SU410272A1

SU410272A1 -

Info

Publication number: SU410272A1
Application number: SU1797884A
Authority: SU
Priority date: 1972-06-16
Filing date: 1972-06-16
Publication date: 1974-01-05

Description

1

Известны устройства дл динамической градуировки манометров низкого давлени абсолютным методом, содержащие образцовый манометр, рабочий диапазон которого находитс в области более высоких давлений, камеру образцового манометра, гравировочную камеру, насос и камеру, примыкающую к нему.

Известные устройства характеризуютс недостаточной точностью при высоком и сверхвысоком вакууме и ограниченным диапазоном измерений давлений.

Цель изобретени - расщирение диапазона градуировки в сторону низких давлений и повыщение точности градуировки.

Предлагаемое устройство отличаетс тем, что оно снабжено дополнительной камерой известного объема, дополнительным насосом и двум клапанами, через которые камера известного объема соединена с камерой образцового манометра и дополнительным насосом.

На чертеже изображена вакуумна система предлагаемого устройства.

Система состоит из р да последовательно соединенных камер, откачиваемых насосом 1, примыкающим к одной из них. В этой камере - 2 - устанавливаетс самое низкое давление PI,. Следующа за ней камера 3 - градуировочна - отделена от предыдущей диафрагмой 4 с отверстием, размеры и форма

которого таковы, что позвол ют рассчитать его проводимость U по известной формуле. К градуировочной камере 3, в которой устанавливаетс давление Р, значительно более высокое по сравнению с Рц, с другой стороны через диафрагму 5 известной малой проводимости присоединена последн из трех камер - 6 (известного объема Vo). Исходное давление РО в ней (значительно более высокое по сравнению с Я) измер ют образцовым абсолютным манометром 7. Градуируемые рабочие манометры (или манометрические преобразователи ) 8 присоедин ют к градуировочной камере 3. Камера 6 соединена с дополнительной

камерой 10 (известного объема Vi) через клапан 9. Камера 10 откачиваетс до давлений, пренебрежимо малых по сравнению с РО, через клапан 11 насосом 12. После предварительной откачки системы в

камере 6 устанавливают давление РО, измер емое образцовым абсолютным манометром 7. При этом клапан 9 закрыт, клапан 11 открыт. Затем закрывают клапан 11 и открывают клапан 9. Давление РО, устанавливающеес в общем объеме камер 6 и 10, рассчитывают по формуле

Ро-Р-Y -,

V o+f/i (причем Ро.Ра и уже не быть измерено непосредственно образцовым манометром 7). Тогда давление Р в градуировочной камере 3 рассчитывают по формуле

Р р,. р„.

ии v - Vi °

После этого вновь закрывают кланан 9 и открывают клапан 11, сопоставл ют расчетное значение давлени Р с сигналами градуируемых манометров 8.

Повторив описанные операции п раз, можно воспроизвести в камерах 3 и 6 достаточно низкие давлени :

( ° и v, + v

и

0

(п

Л.

+ 1

Измерив первоначально сравнительно высокое давление РО, можно при определенном

числе п описанных циклов расширени воспроизвести и рассчитать весьма низкие давлени . Например, при Vo FiP()2-«P и при давлени в камерах будут более чем в 100 раз ниже первоначальных.

Предмет изобретени

Устройство дл динамической градуировки манометров низкого давлени , содержащее образцовый манометр, рабочий диапазон которого находитс в области более высоких давлений , камеру образцового манометра, градуировочную камеру, иасос и камеру примыкающую к нему, отличающеес тем, что, с целью расщирени диапазона градуировки в сторону низких давлений и повыщени точности градуировки, оно снабжено дополнительной камерой известного объема, дополнительным насосом и двум клапанами, через которые камера известного объема соединена с камерой образцового манометра и с дополнительным насосом.

(