SU850909A1 - Вакуумна установка - Google Patents

Вакуумна установка Download PDF

Info

Publication number
SU850909A1
SU850909A1 SU792845467A SU2845467A SU850909A1 SU 850909 A1 SU850909 A1 SU 850909A1 SU 792845467 A SU792845467 A SU 792845467A SU 2845467 A SU2845467 A SU 2845467A SU 850909 A1 SU850909 A1 SU 850909A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
pump
vacuum
palladium
tubes
vacuum plant
Prior art date
Application number
SU792845467A
Other languages
English (en)
Inventor
Геннадий Петрович Глазунов
Николай Андреевич Косик
Владимир Борисович Юферов
Original Assignee
Предприятие П/Я В-8851
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Предприятие П/Я В-8851 filed Critical Предприятие П/Я В-8851
Priority to SU792845467A priority Critical patent/SU850909A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU850909A1 publication Critical patent/SU850909A1/ru

Links

Landscapes

  • Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)

Description

1
Изобретение относитс  к вакуумной технике.
Известна вакуумна  установка, содержаша  вакуумную камеру, криогенный насос и размещенный между ними палладиевый насос, откачные элементы которого выполнены в виде трубок 1J.
Такое расположение элементов известной вакуумной установки при.водит к повышенному расходу хладагента при откачке больших количеств водорода и его изотопов, что снижает экономичность всей установки.
Цель изобретени  - повышение экономичности .
.Указанна  цель достигаетс  тем,что палладиевый насос снабжен двум  диафрагмами, образующими замкнутую полость, и торцы трубок вакуумноплотно соединены с последним.
На фиг. 1 изображена предлагаема  установка, продольный разрез-на фиг. 2 - откачивающие элементы палладиевого насоса.
Вакуумна  установка содержит вакуумную камеру 1, криогенный насос 2 и размещенный между ними палладиевый насос 3, откачные элементы которого выполнены в виде трубок 4. Палладиевый насос 3 снабжен двум  диафрагмами 5 и 6, образукшдими замкнутую полость, и торцы трубок 4 вакуумноплотно соединены с последними.
Установка работает следуквдим образом .
Откачиваемый газ из вакуумной камеры 1 попадает на внутреннюю поверхность папладиевых трубок 4. Водород и его изотопы откачиваютс  путем диф10 фузии через палладий и химическим св зыванием кислородом на обратной стороне поверхности трубок 4.
Поскольку в вакуумной установке весь откачиваемый газ, прежде, чем 5 попасть на откачивающею поверхность криогенного насоса, проходит через откачной элемент палладиевого насоса, практически весь водород откачиваетс  палладиевым насосом и в криоген20 ный насос поступают лишь легкоконденсируемые газы, теплопроводность которых в несколько раз ниже, чем у водорода. Поэтому расход хладагента в предлагаемой вакуумной установке
25 по сравнению с известными существенно уменьшаетс .

Claims (1)

  1. Формула изобретени  Вакуумна  установка, содержаща  30 вакуумную камеру, криогенный насос
SU792845467A 1979-11-30 1979-11-30 Вакуумна установка SU850909A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU792845467A SU850909A1 (ru) 1979-11-30 1979-11-30 Вакуумна установка

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU792845467A SU850909A1 (ru) 1979-11-30 1979-11-30 Вакуумна установка

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU850909A1 true SU850909A1 (ru) 1981-07-30

Family

ID=20861749

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU792845467A SU850909A1 (ru) 1979-11-30 1979-11-30 Вакуумна установка

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU850909A1 (ru)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4691534A (en) Cryogenic pump with refrigerator with the geometry of the shields, suitable for achieving a high efficiency and an extended life
GB1389869A (en) Diaphragm pumps with pressure pulsation damping chambers
ES2035556T3 (es) Bombas de vacio.
SU850909A1 (ru) Вакуумна установка
ATE245768T1 (de) Ansauganordnung für einen hermetischen verdrängerverdichter
ATE39549T1 (de) Fluessigkeitsring-verdichter.
GB2017227A (en) Thermally Actuated Pump
SU901660A1 (ru) Диффузионный насос
SU861723A1 (ru) Насос дл откачки водорода
SU754111A1 (ru) Двухроторный вакуум-компрессор
JPS52138704A (en) Fluid pump
SU832136A1 (ru) Диффузионный насос
SU1110928A1 (ru) Криогенный конденсационный насос
SU1121492A1 (ru) Вакуумна установка
US3909153A (en) Multi-stage axial compressor
SU937765A1 (ru) Криогенный конденсационный насос
SU120618A1 (ru) Ртутный вентиль
SU1011896A1 (ru) Криогенный насос
JPS538802A (en) Fluid compressor
SU361437A1 (ru) УСТРОЙСТВО дл ОПРЕДЕЛЕНИЯ ПАРЦИАЛЬНОГО СОСТАВА ГАЗОВ В ВАКУУМНОЙ КАМЕРЕ
SU989135A1 (ru) Криогенный насос
SU846792A1 (ru) Двухроторный вакуум-компрессор
SU1147846A1 (ru) Устройство дл откачки и напуска газа под избыточным давлением
SU1125403A2 (ru) Криогенный конденсационный насос
SU954603A1 (ru) Газобалластное устройство механического вакуумного насоса