SU861723A1 - Насос дл откачки водорода - Google Patents

Description

(54) НАСОС ДЛЯ ОТКАЧКИ ВОДОРОДА

Claims (1)

1. Изобретение относитс  к области вакуумной техники. Известен насос дл  откачки водорода ,содержащий корпус, закрепленную в нем палладиевую мембрану и нагреватель Ц. Из-за недостаточной механической прочности мембраны, насос обладает малой надежностью, недостаточным сроком службы. Целью изобретени   вл етс  повышение надежности. Указанна  цель достигаетс  тем, что на мембране со стороны откачиваемого объема закреплена диафрагма выполненна  из пористого металла. На чертеже схематично изображен описываемый насос. Насос дл  откачки водорода содеркит корпус 1, закрепленную в нем палладиегую мембрану 2 и нагревател 3, На мембране 2 со стороны откачив емого объема закреплена диафрагма 4 выполненна  из пористого метгшла. Насоо работает следуквдим образом После подсоединени  к откачиваемому объему с парциальным давлением водорода -10 торр., палладиевую мембрану 2 нагревают при помощи на ревател  3 до температуры 400-500 С Водород проникает через нагретый металл и на обратной стороне св зываетс  кислородом воздуха. Благодар  наличию механически прочной диафрагмы 4 на палладневой мембране 2 не наблюдаетс  заметных прогибов и деформаций при температуре мембраш 2-50О С и перепсще давлений атмосфера - вакуум. Таким образом, предлагаема  конструкци  обеспечивает существейное увеличение механической прочности мембраны, что повышает срок службы насоса и его надежность. Существенным  вл етс  тот факт, что положительный зффект достигаетс  при сохранении быстроты откачки насоса. Формула изобретени  Насос дл  откачки водорода, содержащий корпус, закрепленную в нем палладиевую мембрану и нагреватель отличающийс  тем, что, с целью повышени  надежиости, на мембране со стороны откачиваемого объема закреплена диафрагма, выполненна  из пористого металла. Источники ииформации, прин тые во внимание при зксперт зе I. Патент Великобритании 905405 кл. F 1 N ЗА, опубл. 1962.

   0