SU1441212A1 - Способ градуировки вакуумметров - Google Patents

Способ градуировки вакуумметров Download PDF

Info

Publication number
SU1441212A1
SU1441212A1 SU864024145A SU4024145A SU1441212A1 SU 1441212 A1 SU1441212 A1 SU 1441212A1 SU 864024145 A SU864024145 A SU 864024145A SU 4024145 A SU4024145 A SU 4024145A SU 1441212 A1 SU1441212 A1 SU 1441212A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
gas
chamber
pressure
diaphragm
calibrated
Prior art date
Application number
SU864024145A
Other languages
English (en)
Inventor
Валерий Васильевич Кузьмин
Владимир Николаевич Однорадов
Леонид Александрович Эдель
Original Assignee
Производственное Объединение Энергетического Насосостроения "Насосэнергомаш Им.60-Летия Ссср"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Производственное Объединение Энергетического Насосостроения "Насосэнергомаш Им.60-Летия Ссср" filed Critical Производственное Объединение Энергетического Насосостроения "Насосэнергомаш Им.60-Летия Ссср"
Priority to SU864024145A priority Critical patent/SU1441212A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1441212A1 publication Critical patent/SU1441212A1/ru

Links

Landscapes

  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Abstract

Изобретение относитс  к приборостроению и может быть использовано дл  определени  метрологических характеристик рабочих вакуумметров. Целью изобретени   вл етс  расширение диапазона градуировки в сторону высоких давлений. В камере 1 с присоединенными градуируемым 3 и образцовым 2 вакуумметрами воспроизвод т давление путем откачки насосом 8 через диафрагму 7 известной проводимости и одновременной подачи газа через элемент 4 меньшей проводимости из резервуара 5 с известным давлением газа. После установлени  равновеси  между поступлением газа в камеру 1 и откачкой снимают показани  градуируемого вакуумметра 3, перекрывают кран 6 откачки и в течение фиксированного времени измер ют сравнительно высокое давление по образцовому вакуумметру 2 и рассчитывают значени  давлени ,- с которыми сопоставл ют показани  градуируемого вакуумметра 3. 1 ил. Ф (Л

Description

4.
4i
ЬО
Hiii
to
Изобретение относитс  к приборостроению и может быть использовано дл  определени  метрологических характеристик рабочих вакуумметров.
Целью изобретени   вл етс  расширение диапазона градуировки..
На чертеже изображена схема вакуумной системы, реализующей предлагаемый способ градуировки вакуумметров
Вакуумна  система включает граду- ировочную камеру 1 (объема V), к которой присоединены образцовый манометр 2, измер ющий сравнительно высокие давлени , и градуируемый ваку- умметр 3, измер ющий сравнительно низкие давлени . В камеру 1 через элемент 4 малой проводимости подают градуировочньй газ из резервуара 5. С другой стороны, камера I через по- .следовательно расположенные клапан 6 и диафрагму 7 известной проводимости V (дл  молекул рного режима) откачиваетс  вакуумным насосом 8, причем
V-77Vo.
Предложенный способ реализуетс  в следующей последовательности.
После предварительной откачки системы из резервуара 5,где газ с давленем РО , подают градуировочный газ,а по еле установлени  равновеси  между до- стзтлением газа в камеру 1 из резервуара 5 через элемент 4 малой проводимости Vp и откачкой газа насосом 8 че
тельно высокое конечное давление Р, в камере 1 по образцовому манометру
PoVo( )
РК
V
(2а)
Сопоставл ют показание градуируемого вакуумметра 3 с расчетным значением давлени  Р, получаемым совместным решением уравнений (l) и (2а), в результате имеем
р- P.V
-
(3)
Повтор ют описанные операции дл  других значений давлени  Р. Воспроизведение множества этих значений возможно путем регулировани  давлени  Рр или проводимости YO, или обеих величин вместе.

Claims (1)

  1. Таким образом, осуществл етс  градуировка вакуумметров независимо от режима течени  газа через элемент малой проводимости. Это позвол ет расширить диапазон градуировки в сторону высоких давлений, причем расширенный диапазон ограничен сверху давлением , при котором соблюдаетс  молекул рный режим в диафрагме проводимости V. Формула изобретени 
    Способ градуировки вакуумметров путем воспроизведени  и расчета давлени  и сопоставлени  его с показани
    рез клапан 6 и диафрагму 7 с проводи- 35  ми градуируемого вакууадетра в камостью V производ т отсчет показани  градуируемого вакуумметра 3, соответствующего давлению Р. Равновесное течение газа контролируетс  по неизменмер е известного объема с присоединенным градуируемым вакуумметр,ом, откачиваемой через диафрагму изрест- ной проводимости, при подаче газа в
    ности показани  градуируемого вакуум- 40 нее из резервуара и с известным давметра . Данный процесс описываетс  уравнением
    лением газа через элемент меньшей проводимости, чем проводимость диаф- рагмы, отличающийс  тем, что, с целью расширени  диапазона градуировки в сторону высоких давлений , воспроизведение давлени  в камере производ т после отсчета показани  градуируемого вакуумметра, соответствующего равновесию поступлени  и откачки газа, контролируемого по неизменности показаний градуируемого вакуумметра, путем прекращени  откачки камеры и накоплени  газа, продолжающего поступать в камеру, в течение фиксированного интервала времени , по истечении которого произвр- д т измерение конечного сравнительно высокого давлени  по образцовому манометру , присоединенному к камере.
    Р -- - Р V °
    (1)
    где проводимость элемента 4 V  вл етс  непосто нной величиной, так как течение газа через него происходит в молекул рно-в зкостном режиме.
    Не измен   потока газа, поступающего в камеру 1, перекрьшают .ее откачку путем закрыти  клапана 6 и, начина  с этого момента to, производ т отсчет времени t.Давление Р в камере возрастает согласно уравнению
    р.. EiY it-to) (при р. :;pj.(2;
    По истечении фиксированного интервала времени , измер ют сравнимер е известного объема с присоединенным градуируемым вакуумметр,ом, откачиваемой через диафрагму изрест- ной проводимости, при подаче газа в
    5
    0
    5
    лением газа через элемент меньшей проводимости, чем проводимость диаф- рагмы, отличающийс  тем, что, с целью расширени  диапазона градуировки в сторону высоких давлений , воспроизведение давлени  в камере производ т после отсчета показани  градуируемого вакуумметра, соответствующего равновесию поступлени  и откачки газа, контролируемого по неизменности показаний градуируемого вакуумметра, путем прекращени  откачки камеры и накоплени  газа, продолжающего поступать в камеру, в течение фиксированного интервала времени , по истечении которого произвр- д т измерение конечного сравнительно высокого давлени  по образцовому манометру , присоединенному к камере.
SU864024145A 1986-02-19 1986-02-19 Способ градуировки вакуумметров SU1441212A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU864024145A SU1441212A1 (ru) 1986-02-19 1986-02-19 Способ градуировки вакуумметров

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU864024145A SU1441212A1 (ru) 1986-02-19 1986-02-19 Способ градуировки вакуумметров

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1441212A1 true SU1441212A1 (ru) 1988-11-30

Family

ID=21222272

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU864024145A SU1441212A1 (ru) 1986-02-19 1986-02-19 Способ градуировки вакуумметров

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1441212A1 (ru)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5808175A (en) * 1996-06-03 1998-09-15 Vanguard International Semiconductor Corporation Solving production down time with parallel low pressure sensors
US5808204A (en) * 1997-06-03 1998-09-15 Vanguard International Semiconductor Corporation Solving production downtime with parallel low pressure sensors
US6279373B1 (en) 1997-08-22 2001-08-28 Globitech, Inc. Automatic reference-pressure balance method
US20110265899A1 (en) * 2010-04-30 2011-11-03 Applied Materials, Inc. System and method for calibrating pressure gauges in a substrate processing system

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Авторское свидетельство СССР № 808889, кл. G 01 L 27/00, 1981. Авторское свидетельство СССР № 469071, кл. G 01 L 27/00, 1975. *

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5808175A (en) * 1996-06-03 1998-09-15 Vanguard International Semiconductor Corporation Solving production down time with parallel low pressure sensors
US5808204A (en) * 1997-06-03 1998-09-15 Vanguard International Semiconductor Corporation Solving production downtime with parallel low pressure sensors
US5808176A (en) * 1997-06-03 1998-09-15 Vanguard International Semiconductor Corporation Solving production downtime with parallel low pressure sensors
US6279373B1 (en) 1997-08-22 2001-08-28 Globitech, Inc. Automatic reference-pressure balance method
US20110265899A1 (en) * 2010-04-30 2011-11-03 Applied Materials, Inc. System and method for calibrating pressure gauges in a substrate processing system
US8616043B2 (en) * 2010-04-30 2013-12-31 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for calibrating pressure gauges in a substrate processing system

Similar Documents

Publication Publication Date Title
FI961337A0 (fi) Foerfarande foer korrigering av vaetskedoseringsfel, och vaetskedoseringsanordning
AU691239B2 (en) A temperature compensation method in pressure sensors
SU1441212A1 (ru) Способ градуировки вакуумметров
US4179918A (en) Method and an apparatus for measuring the carbon dioxide content in beer
SU1275243A1 (ru) Способ динамической градуировки вакуумметров
SU1046657A1 (ru) Способ измерени газопроницаемости пористых материалов
SU436253A1 (ru) Способ динамической градуировки манометров низкого давления
SU462097A1 (ru) Способ динамической гградуировки измерителей парциальных давлений
SE7610151L (sv) Elektronisk vermemengdmetare
SU767592A1 (ru) Способ градуировки вакуумметров
SU1597638A1 (ru) Способ динамической поверки манометров
SU1191858A1 (ru) Способ поверки электросорбционных датчиков влажности газа
Warshawsky Piston manometer as an absolute standard for vacuum-gauge calibration
SU1315814A1 (ru) Пьезометрический способ измерени уровн жидкости в герметичных емкост х
US3464270A (en) Mcleod gage
JPH0143246B2 (ru)
SU1307253A1 (ru) Датчик давлени
SU608059A1 (ru) Гидростатический уровнемер
WO2000008432A2 (en) Pressure measuring device
SU1462131A2 (ru) Способ градуировки вакуумметров
RU1791738C (ru) Способ поверки мембранного датчика абсолютного давлени на низкие пределы измерени
SU721706A1 (ru) Устройство дл определени параметров массопереноса
SU823916A2 (ru) Способ динамической градуировкиВАКууММЕТРОВ АбСОлюТНОгО дАВлЕНи
SU460463A1 (ru) Способ калибровки мембранного емкостного манометра
SU1252011A1 (ru) Устройство дл определени усадочных напр жений и объемной усадки керамических покрытий