SU1333833A1 - Криоадсорбционный насос - Google Patents

Abstract

Изобретение относитс  к вакуумной технике и позвол ет расширить функциональные возможности насоса путем обеспечени  его дополнительной защиты, а также защиты иных средств вакуумировани , вход щих в состав вакуумных установок совместно с насосом , от легкоконденсируемых газов.В полости 7, образованной коаксиальными цилиндрами 5 и 6 и заполненной хладагентом , расположен вакуум-провод (ВП) 9, огибающий внутренний цилиндр 6 и имеющий форму полувитка спирали. Концы 10 и 11 ВП 9 герметично выведены из корпуса 1 через крьшки 2 и 3. Радиус полувитка спирали больше диаметра ВП 9 и больше 1/6 шага спирали. ВП 9 выполн ет функции вымораживающей ловушки, на стенках которой конденсируютс  легкоконденсируемые газы и пары. Форма и размеры ВП обусловлены обеспечением оптической непрозрачности противоположных его концов. 1 ил. (Л с

Description

1

Изобретение относитс  к вакуумной технике, а именно к конструкци м криоадсорбционныхвакузтных насосов,

Целью изобретени   вл етс  расширение функциональных возможностей насоса путем обесце чени  его дополни тельной защиты, а также запщты иных средств вакуумировани , вход щих в состав вакуумных установок совместно с насосом, от легкоконденсируемых газов .

На чертеже представлен насос, проДольный разрез.

Криоадсорбционный насос содержит цилиндрический корпус I с верхней и нижней крышками 2 и 3 и осевым входным патрубком 4 на одной из них, на- пример на крышке 2, расположенный в корпусе I сосуд, вьтолненный в виде двух коаксиальных цилиндров 5 и 6, расположенных соосно входному патрубку 4 и образующих между собой полость 7,.заполненную хладагентом, и размещенный на внутренней поверхности внутреннего цилиндра 6 адсорбент 8. Насос снабжен также расположенным в полости 7 вакуум-проводом 9, оги- баюшд1м внутренний цилиндр 6 и имеющим концы 0 и 11, герметично выведенные из корпуса 1 через крышки 2 и 3, прргчем вакуум-провод 9 имеет форму полувитка спирали и размеры, определ емые следующими неравенствами; R d;

.§,

где R - радиус полувитка спирали; d - диаметр вакуум-провода; h - шаг спирали.

Кроме того, на поверхности адсорбента 8 размещен пористьй газопроницаемый экран 12 из высокотеплопровод- Ного материала, и на торце внутреннего цилиндра 65 обращенном к входному патрубку 4, установлен шевронный экран 13.

Насос работает следующим образом.

В полость 7 между цилиндрами 5 и 6 заливаетс  хладагент, и адсорбент 8 охлаждаетс  до рабочей температуры при которой интенсивно поглощает откачиваемый газ, поступающий в насос через входной патрубок 4. Одновре ВНИИПИ Заказ 3938/30 Тираж 574Подписное

Произв.-полигр. пр-тие, г. Ужгород, ул. Проектна , 4

338332

но с охлаждением адсорбента В осуществл етс  охлаждение вакуум-провода 9, который используетс  либо в качестве коммутации, соедин ющей насос с откачиваемым объемом,либо в ка- чествё коммутации, соедин ющей откачиваемый объем с вспомогательным насосом . И в том и в другом случае ва10 куум-провод 9 выполн ет функции вымораживающей ловушки, на стенках которой происходит конденсаци  легко конденсируемых газов и паров, например паров воды. Форма и размеры ва15 куум-провода обусловлены обеспечением оптической непрозрачности противоположных его концов 10 и 11 и надежности защитных свойств.

Таким образом, предлагаемый насос,

20 кроме функции собственно насоса, выполн ет также функции ловушки, т.е. его функциональные возможности расшир ютс  .

Claims (1)

1. 25 Формула изобретени 

   Криоадсорбционный насос, содержащий цилиндрический корпус с верхней и нижней крьш1ками и -осевым входным

   30 патрубком на одной из них, расположенный в корпусе сосуд, вьтолненньй в виде двух коаксиальных цилиндров, расположенных соосно входному патрубку и образующих между собой полость,

   3g заполненную хладагентом, и размещенный на внутренней поверхности внутреннего цилиндра адсорбент, отличающийс  тем, что, с целью расширени  функциональных возможнос40 тей путем обеспечени  защиты насоса от легкоконденсируемых газов, он снабжен расположенным в полости вакуум-проводом , огибакщим внутренний цилиндр и имеющим концы, герметично

   45 выведенные из корпуса через крьш1ки, причем вакуум-провод имеет форму полувитка спирали и размеры, определ емые следующими неравенствами: R d;

   50R R ,

   где R - радиус полувитка спирали; d - диаметр вакуум-провода; h - шаг спирали.