SU1043350A1 - Криогенный насос - Google Patents

Abstract

1. КРИОГЕННЫЙ НАСОС, содержащий корпус с входным отверстием и встроенным охладителем и концентрично установленные на последнем с тепловым контактом теплозащитный экран, криопанели и оптически непроницаемую решетку с отра )1 ателем, отличающийс  тем, что, с целью повышени  откачных характеристик, отража тель снабжен каналами дл  прохода газа и размещенным соосно входному отверстию экранирующим стержнем, а криопанели расположены на равных рассто ни х от экрана и рещетки и имеют продольные прорези, смещенные одна относительно другой у соседних криопанелей. 2.Насос по п. 1, отличающийс  тем, что прорези криопанелей расположены с одинаковым угловым шагом, имеют ширину, равную рассто нию между ними, и смещены одна относительно другой у соседних криопанелей на половину углового шага. 3.Насос по п. I, отличающийс  тем, что экранирующий стержень выполнен полым из высокотеплопроводного материала, снабжен отверсти ми дл  прохода газа, а его внешн   поверхность имеет высокую отражательную способность. (Л 1 4: СО Од сд

Description

Изобретение относитс  к вакуумной технике , а именно к конструкци м криогенных вакуумных насосов. Известен криогенный насос, содержащий корпус с встроенным охладителем, на котором с тепловым контактом закреплены теплозащитный экран с жалюзийной рещеткой и криопанели 1. Недостатком данного насоса  вл етс  небольша  быстрота действи  вследствие значительного сопротивлени  потоку откачиваемого газа, создаваемого жалюзийной рещеткой . Наиболее близким по технической с/щности и достигаемому результату к изобретению  вл етс  криогенный насос, содержащий корпус с входным отверстием и встроенным охладителем и концентрично установленные на последнем с тепловым контактом теплозащитный экран, криопанели и оптически непроницаемую рещетку с отражателем 2. Недостатками известного насоса  вл ютс  небольша  быстрота действи  вследствие газонепроницаемости отражател  и малой эффективности поверхности конденсации криопанелей, а также невысокий предельный вакуум вследствие дедостаточно эффективной защиты криопанелей от отраженного теплового потока. Цель изобретени  - повышение откачных характеристик насоса. Указанна  цель достигаетс  тем, что в криогенном насосе, содержащем корпус с входным отверстием и встроенным охладителем и концентрично установленные на последнем с тепловым контактом теплозащитный экран, криопанели и оптически непроницаемую решетку с,отражателем, последний снабжен каналами дл  прохода газа и раз мешенным соосно входному отверстию экранирующим стержнем, а криопанели расположены на равных рассто ни х от экрана и решетки и имеют продольные прорези, смещенные одна относительно другой у соседних криопанелей. Кроме того, прорези криопанелей расположены с одинаковым угловым шагом, имеют щирину, равную рассто нию между ними , и смещены одна относительно другой у соседних криопанелей на прловину углового При этом экранирующий стержень выполнен полым из высокотеплопроводного материала , снабжен отверсти ми дл  прохода газа, а его внешн   поверхность имеет высокую отражательную способность. На фиг. 1 представлен предлагаемый насос , продольный разрез; на фиг. 2 - разрез А-А на фиг. 1. Криогенный насос содержит корпус 1 с входным отверстием 2 и встроенным охладителем 3 и -.концентрично установленные на последнем с тепловым контактом теплозащитный экран 4, криопанели 5 и 6 и оптически непроницаемую решетку 7 с отражателем 8, причем последний снабжен каналами 9 дл  прохода газа и размещенным соосно входному отверстию 2 экранирующим стержнем 10, а криопанели 5 и 6 расположены на равных рассто ни х от экрана 4 и рещетки 7 и имеют продольные прорези 11 и 12, смещенные одна относительно другой у криопанелей 5 и 6. Прорези 11 и 12 криопанелей 5 и,6 расположены с одинаковым угловым щагом t, имеют щирину 1, равную рассто нию h между ними, и смещены одна относительно другой у криопанелей 5 и 6 на половину углового щага, т.е. на t/2. Экранирующий стержень 10 выполнен полым из высокотеплопроводного материала , снабжен отверсти ми 13 дл  прохода газа, а его внещн   поверхность имеет высокую отражательную способность. Кроме того, на обращенных друг к другу поверх ност х криопанелей 5 и 6 нанесен слой адсорбента 14, например активированный уголь Насос работает следующим образом. После откачки объема корпуса 1 до давлени  запуска включаетс  охладитель 3 и происходит охлаждение элементов насоса до рабочих температур: теплозащитного экрана 4, рещетки 7, отражател  8 и экранирующего стержн  10 - до 80-90 К, а криопанелей 5 и 6 - до 14-16 К. Откачиваемый газ попадает в объем корпуса 1 насоса через входное отверстие 2. Легкоконденсируемые компоненты газа (пары воды , углеводороды и др.) конденсируютс  на поверхност х теплозащитного экрана 4, ре отражател  8 и стержн  10. Такие компоненты откачиваемого газа, как азот, кислород, аргон, окись углерода, конденсируютс  на поверхност х криопанелей 5 и 6, обращенных к экрану 4 и решетке 7. Труд„оконденсируемые компоненты (водород, leон и гелий) проникают через прорези 11 и 12 и сорбируютс  адсорбентом 14. Тепловое излучение, попадающее в полость насоса через входное отверстие 2, отражаетс  отражателем 8 в направлении решетки 7, поглошающей это излучение. Экранирующий стержень 10 перекрывает центральную часть насоса и предотвращает попадание отраженного теплового излучени  отражател  8 и переотраженного излучени  от рещетки 7 на криопанели 5 и 6. Применение предлагаемого криогенного насоса обеспечивает хорощий доступ газа к криопанел м и эффективную защиту их от теплового излучени , тем самым повыша  его откачные характеристики.

A- A

8

Фт.г

Claims (3)

1. КРИОГЕННЫЙ НАСОС, содержащий корпус с входным отверстием и встроенным охладителем и концентрично установленные на последнем с тепловым контактом теплозащитный экран, криопанели и оптически непроницаемую решетку с от раЖателем, отличающийся тем, что, с целью повышения откачных характеристик, отража тель снабжен каналами для прохода газа и размещенным соосно входному отверстию экранирующим стержнем, а криопанели расположены на равных расстояниях от экрана и решетки и имеют продольные прорези, смещенные одна относительно другой у соседних криопанелей.

2. Насос по π. 1, отличающийся тем, что прорези криопанелей расположены с одинаковым угловым шагом, имеют ширину, равную расстоянию между ними, и смещены одна относительно другой у соседних криопанелей на половину углового шага.

3. Насос по π. 1, отличающийся тем, что. экранирующий стержень выполнен полым из высокотеплопроводного материала, снабжен отверстиями для прохода газа, а его внешняя поверхность имеет высокую отражательную способность.