SU1525343A1 - Диффузионный насос - Google Patents

Abstract

Изобретение относитс  к вакуумной технике и позвол ет увеличить быстроту откачки. Насос содержит корпус 1, частично заполненный жидкостью 2, размещенный в нем паропровод 3 с соплом 4, нагреватель 5 и источник 6 напр жени , подключенный электродом 7 к корпусу 1. Насос снабжен кольцом 8, расположенным между корпусом 1 и паропроводом 3, причем оси симметрии профилей кольца 8 и сопла 4 в продольном сечении размещены на одной линии. Паропровод 3 снабжен диэлектрической вставкой, а электрод 10 источника 6 подключен к соплу 4. Такое размещение кольца 8 против образующих сопла 4 способствует переводу сверхзвукового потока паров рабочей жидкости в звуковой, обладающий большим коэффициентом эжекции, и расслаивает поток, увеличива  его площадь, что также увеличивает эжекцию откачиваемого газа. 1 ил.

Description

ел to сд

СА5 4

00

ч

Изобретение относитс  к вакуумной технике и может быть использовано в диффузионных вакуумных насосах.

Целью изобретени   вл етс  увеличение быстроты откачки.

На чертеже изображен диффузионный насос, продольный разрез.

Диффузионный насос содержит корпус 1, частично заполненный жидкостью 2, размещенные в нем по оси паропровод 3 с соплом 4, нагреватель 5 и источник 6 напр жени , подключенный электродом 7 к корпусу 1, причем насос снабжен кольцом 8, размещенным между корпусом i и паропроводом 3, причем оси симметрии профилей кольца 8 и сопла 4 в продольном сечении размещены на одной линии, паропровод 3 снабжен диэлектрической вставкой 9, а электрод 10 источника 6 напр жени  подключен к соплу 4.

Насос содержит также входной патрубок 11, выходной патрубок 12 и рубашку 13 охлаждени .

Диффузионный насос работает следующим образом.

После предварительной откачки форва- куумным насосом (не показан) включаетс  нагреватель 5. Жидкость 2 доводитс  до кипени . Давление паров жидкости 2 в сопле 4 в несколько раз больще, чем давление газа внутри насоса. Пары жидкости 2 истекают из сопл 4 в виде сверхзвуковой струи. На пути потока пара установлено кольцо 8, толщиной не более критического сечени  сопла, стру  расслаиваетс , ее площадь возрастает , а скорость становитс  дозвуковой. Увеличение площади струи способствует

5

повышению коэффициента эжекции и увеличению быстроты откачки. Приложение потенциала позвол ет создать дополнительиое движение паров жидкости 2 иа стеику корпуса 1. Это поддерживает скорость струи иа

уровне, близком к звуковой, и предотвращает обратную диффузию паров в откачиваемый объем. Величина потенциала выбираетс  такой, чтобы не происходило полимеризации рабочей жидкости. Откачиваемый

0 газ, проход  через входной патрубок 11, диффундирует в струю пара. Пар, попада  на охлаждаемые стенки корпуса 1, конденсируетс , стекает в нижнюю часть корпуса 1, а откачиваемый газ удал етс  в выходной патрубок 12.

Использование изобретени  позвол ет существенно повысить быстроту откачки насоса за счет увеличени  коэффициента эжекции вследствие увеличени  площади струи пара жидкости 2.

0

Claims (1)

1. Формула изобретени 

   Диффузионный насос, содержащий корпус , частично заполненный жидкостью, размещенные в нем по оси паропровод с соплом, нагреватель и источник напр жени , подключенный одним электродом к корпусу, отличающийс  тем, что, с целью увеличени  быстроты откачки, насос снабжен кольцом, размещенным .между корпусом и паропрово- Q дом, причем оси симметрии профилей кольца и сопла в продольном сечении размещены на одной линии, паропровод в верхней части снабжен диэлектрической вставкой, а другой электрод источника напр жени  подключен к соплу.

   5