SU1344938A1 - Способ получени вакуума и устройство дл его осуществлени - Google Patents

Abstract

Изобретение м.б. использовано в криогенных конденсационных форвакуумньпк насосах. Цель изобретени  - уменьшение времени достижени  нредельного вакз ума. Между теплообменником (ТО) 4 предварительного охла;вдени  газа и откачивающим элементом установлен промежуточный ТО 8. В сборнике 7 жидкого конденсата размещен второй трубчатый ТО 9, сообщенный с сосудом.3 дл  хладагента трубным пространством 10. Криогенный насос 1I подключен к пространству 10 и сосуду 3. Предварительно охлаждают откачиваемый газ в ТО 4, а затем до т-ры насьш1ерш  в ТО 8, кон- денсирлтет его на поверхности откачивающего элемента и собирают конденсат в сборнике 7, причем конденсат охлаждают до т-ры хладагента в сосуде 3. ТО 9 интенсифицирует охлаждение конденсата и уменьшает испарение газа с поверхности конденсата. 2 с,п. (Ь-льи i ил. о (Л . насосу ХМент1 jfoftffeHCffm 1 Капеао I - ,/i СО со со 00

Description

Изобретение относитс  к вакуумной технике и может быть использовано в криогенных конденсационных форваку- умньк насосах.

Целью изобретени   вл етс  уменьшение времени достижени  предельного вакуума.

Н чертеже изображено устройство дл  реализации предлагаемого способа получени  вакуума.

Устройство дл  получени  вакуума содержит корпус 1 с всасьшающим патрубком 2, размещенный в корпусе 1 со10

НИН газа, а затем охлаждаетс  до температуры насыщени  в промежуточном теплообменнике 8, Попада  в откачивающий элемент, газ конденсируетс  и .стекает в сборник 7 конденсата. Во врем  откачки конденсат стекает в сборник 7 при температуре насьпце- ни . По мере снижени  давлени  газа в устройстве температура пленки конденсата понижаетс . Одновременно уменьшаетс  масса конденсата, образующегос  в откачивающем элементе. Теплообменник 9 интенсифицирует охлажсуд 3 дл  хладагента, последовательно 15 дение конденсата в сборнике 7 до тем- расположенные по ходу откачиваемого газа теплообменник 4 предварительного охлаждени  газа и откачивающий элемент, выполненный в виде трубчатого теплообменника 5, межтрубное про- 20 странство 6 которого сообщено с сосудом 3, и сборник 7 конденсата, причем устройство дополнительно содержит промежуточный теплообменник 8, установленный между теплообменником 4 пред- 25 варительного охлаждени  газа и откачивающим элементом, второй трубчатый теплообменник 9, размещенный в сборнике 7 жидкого конденсата и сообщенный с сосудом 3.трубным пространст- 30 вом 10, и подключенный к последнему и сосуду 3 криогенный насос 11,

Способ получени  вакуума осуществл ют следующим образом.

Предварительно охлаждают откачи- За ваемый газ в теплообменнике 4, конденсируют его на поверхности откачивающего элемента и собирают конденсат в сборнике 7, причем охлаждают

пературы хладагента в .сосуде 3, снижает испарение газа с поверхности конденсата. В результате уменьшаетс  врем  достижени  предельного вакуума .

Формула ИЗ обретени 

1.Способ получени  вакуума путем предварительного охлаждени  откачиваемого газа в теплообменнике, конденсации его на поверхности откачивающего элемента и сбора конденсата , о тличающийс  тем, что, с целью уменьшени  времени достижени  предельного вакуума, охлаждение откачиваемого газа осуществл ют до температуры насыщени , а конденсат охлаждают до температуры хладагента.

2.Устройство дл  получени  вакуума , содержащее корпус с всасьшающим патрубком, размещенный в корпусе сосуд дл  хладагента, последовательоткачиваемый газ до температуры насы- 40 «« расположенные по ходу откачиваемо;- щени , а конденсат охлаждают до температуры хладагента.

При работе сосуд 3 и межтрубное пространство 6 теплообменника 5 заполн ют хладагеАтом, охлажда  откачивающий элемент, а также теплообменник 4 предварительного охлаждени , промежуточный теплообменник 8 и второй трубчатый теплообменник 9. Включают криогенный насос 11,хладагент начинает циркулировать внутри сосуда 3. Температуру хладагента, в сосуде 3 понижают до рабочего значени . Соедин ют камеру с форвакуумным насосом (не показан). Газ из камеры поступает во всасывающий патрубок 2 и предварительно охлаждаетс  в теплообменнике 4 предварите гэного охлаждего газа теплообменник предварительного охлаждени  газа и откачивающий элемент, выполненный в виде трубчатого теплообменника, межтрубное про45 странство которого сообщено с сосудом , и сборник конденсата, отличающеес  тем, что, с целью уменьшени  времени достижени  предельного вакуума, устройство допол50 нительно содержит промежуточный теплообменник , установленный между теплообменником предварительного охлаждени  газа и откачивающим элементом, второй трубчатый теплообменник, раз55 мещенный в сборнике жидкого конденсата и сообщеншэш с сосудом трубным пространством,и подключенный к последнему и сосуду криогенный насос.

НИН газа, а затем охлаждаетс  до температуры насыщени  в промежуточном теплообменнике 8, Попада  в откачивающий элемент, газ конденсируетс  и .стекает в сборник 7 конденсата. Во врем  откачки конденсат стекает в сборник 7 при температуре насьпце- ни . По мере снижени  давлени  газа в устройстве температура пленки конденсата понижаетс . Одновременно уменьшаетс  масса конденсата, образующегос  в откачивающем элементе. Теплообменник 9 интенсифицирует охлаждение конденсата в сборнике 7 до тем-

пературы хладагента в .сосуде 3, снижает испарение газа с поверхности конденсата. В результате уменьшаетс  врем  достижени  предельного вакуума .

Формула ИЗ обретени 

1.Способ получени  вакуума путем предварительного охлаждени  откачиваемого газа в теплообменнике, конденсации его на поверхности откачивающего элемента и сбора конденсата , о тличающийс  тем, что, с целью уменьшени  времени достижени  предельного вакуума, охлаждение откачиваемого газа осуществл ют до температуры насыщени , а конденсат охлаждают до температуры хладагента.

2.Устройство дл  получени  вакуума , содержащее корпус с всасьшающим патрубком, размещенный в корпусе сосуд дл  хладагента, последователь«« расположенные по ходу откачиваемо;-

го газа теплообменник предварительного охлаждени  газа и откачивающий элемент, выполненный в виде трубчатого теплообменника, межтрубное пространство которого сообщено с сосуом , и сборник конденсата, отличающеес  тем, что, с целью уменьшени  времени достижени  преельного вакуума, устройство дополнительно содержит промежуточный теплообменник , установленный между теплообменником предварительного охлаждени  газа и откачивающим элементом, второй трубчатый теплообменник, размещенный в сборнике жидкого конденсата и сообщеншэш с сосудом трубным пространством,и подключенный к последнему и сосуду криогенный насос.

Claims (2)

1. Формула изобретения

   1. Способ получения вакуума пу-

   25 тем предварительного охлаждения откачиваемого газа в теплообменнике, конденсации его на поверхности откачивающего элемента и сбора конденсата, отличающийся тем,

   30 что, с целью уменьшения времени достижения предельного вакуума, охлаждение откачиваемого газа осуществляют до температуры насыщения, а конденсат охлаждают до температуры ₃₅ хладагента.
2. 2. Устройство для получения вакуума, содержащее корпус с всасывающим патрубком, размещенный в корпусе сосуд для хладагента, последователь-

   40 но расположенные по ходу откачиваемсгго газа теплообменник предварительного охлаждения газа и откачивающий элемент, выполненный в виде трубчатого теплообменника, межтрубное про45 странство которого сообщено с сосудом, и сборник конденсата, отличающееся тем, что, с целью уменьшения времени достижения предельного вакуума, устройство допол50 нительно содержит промежуточный теплообменник, установленный между теплообменником предварительного охлаждения газа и откачивающим элементом, второй трубчатый теплообменник, раз55 мещенный в сборнике жидкого конденсата и сообщенный с сосудом трубным пространством,и подключенный к последнему и сосуду криогенный насос.