SU1605145A1 - Датчик абсолютного давлени и способ его вакуумировани - Google Patents
Датчик абсолютного давлени и способ его вакуумировани Download PDFInfo
- Publication number
- SU1605145A1 SU1605145A1 SU884619460A SU4619460A SU1605145A1 SU 1605145 A1 SU1605145 A1 SU 1605145A1 SU 884619460 A SU884619460 A SU 884619460A SU 4619460 A SU4619460 A SU 4619460A SU 1605145 A1 SU1605145 A1 SU 1605145A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- sensor
- getter
- heating
- temperature
- stage
- Prior art date
Links
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к контрольно-измерительной технике и может быть использовано при конструировании и изготовлении датчиков абсолютного давлени с высокими метрологическими и эксплуатационными характеристиками. Целью изобретени вл етс повышение метрологических характеристик и увеличение эксплуатационной надежности. Способ вакуумировани реализуетс путем осуществлени двухэтапного нагрева геттерного узла, при этом температура второго этапа выше, чем первого, а сами этапы разделены по времени периодом регламентированного изменени метрологических характеристик. Датчика абсолютного давлени содержит корпус вакуумируемой камеры 6, в котором выполнено сквозное отверстие дл откачки воздуха из опорной полости, и геттерный узел 7, выполненный из двух независимых геттерных элементов, температура активации одного из которых выше температуры активации другого. При активации первого геттерного элемента путем нагрева датчика до температуры TB1 геттерный состав, активиру сь, поглощает остаточные газы из опорной полости датчика. В процессе эксплуатации датчика в результате натекани (микротечей) и десорбции растворенных в металле корпуса остаточных газов давление в опорной полости повышаетс , что приводит к ухудшению метрологических характеристик. Дл восстановлени метрологических характеристик датчик подвергаетс второму этапу нагрева, что приводит к активации второго геттерного состава, который отсасывает остаточные газы в опорной полости датчика. 2 с.п.ф-лы, 1 ил.
Description
Изобретение относитс к области измеительной техники, в частности к атчикам неэлектричёских величин, и ожет быть использовано при разработе и изготовлении датчиков абсолютноо давлени .
Делью изобретени вл етс новы- 30 ение точности и срока эксплуатации, На чертеже изображен датчик аб- . солютного давлени .
Датчик содержит чувствительный эле- мент 1, который соединен посредством передаточного штока с воспринимающим измер емое давле ие элементом 3, представл ю1чим собой мембрану, жестко закрепленную в корпусе 4 и раздел ющую полость датчика на камеру с изме- дО р емой средой, подаваемой через приемный штуцер 5, и камеру б, где должно сохран тьс низкое давление остаточных газов. В дне вакуумированной камеры вмонтирован геттерный узел 7, состо - 45 ПИЙ в свою очередь из таблеток 8 и 9 геттерного материала.
Первоначальна откачка воздуха производитс через ниппель 10 и откачное отверстие 11, Дп предохранени и сации таблеток геттерного материала служит предохранительна пружина 12. Работа датчика происходит следую- образом.
При подаче через приемный штуцер измер емого давлени (разрежени ) прогибаетс воспринимающий элемент (мембрана) 3, Прогиб Дх через передаточный шток 2 передаетс на
чувствительньм элемент 1, выполненный в виде мембраны или балки, вызыва деформатщю В последнего. Чувствительные к деформации элементы, сфор- гдарованные в теле или на поверхности чувствительного элемента, например полупроводниковые или металлопленоч- ные тензорезисторы, преобразуют деформацию в пропорциональное измене- 1ше сопротивлени U.R . Тензочувст- вительные элементы включены в мостовую схему, преобразующую изменение сопротивлени в изменение напр жени - конечный аналоговый выходной сигнал UUjc.
Вакуумирование датчиков по способу осуществл етс следующим образом.
Датчик помещают в вакуумный бокс, включаетс откачна система, в результате чего в течение 1,5-2 ч давление в опорной полости датчика уменьшаетс с атмосферного (760 мм рт.ст.)-до остаточного давлени в вакуумном боксе (ниже 10 мм рт.ст.).
Откачка газов из опорной полости датчика .производитс через геттерный узел, встроенный в ниппель. После достижени давлени ниже 10 мм рт.ст. ниппельное отверстие заваривают и производ т активацию геттерного материала путем нагрева датчика до контролируемой температуры Tg , равной, например, 400-450°С, Рфем нагрева I этапа составл ет практически 5-10 мин Благодар активации геттерного материала давление в опорной полости сни-
в) перегрузочную температуру, которую
может выдержать чувствительный эле- мепт,
Так как количество остаточных газов , наход щихс в опорной полости перед вторым этапом нагрева, невелико , врем нагрева при втором этапе выбрано меньше. При этом нижний предел (0,3t) выбираетс исход из услови полной активации материала второго геттера, а верхний (0,4t,) - исход из допустимого времени нахождени чувствительного элемента при повышенной температур .
После второго этапа нагрева в результате поглощени остаточных газов
51
каетс до 10-5-10 мм рт.ст., что обеспечивает необходимую точность измерени .
В процессе эксплуататщн и хранени датчика в результате микротечей и вьщелени газов с внутренних стенок опорной полости давление в ней повышаетс . Повьшение давлени не может быть скомпенсировано геттерным материалом из-за его насыщени . При возрастании давлени в опорной полости до значений, превышающих нижний предел измерени датчика, он уже не может обеспечить необходимой точност измерени (период регламентированного изменени метрологических характеристик ) , поэтому датчик подвергаетс второму этапу нагрева.
В результате нагрева датчика активируетс геттерный состав с больпе температурой активагщи, что приводит к снижению давлени остаточных газов до уровн , позвол ющего проводить измерени с заданной точностью. Температура II этапа нагрева выбирает в 1,1-1,2 раза больше I. Пределы определены исход из того,что верхн граница нагрева (1,2 Т..) определ ет
0
1
,
0
5
0
5
0
45 , 6 материалом второго геттера давление в опорной полости снижаетс до величины 1( мм рт. ст. и менее, в результате чего работоспособность датчика абсолютного давлени восстанавливаетс .
Дополнительным преимуществом датчика вл етс расширение срока его эксгшуатапии.
Claims (2)
1.Датчик абсолютного давлени , содержащий корпус с мембраной, св занной с преобразователем, и образующий с корпусом вакуумированную камеру , в стенке которой выполнено заглушенное с наружной стороны отверстие , сообщенное каналом с первым геттерным элементом., закрепленным в ва- куумированной камере, о т л и ч а ю- щ и и с тем, что, с целью повышени точности и срока эксплуатации, в него введен второй геттерный элемент, который закреплен в вакуумированной камере и сообщен с каналом с отверстием в стенке корпуса, при этом температуры активации первого и втррого : геттерных элементов различны.
2.Способ вакуумировани датчика абсолютного давлени , заключающийс в откачке воздуха из вакуумированной камеры датчика, герметизации отверсти в стенке вакуумной камеры и последующем первом нагреве датчика давлени , отличающийс тем, что, с целью повышени надежности вакуумировани , производ т второй нагрев датчика давлени в течение времени , составл ющем 30-40% от времени первого нагрева, при этом температуру второго нагрева устанавливают на 10- 20% вьш1е температуры первого нагрева.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU884619460A SU1605145A1 (ru) | 1988-12-14 | 1988-12-14 | Датчик абсолютного давлени и способ его вакуумировани |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU884619460A SU1605145A1 (ru) | 1988-12-14 | 1988-12-14 | Датчик абсолютного давлени и способ его вакуумировани |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1605145A1 true SU1605145A1 (ru) | 1990-11-07 |
Family
ID=21414806
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU884619460A SU1605145A1 (ru) | 1988-12-14 | 1988-12-14 | Датчик абсолютного давлени и способ его вакуумировани |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1605145A1 (ru) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1999034183A1 (de) * | 1997-12-23 | 1999-07-08 | Unaxis Trading Ag | Verfahren zur herstellung von keramischen druckmesssensoren |
RU2684672C1 (ru) * | 2018-06-18 | 2019-04-11 | Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" | Инфразвуковой микробарометр |
-
1988
- 1988-12-14 SU SU884619460A patent/SU1605145A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Авторское свидетельство СССР и 1362971, Kji. г, 01 1, 7/00, 1987. * |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1999034183A1 (de) * | 1997-12-23 | 1999-07-08 | Unaxis Trading Ag | Verfahren zur herstellung von keramischen druckmesssensoren |
RU2684672C1 (ru) * | 2018-06-18 | 2019-04-11 | Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" | Инфразвуковой микробарометр |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5212989A (en) | Pressure sensor | |
CA2325903C (en) | Pressure sensor | |
US7430918B2 (en) | Amplified flow through pressure sensor | |
CA2313313C (en) | Relative pressure sensor | |
JPH04501169A (ja) | 秤に用いられる湿度制御システム | |
JPH0862073A (ja) | 圧力センサ | |
SU1605145A1 (ru) | Датчик абсолютного давлени и способ его вакуумировани | |
US3766783A (en) | Gas bulb for a gas-filled dial thermometer | |
US3496775A (en) | Pressure sensing device | |
US6425291B1 (en) | Relative-pressure sensor having a gas-filled bellows | |
RU2789600C1 (ru) | Датчик абсолютного давления, способ создания опорного объема | |
US3209587A (en) | Volumetric apparatus | |
US3922515A (en) | Temperature compensated pressure differential sensing device with switch actuated by pressure capsule | |
SU1569608A1 (ru) | Датчик абсолютного давлени | |
SU1686319A1 (ru) | Полупроводниковый датчик абсолютного давлени и способ его вакуумировани | |
JPS59214725A (ja) | 蒸気圧温度計 | |
SU1275243A1 (ru) | Способ динамической градуировки вакуумметров | |
SU1668879A1 (ru) | Датчик абсолютного давлени и способ его вакуумировани | |
JPS54149686A (en) | Pressure type temperature sensor | |
JP2019100758A (ja) | 真空室異常検出装置および隔膜真空計並びに真空室異常検出方法 | |
SU1525506A1 (ru) | Датчик абсолютного давлени и способ его изготовлени | |
JPH10111163A (ja) | 水没型水圧式水位センサ | |
JPS62291533A (ja) | 圧力検出器 | |
US3464270A (en) | Mcleod gage | |
US2596744A (en) | Moisture indicating instrument |