SU1668723A1

SU1668723A1 - Способ получени вакуума и устройство дл его осуществлени

Info

Publication number: SU1668723A1
Application number: SU894717991A
Authority: SU
Inventors: Владимир Афанасьевич Дрямов; Владимир Иванович Куприянов; Георгий Иванович Сайдаль; Анатолий Дмитриевич Шнырев
Original assignee: Балашихинское научно-производственное объединение криогенного машиностроения им.40-летия Октября
Priority date: 1989-07-11
Filing date: 1989-07-11
Publication date: 1991-08-07

Abstract

Изобретение может быть использовано в способах получени вакуума криоконденсационными средствами откачки и в конструкци х этих средств. Цель изобретени - повышение предельного вакуума. Подают откачиваемый газ во всасывающий патрубок 2 корпуса 1. Газ предварительно охлаждают в теплообменнике 4. Конденсируют его на поверхности откачивающего элемента 5 и собирают конденсат в сборнике 6. После сбора конденсата подачу откачиваемого газа прекращают. Нагревают конденсат вспомогательным газом в нагревателе 8 до температуры, соответствующей давлению насыщенных паров конденсата. Аккумулируют холод паров конденсата и вспомогательного газа в теплообменнике 4. Отвод т пары конденсата в атмосферу, после чего возобновл ют подачу откачиваемого газа в патрубок 2. 2 с. и 2 з.п. ф-лы, 1 ил.

Description

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к способам получения вакуума криоконденсационными средствами откачки, а также к конструкциям этих средств.

Целью изобретения является повышение предельного вакуума.

На чертеже представлена схема откачного устройства, осуществляющего предлагаемый способ.

Устройство для получения вакуума содержит корпус 1 с всасывающим патрубком 2 и размещенные в корпусе 1 сосуд 3 для хладагента и последовательно расположенные по ходу откачиваемого газа теплооб.менник 4 предварительного охлаждения газа, откачивающий элемент 5 и сборник 6 конденсата. Устройство дополнительно содержит источник вспомогательного газа, всасывающий патрубок 2 снабжен вентилем 7, сообщенным с атмосферой, сборник 6 конденсата - нагревателем 8 с подводящим и отводящим трубопроводами 9 и 10, а теплообменник 4 - теплоаккумулирующим элементом 11, расположенным на входе откачиваемого газа. Подводящий трубопровод 9 нагревателя 8 подключен к источнику вспомогательного газа, а отводящий трубопровод 10 сообщен с теплоаккумулирующим элементом 11 и герметично выведен из корпуса 1. Нагреватель 8 закреплен на днище сборника 6 конденсата, а источник вспомогательного газа выполнен в виде компрессора 12 с внешним теплообменником 13 на линии всасывания, причем подводящий трубопровод 9 нагревателя 8 подключен к линии нагнетания компрессора 12, а отводящий трубопровод 10-к внешнему теплообменнику 13.

Устройство работает следующим образом,

Газ из откачиваемого объема поступает через всасывающий патрубок 2 в полость корпуса 1, где охлаждается, взаимодействуя с поверхностями теплообменника 4, а затем конденсируется на поверхностях откачивающего элемента бив виде жидкого конденсата стекает в сборник 6. По мере накопления конденсата в сборнике 6 происходит и накопление неконденсирующихся компонентов откачиваемого газа в полости корпуса 1. К таким компонентам при использовании в качестве хладагента для откачивающего элемента 5, например жидкого неона, относятся неон, водород и гелий, содержащиеся в атмосферном воздухе. Неконденсирующие ι компоненты, с одной стороны, не позволяют повысить предельный вакуум, достигаемый устройством, с другой стороны, препятствуют кон денсации других компонентов, ухудшая откачные характеристики устройства в целом. Для преодоления этих негативных условий подача откачиваемого газа в корпус 1 устройства прекращается, включается компрессор 12 и в нагреватель 8 по трубопроводу 9 подается вспомогательный газ, обеспечивающий нагрев конденсата в сборнике 6. Нагрев до температуры, соответствующей атмосферному давлению насыщенных паров конденсата, обеспечивает условия, необходимые для сброса паров конденсата в атмосферу через вентиль 7. При этом пары конденсата вытесняют из полости корпуса 1 неконденсирующиеся компоненты откачиваемого газа. Одновременно пары конденсата охлаждают теплоаккумулирующий элемент 11, который также охлаждается и отводимым по трубопроводу 10 вспомогательным газом, В результате создается еще одна ступень для предварительного охлаждения откачиваемого газа благодаря размещению теплоаккумулирующего Элемента на входе газа. Вспомогательный газ из отводящего трубопровода 10 поступает во внешний теплообменник 13, где подогревается перед входом в компрессор 12. а далее вновь подается в нагреватель 7, т.е. для вспомогательного газа создан · циркуляционный контур, исключающий его потери.

Удаление неконденсируемых компонентов откачиваемого газа из корпуса позволяет при последующем включении устройства в работу повысить предельный вакуум, а также обеспечить стабильность откачных характеристик.

Claims

Формула изобретения

1. Способ получения вакуума путем подачи откачиваемого газа во всасывающий патрубок откачного у ройства, предварительного охлаждения откачиваемого газа, конденсации его на поверхности откачиваемого элемента и сбора конденсата, отличающийся тем, что, с целью повышения предельного вакуума, после сбора конденсата подачу откачиваемого газа прекращают, нагревают конденсат вспомогательным газом до температуры, соответствующей давлению насыщенных паров конденсата, аккумулируют холод паров конденсата и вспомогательного газа в теплообменнике, отводят пары конденсата в атмосферу, после чего возобновляют подачу откачиваемого газа во всасывающий патрубок откачного устройства.
2. Устройство для получения вакуума, содержащее корпус с всасывающим патрубком и размещенные в корпусе сосуд для хладагенУа и последовательно расположенные по ходу откачиваемого газа теплооб5 менник предварительного охлаждения, откачивающий элемент и сборник конденсата, отличающееся тем. что, с целью повышения предельного вакуума, устройство дополнительно содержит источник вспомогательного газа, всасывающий патрубок снабжен вентилем, сообщенным с атмосферой, сборник конденсата - нагревателем с подводящим и отводящим трубопроводами, а теплообменник - теплоаккумулирующим элементом, расположенным на входе откачиваемого газа, причем подводящий трубопровод нагревателя подключен к источнику вспомогательного газа, а отводя щий трубопровод сообщен с теплоаккумулирующим элементом и герметично выведен из корпуса,
3. Устройство по п. 1,о тл ичающее5 с я тем, что нагреватель закреплен на дни ще сборника конденсата.
4, Устройство по п.2. οι личающеес я тем. что источник вспомогательного газа выполнен в виде компрессора с внеш-

10 ним теплообменником на линии всасывания, причем подводящий трубопровод нагревателя подключен к линии нагнетания компрессора, а отводящий трубопровод - к внешнему теплообменнику.