SU992813A2 - Криогенный конденсационный насос - Google Patents

Description

(54) КРИОГЕННЫЙ КОНДЕНСАЦИОННЫЙ НАСОС

Изобретение относитс  к вакуумной технике.

По основному авт.св. № 623989 известен криогенный конденсационный насосу содержавши корпус с расположенными внутри конденсационным элементом в виде змеевика и поддоном дл  сбора конденсата, при этом змеевик закреплен с тепловьм контактом на поверхности сосуда с хладагентом и один конец змеевика терметично введен в его внутреннкио полость и расположен выше уровн  хладагента, а второй герметично выведен из корпуса и снабжен запорным устройством Ci.

К недостатку известного насоса следует отнести большой расход гели  за счет теплопроводности газа, заполн ющего насос, и на предварительное охлаждение конденсационных элементов даже при эффективном использовании энтальпии паров.

Кроме того, он обладает малой быстротой действи , что объ сн етс  уменьшением быстроты откачки на верхних участках каждого витка змеевика.

Цель изобретени  - увеличение быстроты действи  насоса-и повыление экономичности.

Указанна  цель достигаетс  тем, что в криогенном конденсационном насосе, содержащем корпус с расположенными внутри конденсационным. элементом в виде змеевика и поддоном дл  сбора конденсата, при этом змеевик закреплен с тепловым контактом . на поверхности сосуда с хладагентом, и один конец змеевика геЕметично вве10 ден в его внутреннюю полость и расположен выше уровн  хладагента, а второй герметично выведен из корпуса и снабжен запорным устройством, на поверхности сосуда с хладагентом

15 закреплен с тепловым контактом дополнительный змеевик, входной конец которого герметично выведен из корпуса и снабжен заливочным патрубком с криогенным вентилем и трубопрово20 дом, подсоединенным к входу насоса, выходной, конец герметично Ъведен в поддон, а последний герметично закреплен на сосуде.

При этом насос снабжен откачивгио25 щим элементом, выполненным в виде кассеты с адсорбентом.

С целью повышени  экономичности при откачке газов с низкой температурой конденсации, кассета размещена

Claims (4)

1. 30 на наружной поверхности змеевиков. С целью повышени  экономичности при откачке газов с высокой темперр1 турой конденсации, кассета размещена на экране. На фиг.1 изображен насос, продол ный разрез; на фиг. 2 - то же,, с рез мещением адсорбционной кассеты на экране. Криогенный конденсационный насос содержит корпус 1 с расположенными внутри конденсационным элементом в виде змеевика 2 и поддоном 3 дл  сбора конденсата. Змеевик 2 закрепл с тепловым контактом на поверхности сосуда 4 с хладагентом, и один коне змеевика 2 герметично введен в его внутреннюк полость и расположен выше уровн  хладагента, а второй герметично выведен из корпуса 1 и снаб жен запорным устройством 5. На поверхности сосуда 4 с хладагентом закреплен с тепловым контак том дополнительный змеевик 6, входной конец которого герметично выведен из корпуса 1 и снабжен заливочным патрубком 7. с криогенным вентилем 8 и трубопроводом 9 с клапаном 10, подсоединенным к входу насоса, выходной конец герметично введен в поддон 3, а последний герметично закреплен на сосуде 4. Насос снабжен откачивающим элементом, выполне ным в виде кассеты 11 с адсорбентом Кассета 11 может быть размещена на наружной, поверхности змеевиков 2 и 6-или на поверхности охватывающего сосуд 4 охлаждаемого экрана 12 Предлагаемый насос работает следуюцим образом. Подключают насос к откачиваемому объему и заполн ют азотом экран 12. Затем при закрытом клапане 10 подают жидкий азот по дополнительному змеевику 6. При этом пары азота выход т в атмосферу. При подаче жидкого азота по допо нительному змеевику б температура сосуда 4 дл  жидкого хладагента понижаетс  и при достижении -00 К подача азота прекращаетс , клапан 10 закрывают. Далее под некоторым избыточным давлением из переносного сосуда Дьюара с жидким хладагентом .всосуд 4 подают жидкий гелий, водород или неон. За счет испарени  Ясидкого хладагента в сосуде 4 змеев ки 2 и б вместе с поддоном 3 охлаждаютс  ниже температуры конденсации газа, заполн ющего насос или от чиваемый объем, причем через змеевик 2 прокачиваетс  только пар хлад аг&нта. При этом открывают клапан 1 и воздух из откачиваемого объема на нает конденсироватьс  в жидкую фазу на внутренней поверхности дополните ного змеевика б. Дальнейшее понижение давлени  осуществл етс  за счет вымораикивани  откачиваемого газа на наружных стенках сосуда 4, змеевиков 2 и б и сорбции газа адсорбентом в кассете .11. Предла 7аемый криогенный конденсационный насос позвол ет получать в откачиваемом объеме вакуум в интервале давлений 760-10 ®торри ниже с малым расходом хладагента по сравнению с другими криогенными насосами за счет предварительного охлаждени  конденсационных элементов и сосуда дл  хладагента с помощью жидкого азота, подаваемого из внешнего источника и эффективного использовани  энтальпии паров хладагента. Предлагаемое изобретение позвол ет использовать дл  откачки объема от атмосферного давлени  до сверхвысокого вакуума один насос вместо комбинации насосов предварительного разрежени  и высоковакуумных насосов , что значительно упрощает эксплуатацию вакуумной установки и сокращает количество обслуживающего персонала. Формула изобретени  1.Криогенный конденсационный насос по авт.св. № 623989, отличающийс  тем, что, с целью увеличени  быстроты действи  и повышени  экономичности, на поверхности сосуда с хладагентом закреплен с тепловым контактом дополнительный змеевик, входной конец которого герметично выведен из корпуса и снабжен заливочным патрубком с криогенным вентилем и трубопроводом, подсоединенным к входу насоса, выходной конец герметично введен в поддон, а последний герметично закреплен на сосуде .
2. 2.Насос ПОП.1, отличающийс  тем/ что он снабжен откачиван цим элементом, выполненным в виде кассеты с адсорбентом.
3. 3.Насос по пп. 1 и 2, отличающийс  тем, что, с целью повышени  быстроты действи  при откачке газов с низкой температурой конденсации, кассета размещена на наружной поверхности змеевиков.
4. 4.Насос по пп,1 и 2, о т л ичающ .ийс  тем, что, с цельюповышени  быстроты действи  при откачке газов с высокой температурой конденсации, кассета размещена на экране. Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе 1. Авторское свидетельство СССР №623989, кл. F 04 Б 37/08, 1977.