SU850909A1 - Вакуумна установка - Google Patents

Description

1

Изобретение относитс  к вакуумной технике.

Известна вакуумна  установка, содержаша  вакуумную камеру, криогенный насос и размещенный между ними палладиевый насос, откачные элементы которого выполнены в виде трубок 1J.

Такое расположение элементов известной вакуумной установки при.водит к повышенному расходу хладагента при откачке больших количеств водорода и его изотопов, что снижает экономичность всей установки.

Цель изобретени  - повышение экономичности .

.Указанна  цель достигаетс  тем,что палладиевый насос снабжен двум  диафрагмами, образующими замкнутую полость, и торцы трубок вакуумноплотно соединены с последним.

На фиг. 1 изображена предлагаема  установка, продольный разрез-на фиг. 2 - откачивающие элементы палладиевого насоса.

Вакуумна  установка содержит вакуумную камеру 1, криогенный насос 2 и размещенный между ними палладиевый насос 3, откачные элементы которого выполнены в виде трубок 4. Палладиевый насос 3 снабжен двум  диафрагмами 5 и 6, образукшдими замкнутую полость, и торцы трубок 4 вакуумноплотно соединены с последними.

Установка работает следуквдим образом .

Откачиваемый газ из вакуумной камеры 1 попадает на внутреннюю поверхность папладиевых трубок 4. Водород и его изотопы откачиваютс  путем диф10 фузии через палладий и химическим св зыванием кислородом на обратной стороне поверхности трубок 4.

Поскольку в вакуумной установке весь откачиваемый газ, прежде, чем 5 попасть на откачивающею поверхность криогенного насоса, проходит через откачной элемент палладиевого насоса, практически весь водород откачиваетс  палладиевым насосом и в криоген20 ный насос поступают лишь легкоконденсируемые газы, теплопроводность которых в несколько раз ниже, чем у водорода. Поэтому расход хладагента в предлагаемой вакуумной установке

25 по сравнению с известными существенно уменьшаетс .

Claims (1)

1. Формула изобретени  Вакуумна  установка, содержаща  30 вакуумную камеру, криогенный насос