SU1500894A1 - Устройство дл калибровки вакуумных течей - Google Patents

Abstract

Изобретение относитс  к приборостроению и может быть использовано дл  калибровки с повышенной точностью вакуумных течей, примен емых в технике течеискани . К откачиваемой камере 1 известного объема с присоединенными к ней образцовым вакуумметром 2 и калибруемой течью 4 с пробным газом присоедин ютс  также дополнительна  течь 5, идентична  калибруемой, но без пробного газа, и двухходовой кран 3 , причем калибруема  и дополнительна  течи подсоединены к камере через входы двухходового крана, выход которого соединен с откачиваемой камерой. Одновременное и отдельное натекание в камеру газа от калибруемой и дополнительной течей завершаетс  поочередным измерением давлени  в камере при обоих рабочих положени х крана. Это позвол ет исключить систематические погрешности, св занные с фоновыми побочными потоками различных газов, возникающими вследствие десорбционных процессов, а также из-за натеканий извне, что в свою очередь, повышает общую точность калибровки вакуумных течей. 1 ил.

Description

Изобретение относитс  к приборостроению и может быть использовано дл  калибровки поверки течей, примен емых в технике течеискани .

Целью изобретени   вл етс  повьш е- ние точности калибровки течей.

На чертеже изображена схема устройства дл  калибровки вакуумных течей.

Устройство содержит вакуумную камеру 1 с присоединенным к ней образ-, цовьм вакуумметром 2, Через двухходовой кран 3 к камере присоединены кллибруема  течь 4 и дополнительна  течь 5, идентична  калибруемой течи.

Клапан 6 и вакуумный насос 7 служат дл  откачки камеры.

Устройство работает следующим образом.

После предварительной откачк-и ка- меры 1 и течей 4 и 5 до предельного остаточного давлени  РО, измер емого по вакуумметру 2, устанавливают в момент времени t, кран 3 в среднее положение. С этого момента начинаетс  накопление газа в объемах крана 3 и течей 4 и 5. При достаточно длительном пр-оцессе накоплени  газа вакуумна  камера 1 отключена. Затем камеру 1 откачивают до давлени  Р, ,

сл

о

00

со

4

закрывают клапан 6 и открывают кран

3:

сначала в момент времени t на

При достаточно длительном процессе накоплени  газа

калибруемую течь 4, а потом после вторичной откачки камеры 1 до давлени  Рр (и закрыти  клапана 6) в момент времени t на дополнительную течь 5.

При открытии крана 3 на течь 4 давление Р , устанавливающеес  в объеме V, равно

Р

PC

212

(f- to),

(1)

где q - побочный поток любых газов, вьщелившихс  из стенок объемы накоплени ; О - поток пробного газа. При открытии крана 3 на течь 5 давление Р, устанавливающеес  в обьеме V, равно

Р РО -V о. 2)

где Р и Р 7 давлени  измер ющиес  по образцовому вакуумметру 2.

Совместное рещение уравнений (1) и (2) дает формулу дл  искомого по- тока пробного газа Q течи 4:

п ( Pl:-Pi t -t« -f - t«

i

)

(3)

dt t to-t - t.

О

Zil-P,

Zt

(4)

Повторив несколько раз измерени , определ ют среднее значение потока О и принимают его в качестве номинального значени  калибруемой течи.

Claims (1)

1. Формула изобретени 

   Устройство дл  калибровки вакуумных течей, содержащее вакуумную камеру, калибруемую течь с пробным газом, образцовый вакуумметр, клапан и вакуумный насос, причем калибруема  течь и образцовый вакуумметр подсоединены к вакуумной камере, к которой через клапан подсоединен вакуумный насос, отличающее- с   тем, что, с целью повышени  точности калибровки, в него дополнительно введены двухходовой краН и дополнительна  течь, идентична  калибруемой , не содержаща  пробного газа, при этом обе течи подсоединены к вакуумной камере через двухходовый кран. .