SU1716190A1 - Низковакуумный крионасос - Google Patents
Низковакуумный крионасос Download PDFInfo
- Publication number
- SU1716190A1 SU1716190A1 SU904776535A SU4776535A SU1716190A1 SU 1716190 A1 SU1716190 A1 SU 1716190A1 SU 904776535 A SU904776535 A SU 904776535A SU 4776535 A SU4776535 A SU 4776535A SU 1716190 A1 SU1716190 A1 SU 1716190A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- vessel
- heat exchanger
- section
- cryoagent
- sections
- Prior art date
Links
Landscapes
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Abstract
Изобретение позвол ет улучшить откач- ные характеристики и снизить энергозатраты низковакуумного крионасоса. В корпусе 1 с всасывающим патрубком 2 размещён сосуд 3 Дл криоагента. Последовательно расположены по ходу откачиваемого газа теплообменник 4 предварительного охлаждени газа, промежуточный теплообменник 5, откачивающий элемент 6 и сборник 7 конденсата . Сосуд 3 выполнен двухсекционным и снабжен вертикальной трубой 8, соедин ющей верхнюю и нижнюю секции 8, 9. Теплообменник 11 размещен в нижней части секции 9, его вход подключен к паровому пространству секции 10, выход выведен из корпуса 1. Секци 9 снабжена клапаном 12 с коническим уплотнением, контактирующим с верхней частью трубы 8, секци 10 - кюветой 13, жестко закрепленной на нижней части трубы 8. Теплообменник 5 и элемент б расположены в секции 10 в паровом и жидкостном пространстве соответственно . 1 ил.
Description
Изобретение относитс к области вакуумной техники, а в частности к форвакуум ным конденсационным насосам дл систем безмасл ной откачки вакуумных установок. , Целью изобретени вл етс улучшение откачных характеристик и снижение энергозатрат.
На чертеже представлена схема крионасоса .. .- : :Низковакуумный крионасос содержит корпус 1 с всасывающим патрубком 2, размещенный в корпусе 1 сосуд 3 дл криоагента и последовательно расположенные по ходу откачиваемого газа теплообменник 4 предварительного охлаждени газа, промежуточный теплообменник 5, откачивающий элемент 6 и сборник конденсата 7. Сосуд выполнен двухсекционным и крионасос дополнительно снабжен вертикальной трубой 8, соедин ющей верхнюю и нижнюю секции 9 и 10 сосуда 3 дл криоагента, и дополнительным теплообменником 11, размещенным в нижней части верхней секции 9, вход которого подключен к паровому пространству нижней секции 10 сосуда 3, а выход выведен из корпуса 1. Верхн секци . 9 сосуда 3 снабжена клапаном 12 с коническим уплотнением, контактирующим с верхней частью вертикальной трубы 8, нижн секци 10 сосуда 3 кюветой 13. жестко закрепленной на нижней части вертикальной трубы 8, а промежуточный теплообменник 5 и откачивающий элемент 6 расположены в нижней секции 10 сосуда 3, в паровом и жидкостном пространстве соответственно. Крионасос также содержит патрубок 14-лл
XI
С
Ю О
заливки криоагента в сосуд 3, патрубок 15 дл откачки паров криоагента, клапаны 16 и 17 слива криоагента и конденсата газа по окончании работы.
Крионасос работает следующим образом . Верхнюю секцию 9 сосуда 3 заполн ют жидким криоагентом через заливной патрубок 14, При этом охлаждаютс трубки предварительного теплообменника 4 и дополнительного азотного теплообменника 11. Открываетс клапан 12, имеющий коническое уплотнение, и криоагент из верхней секции 9 по трубе 8, снабженной отверсти ми в нижней части, поступает в кювету 13, наход щуюс в нижней секции 10 сосуда 3 дл криоагента.
При этом производ т вакуумирование нижней секции 10 через патрубок 15 механическим насосом. Жидкий криоагент, поступа в кювету 13, кипит в ней и охлаждаетс до равновесной температуры. Активное перемешивание криоагента пузырьками пара и стру ми, вытекающей из отверсти жидкости, способствует интенсификации процесса охлаждени , В тех случа х , когда жидкость имеет равновесную температуру, недостаточную дл возникновени процесса кипени , охлаждение криоагента происходит путем испарени в. периферийной части кюветы, где толщина сло - охлаждающейс жидкости невелика. Это позвол ет проводить охлаждение до равновесной температуры всей массы криоагента , далее поступающего к откачивающему элементу 6. Данный эффект подчеркиваетс также тем, что при сливе , криоагента с кюветы 13 на дно нижней секции 10 попадает только тонкий поверхностный слой криоагента, который всегда достаточно охлажден как при пузырьковом кипении, так и при поверхностном испарении . Пары криоагента охлаждают трубки промежуточного теплообменника 5, а затем ,; проход по трубкам теплообменника 11, жидкий криоагент, наход щийс в верхней секции 9, после чего откачиваютс механическим насосом, подключенным к патрубку 15. Применение двухсекционного сосуда 3 дл криоагента позвол ет исключить обогащение криоагента низкокип щей компонентой при откачке паров.
Воздух из откачиваемой камеры поступает во всасывающий патрубок 14, проходит по трубкам теплообменника .4 предварительного охлаждени , приобрета
температуру, близкую к температуре жидкого криоагента, кип щего при атмосферном давлении, затем попадает в нижнюю секцию 10; где последовательно охлаждаетс в промежуточном теплообменнике 5 парами
откачиваемого криоагента и конденсируетс на внутренней поверхности трубок откачивающего элемента б. Под действием силы т жести жидкий воздух стекает в сборник 7 конденсата.
По окончании работы конденсат воздуха сливаетс через вентиль 17, а неизрасходованный жидкий криоагент - через вентиль 16.
В результате улучшаютс откачные характерисшки низковакуумного крионасоса, и снижаютс энергозатраты на вакуумирование .
Claims (1)
- Формула изобретениНизковакуумный крионасос, содержащий корпусе всасывающим патрубком, размещенный в корпусе сосуд дл криоагента и последовательно расположенные по ходу откачиваемого газа теплообменник предварительного охлаждени газа, промежуточный теплообменник, откачивающий элемент и сборник конденсата, о т л и ч а ю- щ и и с тем, что, с целью улучшени откач- ных характеристик и снижени энергрзатрат , сосуд дл криоагента выполнен двухсекционным и снабжен вертикальной трубой, соедин ющей верхнюю и нижнюю секции, и дополнительным теплообменником , размещенным в нижней части верхнейсекции, вход которого подключен к паровому пространству нижней секции сосуда, а выход выведен из корпуса, верхн секци сосуда снабжена клапаном с коническим уп лотнением, контактирующим с верхней частью вертикальной трубы, нижн секци сосуда - кюветой, жестко закрепленной на нижней части вертикальной трубы, а промежуточный теплообменник и откачивающий элемент расположены в нижней секции сосуда в паровом и жидкостном пространстве соответственно.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU904776535A SU1716190A1 (ru) | 1990-01-04 | 1990-01-04 | Низковакуумный крионасос |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU904776535A SU1716190A1 (ru) | 1990-01-04 | 1990-01-04 | Низковакуумный крионасос |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1716190A1 true SU1716190A1 (ru) | 1992-02-28 |
Family
ID=21488548
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU904776535A SU1716190A1 (ru) | 1990-01-04 | 1990-01-04 | Низковакуумный крионасос |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1716190A1 (ru) |
-
1990
- 1990-01-04 SU SU904776535A patent/SU1716190A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Авторское свидетельство СССР № 1344938, кл.Р 04 В 37/08, 1987. * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
SU1716190A1 (ru) | Низковакуумный крионасос | |
US3007322A (en) | Low pressure exhauster | |
CN213657178U (zh) | 一种小型可移动式低温蒸发装置 | |
SU1344938A1 (ru) | Способ получени вакуума и устройство дл его осуществлени | |
CN215310251U (zh) | 一种单效浓缩器单冷凝组合回收装置 | |
SU1642063A1 (ru) | Криогенный конденсационный форвакуумный насос | |
KR940011076B1 (ko) | 흡수식 냉동기의 용액 진공 입출장치 | |
US20220015405A1 (en) | Condensation system and method | |
CN215232141U (zh) | 一种可快速控温的旋转蒸发器 | |
EP1072797A1 (en) | Liquid ring pump with combined heat exchanger and separator | |
SU1585546A1 (ru) | Способ охлаждени и осушки газа в компрессоре объемного действи | |
CN221169889U (zh) | 一种抽真空设备 | |
US3536420A (en) | Condensate purifier for diffusion pump | |
CN220507440U (zh) | 一种水真空蒸发用冷却回收器 | |
US2188475A (en) | Evaporator for refrigeration systems | |
JPS6096889A (ja) | 蒸気および冷却水直接々触復水器 | |
JPH0131284Y2 (ru) | ||
SU992813A2 (ru) | Криогенный конденсационный насос | |
SU1525343A1 (ru) | Диффузионный насос | |
JP2942854B2 (ja) | 減圧気化冷却装置 | |
SU392268A1 (ru) | Криогенный конденсационный насос | |
SU1460409A1 (ru) | Конденсационна вакуумна ловушка | |
KR970022068A (ko) | 흡수식 공조장치 | |
SU1668723A1 (ru) | Способ получени вакуума и устройство дл его осуществлени | |
SU883551A1 (ru) | Криогенный форвакуумный конденсационный насос |