SU361437A1 - УСТРОЙСТВО дл ОПРЕДЕЛЕНИЯ ПАРЦИАЛЬНОГО СОСТАВА ГАЗОВ В ВАКУУМНОЙ КАМЕРЕ - Google Patents
УСТРОЙСТВО дл ОПРЕДЕЛЕНИЯ ПАРЦИАЛЬНОГО СОСТАВА ГАЗОВ В ВАКУУМНОЙ КАМЕРЕInfo
- Publication number
- SU361437A1 SU361437A1 SU1604750A SU1604750A SU361437A1 SU 361437 A1 SU361437 A1 SU 361437A1 SU 1604750 A SU1604750 A SU 1604750A SU 1604750 A SU1604750 A SU 1604750A SU 361437 A1 SU361437 A1 SU 361437A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- vacuum chamber
- vacuum
- chamber
- gas composition
- partial gas
- Prior art date
Links
Landscapes
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Description
1
Изобретение относитс к вакуумной технике и может быть использовано в химической промышленности.
Р1звестно устройство дл определени парциального состава газов в вакуумной камере, содержащее рабочую вакуумную камеру, соединенную через дроссельный вентиль с промежуточной 1вакуумиой камерой, имеющей омегатронный анализатор.
Известное устройство не позвол ет получать данные о парциальном составе газов, наход щихс при давлени х от атмосферного до 10 ° мм рт. ст.
С целью устранени указанных недостатков объем рабочей вакуумной камеры и внутренн поверхность промежуточной вакуумной камеры выбраны такими, чтобы их отношение
Здозлетзор ло условию 161 см, где V -
объем рабочей вакуумной камеры в см, S - внутренн поверхность промежуточной вакуумной камеры IB см.
На чертеже представлено нредлагаемое устройство, общий вид.
Устройство состоит из прогреваемой промежуточной вакуумной камеры 1, омегатронного анализатора 2, прогреваемого дроссельного вентил 3, вакуумных ламп 4, рабочей
вакуумной камеры 5, вакуумного откачного aiрегата 6, вакуумного насоса 7 и прогреваемого вентил 8.
Камера ./ герметично соедин етс с вентилем 3 и с омегатронным анализатором 2. Собранный узел соедин етс с рабочей вакуумной камерой 5, котора стыкуетс с вакуумным откачным агрегатом 6. Вакуумна камера /,
0 па которой устанавливаютс вакуумные лампы 4, соедин етс также с прогреваемым вентилем 5 и с вакуумным насосом 7. Объем камеры / выбираетс , исход из производительности вакуумного насоса 7, размеров соеди5 пнтельпых элементов и омегатронного анализатора 2. После герметизации камеры 5 при закрытом вентиле 3 камера / откачиваетс вакуумным насосом 7 до глубокого вакуума, например, мм рт. ст. Затем после обезгажпвани измер ют парциальный состав газов в этой камере. Открываетс вентиль 3, производитс напуск газов в камеру / до получени вакуума, например, 10 мм рт. ст., и омегатронным анализатором 2 измер ют пар25 циальный состав газов. По абсолютной разнице парцнальпого состава газов между двум измерени ми определ етс парцпальный состав газов в рабочей вакуумной камере 5 при давлении, например, 760 мм рт. ст.
0
предмет изобретени
Устройство дл определени парциального состава газов в вакуумной камере, содержащее рабочую вакуумную камеру, соединенную через дроссельный вентиль с промежуточной вакуумной камерой, имеющей омегатронный анализатор , отличающеес тем, что, с целью поv yчeнИЯ данных парциального состава газа при давлени х от атмосферного до мм
рт. ст., объем рабочей вакуумной камеры и внутренн поверхность промежуточной вакуумной камеры выбраны такими, чтобы их отV 5 ношение удовлетвор ло условию: - 161 см.
о
где V - объем рабочей вакуумной ка5 - внутренн поверхность
меры в
промежуточной вакуумной камеры в см .
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU1604750A SU361437A1 (ru) | 1970-12-22 | 1970-12-22 | УСТРОЙСТВО дл ОПРЕДЕЛЕНИЯ ПАРЦИАЛЬНОГО СОСТАВА ГАЗОВ В ВАКУУМНОЙ КАМЕРЕ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU1604750A SU361437A1 (ru) | 1970-12-22 | 1970-12-22 | УСТРОЙСТВО дл ОПРЕДЕЛЕНИЯ ПАРЦИАЛЬНОГО СОСТАВА ГАЗОВ В ВАКУУМНОЙ КАМЕРЕ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU361437A1 true SU361437A1 (ru) | 1972-12-07 |
Family
ID=20462308
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU1604750A SU361437A1 (ru) | 1970-12-22 | 1970-12-22 | УСТРОЙСТВО дл ОПРЕДЕЛЕНИЯ ПАРЦИАЛЬНОГО СОСТАВА ГАЗОВ В ВАКУУМНОЙ КАМЕРЕ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU361437A1 (ru) |
-
1970
- 1970-12-22 SU SU1604750A patent/SU361437A1/ru active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| ES401127A1 (es) | Perfeccionamientos introducidos en aparatos compactos de bomba y separador de aire para liquidos. | |
| FR2356064A1 (fr) | Dispositif d'etancheite pour sortie d'arbre de machine tournante | |
| FR2452699A1 (fr) | Dispositif de reniflage pour detecteur de fuites a helium a spectrometre de masse | |
| SE8004468L (sv) | Dynamisk tetningsanordning | |
| SU361437A1 (ru) | УСТРОЙСТВО дл ОПРЕДЕЛЕНИЯ ПАРЦИАЛЬНОГО СОСТАВА ГАЗОВ В ВАКУУМНОЙ КАМЕРЕ | |
| GB1395403A (en) | Diaphragm pump having a safety arrangement | |
| FR2273961A1 (fr) | Dispositif d'etancheite pour pompes alternatives ou analogues | |
| US2445293A (en) | Diaphragm pump | |
| SU836537A1 (ru) | Способ измерени давлени разреженногогАзА | |
| JPS51123906A (en) | Fluid pressure machine | |
| US2051740A (en) | Gauge for measurement of gas pressures | |
| ATE35863T1 (de) | Kuevette fuer gasanalysengeraete. | |
| SU115155A1 (ru) | Насос, работающий с подпором на всасывании | |
| SU652350A1 (ru) | Вакуумный насос | |
| SU1504527A1 (ru) | Устройство дл испытаний изделий на герметичность | |
| SU392237A1 (ru) | Способ отбора проб газа или жидкости | |
| SU812963A1 (ru) | Вакуумный насос | |
| SU779634A1 (ru) | Вакуумный насос | |
| SU135175A1 (ru) | Многоступенчатый диффузионный ртутный насос | |
| SU410272A1 (ru) | ||
| SU777514A2 (ru) | Поршневой манометр высокого давлени | |
| SU391617A1 (ru) | Расширитель для индукционного устройства | |
| ES408260A1 (es) | Perfeccionamientos en bombas de canal lateral. | |
| Manley et al. | Vacuum Leak Testing | |
| SU850909A1 (ru) | Вакуумна установка |