SU1443527A1 - Криогенный конденсационный форвакуумный насос - Google Patents

Abstract

Изобретение позвол ет улучшить откачные характеристики насоса. В вертикальном корпусе 1 расположе откачивающий элемент в виде сосуда 2 дл  криоагента. Охватывающий сосуд 2 охлаждаемый экран выполнен в виде соосных сосудов 4, 5, 6 дл  хладагента . Ка адый сосуд образован двум  коаксиальными усеченными конусами (УК), обра1ценными меньшими основани ми вниз, и снабжен трубками 7, 8 дл  подвода хладагента и отвода его паров и кольцевым желобом 9, Плоскости меньших оснопаний УК расположены ниже плоскости больших оснований УК соседних сосудов 4 и 5 или 5цИ 6. Желоб 9 установлен под УК, закреплен с тепловым контактом на трубке 8 и имеет сливной патрубок 1C, сообщенный со сборником 3 конденсата. Использование экрана насоса в качестве конденсирующего элемента, а также исключение повторной конденсации откачиваемого газа путем предотвращени  испарени  жидкого конденсата позвол ет улучшить откачные характеристики насоса в широком диапазоне рабочих давлений, 1 ил.

Description

Изобретение относитс  к вакуумной технике, а именно конденсационным вакуумным насосам, работающим в форвакуумном диапазоне давлений.

Цель изобретени  - улучшение от- качных ха рактеристик насоса.

На чертеже схематично изображен предлагаемый насос.

Криогенный кондейсационньвй фор- вакуумный насос содержит вертикальный корпус 1, расположенный в нем откачивающий элемент в виде сосуда 2 дл  криоагента, охватывающий сосуд 2 охлаждаемый экран и сборник 3 конденсата. Экран выполнен в виде соосных сосудов 4, 5 и 6 дл  хладагента ,- кавдый из которых образован двум  коаксиальйо усеченными конусами , обращенными меньшими основани ми вниз, и снабжен трубками 7 и 8 подвода хладагента и отвода его паров и кольцевым желобом 9, -установленным под конусами, закрепленньм с тепловым контактом на .трубке 8 от- в.ода паров хладагента и имеющим сливной патрубок 10, сообщенный со сбор- Щ1КОМ 3 конденсата. Причем плоскости меньших оснований усеченных конусов расположень ниже плоскости больших оснований усеченных конусов соседних сосудов А и 5 или 5 и 6 дл  хладагента ,Насос работает следующим образом,

8 сосуды 4, 5 и 6 заливаетс  хладагент , например, жидкий азот. Путем откачки его паров через трубку 8 температуру хладагента понижают, после чего насос Сообщают с откачиваемым объемом. Откачиваемый газ конденсируетс  на. поверхност х сосудов Aj 5 и 6 в жидкую фазу и благодар  их конйче ской форме стекает в желоб 9, а оттуда через сливной патрубок 10 - в сборник 3 конденса-га. Охлаждение желоба 9 вследствие теплового контакта с трубкой 8 исключает испарение конденсата и его повторную конденсацию , привод щукх к излишним энергозатратам . После понижени  давлени  откачиваемого газа до уровн , соответствующего давлению его насыщенньпс паров при температуре сосудов 4, 5 и 6, в сосуд 2 подаетс  криогент.

0

S

0

5

0

5

0

5

0

например, неон или гелий, В результате дальнейша  откачка газа осуществл етс  на поверхности этого сосуда , причем конденсат стекает в c6of)Ti ник 3, а после прохождени  давлени  тройной точки откачиваемого газа, когда конденсаци  начинает происходить в твердую фазу, сборник 3 от- секаетсг от объема насоса, и насос работает путем накоплени   конденсата на поверхности сосуда 2, Сосуды 4, 5 и 6 при этом играют роль теплозащитного экрана, обеспечивающего эффективный подвод газа к сосуду 2, а также защиту этого сосуда от теплового излучени  стенок корпуса 1 на-- coca, .

Таким образом, использование экрана насоса в качестве конденсирующего элемента, а также исключение повторной конденсации откачиваемого газа путем предотвращени  испарени  жидко сти конденсата позвол ет улучшить откачные характеристики насоса В широком диапазоне рабочих давлений.

Claims (1)

1. Формула изобретени 

   Криогенньш конденсационный фор- вакуумный насос, содержащий вертикальный корпус, расположенный в нем откачивающий элемент в виде сосуда дл  криоагента, охватывающий сосуд охла адаемьй экран и сборник конденсата , отличающийс  тем, что, с целью улучшени  откачных характеристик , экран выполнен в виде соосных сосудов дл  хладагента, каждый из которых образован двум  коаксиальными усеченными конусами, .обращенными меньшими основани ми вниз, и снабжен трубками подвода хладагента и отвода его паров и кольцевым желобом, установленным под конусами, закрепленными с тепловым контактом на трубке отвода паров хладагента и имеющим сливйой патрубок, сообщен- ньй со сборником конденсата, причем плоскости меньших оснований усеченных конусов расположены ииже плоскости больших оснований усеченных конусов соседних сосудов-дп  хладагента .