SU1275243A1 - Способ динамической градуировки вакуумметров - Google Patents

Abstract

Изобретение отйоситс  к измерительной технике и позвол ет повысить точность градуировки вакуумметров. Градуируемый вакууммет) 2 соединен с градуировочной камерой 4, в которую газ поступает из камеры 3 с образцовым манометром 1, Камера 4 предварительно откачиваетс  через диафрагму 6 известной проводимости и камеру 7 низкого давлени . В камере 4 устанавливаетс  некоторое давление при закрытом клапане 8. Измер ют промежутки времени регистрации показаний вакуумметра 2 при понижении давлени  в камере 4. Вторичную откачку камеры 4 производ т после заполнени  ее газом через клапан 8 до давлени , соответствующего верхнему пределу градуировки. При этом регистрируют в заданные моменты времени показани  вакуумметра 2 и образцового манометра 1. По значени м промежутков времени, соответ ствующим показани м градуируемого вакуумметра 2, совпадающим с пока (/) зани ми при первичной откачке, рассчитывают давление в камере 4. 2 ил. Wue.l

Description

Изобретение относитс  к приборостроению , в частности к способам оп ределени  метрологических характеристик вакуумметров. Цель насто щего изобретени  повьшение точности градуировки ваку умметров. На фиг, 1 показана принципиальна  схема устройства; на фиг, 2 ход изменени  давлений в камерах 3 и 4 вакуумной системы в процессе градуировки. Вакуумна  система, реализующа  предлагаемый способ динамической градуировки вакуумметров, содержит образцовый абсолютный манометр 1 и градуируемый вакуумметр (или мано метрический преобразователь) 2, при соединенные к камере 3 образцового манометра и градуировочной камере 4 (известного объема V) соответственно . Обе камеры отделены друг от дру га диафрагмой 5 известной проводимости V, (дл  молекул рного режима течени ). Необходимый перепад между давлением Р, в камере 3 и давлением в камере 4 (Р, Р ) обеспечиваетс  непрерывным течением газа из камеры 3в камеру 4, Последн   откачиваетс  через диафрагму 6 проводимости V (также дл  молекул рного режима течени ) , Диафрагма 6 отдел ет камеру 4от камеры 7 низкого давлени  примыкающей непосредственно к высоковакуумному насосу (агрегату). Давле ние в камере 7 Р «Р клапаном 8 можно перекрывать диафрагму 5, Градуировку вакуумметра 2 осуществл ют следующим образом. После предварительной откачки градуировочной камеры 4 устанавливают в ней некоторое давление Р (при этом клапан 8 закрыт), При непрерывном понижении давлени  Pj в камере 4 регистрируют по казани  градуируемого вакуумметра 2 во времени. Процесс откачки камеры 4 через диафрагму 6 описываетс  уравнением

If-Г)

Ui

(i-y

е с|/и.

(I)

1-е

- давление в камере 4 в

Д Р,о начальньй момент времени t:

ft

Измер ют промежутки времени t tg соответствующие показани м градуируемого вакуумметра 2, совпадающим с показани ми, зафиксированными в 55 процессе первичной откачки.

Сопоставл ют зарегастрированные показани  градуируемого вакуумметра 2 с соответствующими расчетными 32 q - суммарный побочный поток газа, -обусловленный  влени ми сорбции и десорбции и др, Измер ют промежутки времени t -t соответствующие зарегистрированным показани м градуируемого вакуумметра 2. Наполн ют камеры системы градуировочным газом до давлений, соответствующих верхнему пределу области градуировки (при этом клапан 8 открыт ) , и начинают ее вторичную откачку . При непрерывном понижении давлени  Р в jcaMepe 4 регистрируют показани  градуируемого вакуумметра 2 во времени, В начале вторичной откачки в заданные моменты времени t и t, измер ют по образцовому манометру 1 соответствующие давлени  Р| „ и Р, , Давление Р в 3 непрерывно понижаетс  согласно уравнению ) PrPi,o где V, - объем камеры 3, Измер емые давлени  Р, и Р, св заны между собой соотношением 4 t;-t;) PI., (3) Совместное решение уравнений 2 и 3 Св зь между давлением в камере 4 и временем t описываетс  уравнением

3

значени ми давлений fj 12 получаемыми совместным решением уравнений

(1) м (5) .

р ,io

р у. Li: tLiti

1 . р ..tlilL 0 tr -t;

-е Mf-i;)(6)

7 J

Если Pjo наивысшее давление в градуировочной камере 4, при котором можно пренебречь потоком q, то р - Р 2,0 и, 1° р iL tLitL t -t, М,о t ne(t-i; |-i Ход изменени  давлени  Р, обоих этапах градуировки показан н фиг. 2, Уравнени  6 и 8 точно описывают состо ние газа в градуировочной ка мере, так как рассчитанные по ним значени  давдениа включают необходимые поправки, св занные с побочн ми процессами газовыделени  и газопоглощени  в градуировочной каме и в градуируемом вакуумметре. Устранение необходимости внешней подачи потока газа при градуир ке дает возможность исключить пог2752434

реганости, обусловленные нестабильностью проводимости натекател  и изменением давлени  на входе в него.

5 Ликвидаци  операций регулировани  потока упрощает методику градуировки .

Предлагаемьш способ динамической 10 градуировки вакууммметров позвол  ет повысить точность не менее, чем

Claims (1)

1. до 2-3%. Формула изобретени  Способ динамической градуировки вакуумметров, заключающийс  в понижении давлени  в градуировочной камере за счет наполнени  ее газом и откачки газа через диафрагмы известной проводимости, регистрации показаний градуируемого вакуумметра и измерений давлений по образцовому вакуумметру в течение определенного периода времени, отличающий с   тем, что, с целью повьщзени  точности градуировки, вторично наполн ют градуировочную камеру газом, затем откачивают газ из камеры, в процессе откачки фиксируют промежутки времени, через которые показани  градуируемого вакуумметра совпадут с теми, которые были зарегистрированы при первичной откачке, и рассчитывают давление в градуировочной камере по известным зависимост м, /

   f

   t