SU1366690A1 - Криогенный форвакуумный конденсационно-адсорбционный насос - Google Patents

Description

(21)4087647/25-06

(22)14.07.86

(46) 15.01.88.БЮЛ. № 2

(72) В.Г.Фарафонов, Ю.П.Ходцев,

С.Л.Чепель, Б.П.Батраков,

В.А.Кравченко, Ю.Н.Волков

и Ю.В.Ткач

(53) 621.528.1 (088.8)

(56) Авторское свидетельство СССР

№ 937765, кл. F 04 В 37/08, 1980.

(54) КРИОГЕННЫЙ ФОРВАКУУМНЫЙ КОН- ДЕНСАЦИОННО-АДСОРБЦИОННЫЙ НАСОС (57) Изобретение относитс  к вакуумной технике и позвол ет улучшить откачные характеристики насоса. Коаксиальные конусы 2 и 3 установлены в корпусе 1 с возможностью осевого перемещени  друг относительно друга. В вершинах конусов 2 и 3 обращённых вниз, выполнены соответственно отверсти  4 и 5, а на поверхност х , обращенных одна к другой, закреплен адсорбент 6. Откачные характеристики насоса улучшаютс  за счет использовани  адсорбента, включаемого в работу на заключительной стадии вакуумировани . I ил.

а (в

сл

ffe жиЛгий

00

Од

О5

Од

;о

Изобретение относитс  к вакуумной технике, а именно к конструкци м криогенных вакуумных насосов, работающих в области низкого и среднего вакуума.

На чертеже представлена схема предлагаемого насоса.

Криогенный форвакуумный конден- сационно-адсорбционный насос содержит -корпус 1 и установленный в нем откачивающий элемент в виде двух охлаждаемых коаксиальных конусов 2 и 3 с отверсти ми 4 и 5 соответственно в обращенных вниз вершинах. Конусы 2 и 3 установлены в корпусе 1 с возможностью осевого перемещени  друг относительно друга, а на их поверхност х, обращенных одна к другой , закреплен, адсорбент 6. Конусы 2 и 3 могут иметь общий или независимый контуры охлаждени . К нижней части корпуса 1 через патрубок с клапаном 7 подсоединен сборник 8 жидкого конденсата, охлаждаемый парами используемого в контурах охлаждени  т- конусов 2 и 3 хладагента.

Насос работает следующим образом

Перед включением насоса в работу конусы 2 и 3 плотно сдвинуты. При охлаждении конусов 2 и 3 откачиваемый газ, поступающий в корпус 1 насоса , конденсируетс  на их поверхност х в жидкую фазу и стекает в сборник 8 конденсата. После достиже ни  давлени , соответствующего дав666902

лёнию тройной точки воздуха, клапан , 7 перекрьшаетс , поскольку дальнейша  ( конденсаци  происходит в тверg дую фазу. Когда давление в насосе достигает предельного дл  конденсационной откачки, т.е. определ етс  упругост ми паров откачиваемых газов при температуре конусов 2 и 3, кону- 10 сы раздвигаютс  и в работу вступает адсорбент 6, который уже достаточно хорошо охлажден. В результате откачиваютс  неконденсируемые компоненты откачиваемой среды.

U Таким образом, откачные характеристики насоса улучшаютс  за счет, использовани  адсорбента,включаемого в работу на заключительной стадии вакуумировани .

Claims (1)

1. Формула изобретени 

   Криогенный форвакуумный конден- сационно-адсорбционный насос, содержащий корпус и установленный в нем откачивающий злемент в виде двух охлаждаемых коаксиальных конусов с отверсти ми в обращенных вниз вершинах , о тлич ающийс   тем, что, с целью улучшени  откачньк характеристик , конусы установлены в корпусе с возможностью осевого перемещени  друг относительно друга, а на их поверхност х, обращенных одна к другой, закреплен адсорбент.