредством патрубка, а кольцева диафрагма установлена с минимальным зазором относительно патрубка.

На чертеже изображен предлагаемый насос, продольный разрез.

Криогенный конденсационный насос содержит корпус 1 с размещенным в нем внутри охлаждаемого экрана 2 откачивающим элементом, выполненным в виде сосуда 3, и кольцевую диафрагму 4. Откачивающий элемент снабжен дополнительным сосудом 5, размещенным в его нижней части и соединенным с ним посредством патрубка 6, а кольцева диафрагма 4 установлена с минимальньш зазором относительно патрубка 6.

Насос работает следующим образом.

Заполн ют экран 2 жидким азотом, а сосуд 3 ожиженным газом с более низкой температурой кипени . Откачиваемый газ конденсируетс на поверхности дополнительного сосуда 5, площадь которой больше площади днища откачивающего элемента, в св 0 зи с чем обеспечиваетс повыщенна быстрота действи насоса.

Поскольку Диаметр патрубка 6 имеет сравнительно малый диаметр, периметр и площадь кольцевого зазора между диафраг5 мой 4 и патрубком 6 не велики. Поэтому соответственно мал поток газа через упом нутый кольцевой зазор к участкам сосуда 3, имеющим более высокую температуру, чем температура его днища. В результате по мере понижени давлени практически отсутст0 вует и обратна перекачка через упом нутый зазор газа, первоначально сконденсировавшегос в весьма малом количестве на относительно теплых поверхност х.

Claims

КРИОГЕННЫЙ КОНДЕНСАЦИОННЫЙ НАСОС, содержащий корпус с размещенным в нем внутри охлаждаемого экрана откачивающим элементом, выполненным в виде сосуда, и кольцевую диафрагму, отличающийся тем, что, с целью повышения быстроты действия, откачивающий элемент снабжен дополнительным сосудом, размещенным в его нижней части и соединенным с ним посредством патрубка, а кольцевая диафрагма установлена с минимальным зазором относительно патрубка.