SU1017817A1 - Криогенный конденсационный насос - Google Patents

Abstract

1. КРИОГЕННЫЙ КОНДЕНСАЦИОННЫЙ НАСОС, содержащий корпус и размещенный в нем внутри радиационного .экрана, св занного с заливным экраном, откачивающий элемент, выполненный в виде сосуда, снабженного трубкой-подвесом и шевронный экран, отличающийс  тем, что, с целью увеличени  ресурса непрерывной работы и предельного давлени , радиационный экран снабжен охватывающей его обечайкой, закрепленной нижним концом на корпусе, а в верхней части имеющей перфорированное кольцо, вакуум плотно соединенное с радиационным экраиОм, причем последний снабжен выполненными в зоне кольца отверсти ми , смещенными относительно отверстий его перфорации. 2.Насос по п. 1, отличающийс  тем, что, с целью снижени  теплопритоков по трубке-подвесу, в последней размещен заполненный газом- криосорбентом сильфонный вкладыщ с герметично закрытыми торцами , внутри которого установлены поперечные экраны с отверсти ми. 3.Насос по п. 1, отличающийс  тем, что, с целью упрощени  монтажа, щевронный экран выполнен съемным. (Л СХ)

Description

Изобретение относитс  к вакуумной технике.

Известен криогенный конденсационный насос, содержащий корпус и размещенный в нем внутри радиационного экрана, св занного с заливным экраном, откачивающий элемент, выполненный в виде сосуда, снабженного трубкой-подвесом, и щевронный экран 1.

Однако насос характеризуетс  больщими теплопритоками к сосуду от стенок корпуса и по трубке-подвесу, а также сложностью сборки и разборки узлов крионасоса .

Цель изобретени  - увеличение ресурса непрерывной работы и снижение предельного давлени .

Указанна  цель достигаетс  тем, что в криогенном конденсационном насосе, содержащем корпус и размещенный в нем внутри радиационного экрана, св занного с заливным экраном, откачивающий элемент , выполненный в виде сосуда, снабженного трубкой-под весом, и шевронный экран, радиационный экран снабжен охватывающей его обечайкой, закрепленной нижним концом на корпусе, а в верхней части имеющей перфорированное кольцо, вакуум плотно соединенное с радиационным экраном, причем последний снабжен выполненными в зоне кольца отверсти ми, смещенными относительно отверстий его перфорации.

Кроме того, с целью снижени  теплопритоков по трубке-подвесу, в ней размещен заполненный газом-криосорбентом сильфонный вкладыш с герметично закрытыми торцами , внутри которого установлены поперечные экраны с отверсти ми.

С целью упрощени  монтажа насоса, шевронный экран выполнен съемным.

На фиг. 1 изображен предлагаемый насос , продольный разрез; на фиг. 2 - трубка-подвес насоса; на фиг. 3 - узел I на фиг. 1; на фиг. 4 - разрез А-А на фиг. 3.

Криогенный конденсационный насос содержит корпус 1, размещенный в нем внутри радиационного экрана 2, св занного с заливным экраном 3, откачивающий элемент , выполненный в виде сосуда 4, снабженного трубкой-подвесом 5, и щевронный экран 6.

Радиационный экран 2 снабжен охватывающей его обечайкой 7, закрепленной нижним концом на корпусе 1, а в верхней части имеющей перфорированное кольцо 8, вакуум плотно соединенное с радиационным экраном 2, причем последний снабжен выполненными в зоне кольца 8 отверсти ми 9, смещенными относительно отверстий 10 его перфорации.

В трубке-подвесе 5 размещен заполненный газом-криосорбентом сильфонный вкладыщ 11 с герметично закрытыми торцами, внутри которого установлены поперечные экраны 12 с отверсти ми 13.

Поверхности сосуда 4, радиационного экрана 2 и корпуса 1, обращенные в вакуумный объем, содержат покрытие в виде пленок чистых металлов.

Крионасос работает следующим образом .

Дл  запуска крионасоса откачивают весь объем между сосудом крионасоса и объемом рабочей камеры безмасл ным форвакуумным насосом, например гелиевым форвакуумным насосом (не показан). Затем откачивают указанные объемы высоковакуумным безмасл ным насосом, после чего заливают жидкий азот в экран 3. Далее производ т прогрев корпуса 1 в течение 4-8 ч при 250-350°С.

После окончани  прогрева, остывани  корпуса 1 до комнатной температуры и достижени  давлени  в ней пор дка 10 торр производ т заливку жидкого гели  в сосуд 4, после окончани  которой вставл ют вкладыщ 11 в трубку 5. Дальнейща  откачка производитс  обычным образом .

Наличие обечайки 7, кольца 8 с отверсти ми 10 и отверстий 9 в верхней части радиационного экрана 2 обеспечивает преимущества предлагаемого насоса.

Десорбируемые со стенок корпуса насоса молекулы газов, диффундиру  через указанные отверсти , с больщой степенью веро тности столкнутс  с верхней частью боковой поверхности сосуда 4 и сконденсируютс  на ней, практически не попав через щеврон в откачиваемый объем.

Кроме того, это дает возможность производить напуск газа-криосорбента, например газообразного азота, который, сконденсировавшись на верхней части боковой поверхности сосуда 4, становитс  эффективным сорбентом неконденсирующегос  гели  и плохо конденсирующегос  водорода.

Наличие сильфонного вкладыша позвол е сократить теплоприток по газовому столбу испар ющегос  гели .

Claims (3)

1. КРИОГЕННЫЙ КОНДЕН-

САЦИОННЫЙ НАСОС, содержащий корпус и размещенный в нем внутри радиационного .экрана, связанного с заливным экраном, откачивающий элемент, выполненный в виде сосуда, снабженного трубкой-подвесом* и шевронный экран, отличающийся тем, что, с целью увеличения ресурса непрерывной работы и снижения пре дельного давления, радиационный экран снабжен охватывающей его обечайкой, закрепленной нижним концом на корпусе, а в верхней части имеющей перфорированное кольцо, вакуум плотно соединенное с радиационным экраном, причем последний снабжен выполненными в зоне кольца отверстиями, смещенными относительно отверстий его перфорации.

2. Насос по π. 1, отличающийся тем, что, с целью снижения теплопритоков по трубке-подвесу, в последней размещен заполненный газом- криосорбентом сильфонный вкладыш с герметично закрытыми торцами, внутри которого установлены поперечные экраны с отверстиями.

3. Насос по π. 1, отличающийся тем, что, с целью упрощения монтажа, шевронный экран выполнен съемным.