SU1441212A1 - Способ градуировки вакуумметров - Google Patents
Способ градуировки вакуумметров Download PDFInfo
- Publication number
- SU1441212A1 SU1441212A1 SU864024145A SU4024145A SU1441212A1 SU 1441212 A1 SU1441212 A1 SU 1441212A1 SU 864024145 A SU864024145 A SU 864024145A SU 4024145 A SU4024145 A SU 4024145A SU 1441212 A1 SU1441212 A1 SU 1441212A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- gas
- chamber
- pressure
- diaphragm
- calibrated
- Prior art date
Links
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к приборостроению и может быть использовано дл определени метрологических характеристик рабочих вакуумметров. Целью изобретени вл етс расширение диапазона градуировки в сторону высоких давлений. В камере 1 с присоединенными градуируемым 3 и образцовым 2 вакуумметрами воспроизвод т давление путем откачки насосом 8 через диафрагму 7 известной проводимости и одновременной подачи газа через элемент 4 меньшей проводимости из резервуара 5 с известным давлением газа. После установлени равновеси между поступлением газа в камеру 1 и откачкой снимают показани градуируемого вакуумметра 3, перекрывают кран 6 откачки и в течение фиксированного времени измер ют сравнительно высокое давление по образцовому вакуумметру 2 и рассчитывают значени давлени ,- с которыми сопоставл ют показани градуируемого вакуумметра 3. 1 ил. Ф (Л
Description
4.
4i
ЬО
Hiii
to
Изобретение относитс к приборостроению и может быть использовано дл определени метрологических характеристик рабочих вакуумметров.
Целью изобретени вл етс расширение диапазона градуировки..
На чертеже изображена схема вакуумной системы, реализующей предлагаемый способ градуировки вакуумметров
Вакуумна система включает граду- ировочную камеру 1 (объема V), к которой присоединены образцовый манометр 2, измер ющий сравнительно высокие давлени , и градуируемый ваку- умметр 3, измер ющий сравнительно низкие давлени . В камеру 1 через элемент 4 малой проводимости подают градуировочньй газ из резервуара 5. С другой стороны, камера I через по- .следовательно расположенные клапан 6 и диафрагму 7 известной проводимости V (дл молекул рного режима) откачиваетс вакуумным насосом 8, причем
V-77Vo.
Предложенный способ реализуетс в следующей последовательности.
После предварительной откачки системы из резервуара 5,где газ с давленем РО , подают градуировочный газ,а по еле установлени равновеси между до- стзтлением газа в камеру 1 из резервуара 5 через элемент 4 малой проводимости Vp и откачкой газа насосом 8 че
тельно высокое конечное давление Р, в камере 1 по образцовому манометру
PoVo( )
РК
V
(2а)
Сопоставл ют показание градуируемого вакуумметра 3 с расчетным значением давлени Р, получаемым совместным решением уравнений (l) и (2а), в результате имеем
р- P.V
-
(3)
Повтор ют описанные операции дл других значений давлени Р. Воспроизведение множества этих значений возможно путем регулировани давлени Рр или проводимости YO, или обеих величин вместе.
Claims (1)
- Таким образом, осуществл етс градуировка вакуумметров независимо от режима течени газа через элемент малой проводимости. Это позвол ет расширить диапазон градуировки в сторону высоких давлений, причем расширенный диапазон ограничен сверху давлением , при котором соблюдаетс молекул рный режим в диафрагме проводимости V. Формула изобретениСпособ градуировки вакуумметров путем воспроизведени и расчета давлени и сопоставлени его с показанирез клапан 6 и диафрагму 7 с проводи- 35 ми градуируемого вакууадетра в камостью V производ т отсчет показани градуируемого вакуумметра 3, соответствующего давлению Р. Равновесное течение газа контролируетс по неизменмер е известного объема с присоединенным градуируемым вакуумметр,ом, откачиваемой через диафрагму изрест- ной проводимости, при подаче газа вности показани градуируемого вакуум- 40 нее из резервуара и с известным давметра . Данный процесс описываетс уравнениемлением газа через элемент меньшей проводимости, чем проводимость диаф- рагмы, отличающийс тем, что, с целью расширени диапазона градуировки в сторону высоких давлений , воспроизведение давлени в камере производ т после отсчета показани градуируемого вакуумметра, соответствующего равновесию поступлени и откачки газа, контролируемого по неизменности показаний градуируемого вакуумметра, путем прекращени откачки камеры и накоплени газа, продолжающего поступать в камеру, в течение фиксированного интервала времени , по истечении которого произвр- д т измерение конечного сравнительно высокого давлени по образцовому манометру , присоединенному к камере.Р -- - Р V °(1)где проводимость элемента 4 V вл етс непосто нной величиной, так как течение газа через него происходит в молекул рно-в зкостном режиме.Не измен потока газа, поступающего в камеру 1, перекрьшают .ее откачку путем закрыти клапана 6 и, начина с этого момента to, производ т отсчет времени t.Давление Р в камере возрастает согласно уравнениюр.. EiY it-to) (при р. :;pj.(2;По истечении фиксированного интервала времени , измер ют сравнимер е известного объема с присоединенным градуируемым вакуумметр,ом, откачиваемой через диафрагму изрест- ной проводимости, при подаче газа в505лением газа через элемент меньшей проводимости, чем проводимость диаф- рагмы, отличающийс тем, что, с целью расширени диапазона градуировки в сторону высоких давлений , воспроизведение давлени в камере производ т после отсчета показани градуируемого вакуумметра, соответствующего равновесию поступлени и откачки газа, контролируемого по неизменности показаний градуируемого вакуумметра, путем прекращени откачки камеры и накоплени газа, продолжающего поступать в камеру, в течение фиксированного интервала времени , по истечении которого произвр- д т измерение конечного сравнительно высокого давлени по образцовому манометру , присоединенному к камере.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU864024145A SU1441212A1 (ru) | 1986-02-19 | 1986-02-19 | Способ градуировки вакуумметров |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU864024145A SU1441212A1 (ru) | 1986-02-19 | 1986-02-19 | Способ градуировки вакуумметров |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1441212A1 true SU1441212A1 (ru) | 1988-11-30 |
Family
ID=21222272
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU864024145A SU1441212A1 (ru) | 1986-02-19 | 1986-02-19 | Способ градуировки вакуумметров |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1441212A1 (ru) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5808175A (en) * | 1996-06-03 | 1998-09-15 | Vanguard International Semiconductor Corporation | Solving production down time with parallel low pressure sensors |
US5808204A (en) * | 1997-06-03 | 1998-09-15 | Vanguard International Semiconductor Corporation | Solving production downtime with parallel low pressure sensors |
US6279373B1 (en) | 1997-08-22 | 2001-08-28 | Globitech, Inc. | Automatic reference-pressure balance method |
US20110265899A1 (en) * | 2010-04-30 | 2011-11-03 | Applied Materials, Inc. | System and method for calibrating pressure gauges in a substrate processing system |
-
1986
- 1986-02-19 SU SU864024145A patent/SU1441212A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Авторское свидетельство СССР № 808889, кл. G 01 L 27/00, 1981. Авторское свидетельство СССР № 469071, кл. G 01 L 27/00, 1975. * |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5808175A (en) * | 1996-06-03 | 1998-09-15 | Vanguard International Semiconductor Corporation | Solving production down time with parallel low pressure sensors |
US5808204A (en) * | 1997-06-03 | 1998-09-15 | Vanguard International Semiconductor Corporation | Solving production downtime with parallel low pressure sensors |
US5808176A (en) * | 1997-06-03 | 1998-09-15 | Vanguard International Semiconductor Corporation | Solving production downtime with parallel low pressure sensors |
US6279373B1 (en) | 1997-08-22 | 2001-08-28 | Globitech, Inc. | Automatic reference-pressure balance method |
US20110265899A1 (en) * | 2010-04-30 | 2011-11-03 | Applied Materials, Inc. | System and method for calibrating pressure gauges in a substrate processing system |
US8616043B2 (en) * | 2010-04-30 | 2013-12-31 | Applied Materials, Inc. | Methods and apparatus for calibrating pressure gauges in a substrate processing system |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
FI961337A0 (fi) | Foerfarande foer korrigering av vaetskedoseringsfel, och vaetskedoseringsanordning | |
AU691239B2 (en) | A temperature compensation method in pressure sensors | |
SU1441212A1 (ru) | Способ градуировки вакуумметров | |
US4179918A (en) | Method and an apparatus for measuring the carbon dioxide content in beer | |
SU1275243A1 (ru) | Способ динамической градуировки вакуумметров | |
SU1046657A1 (ru) | Способ измерени газопроницаемости пористых материалов | |
SU436253A1 (ru) | Способ динамической градуировки манометров низкого давления | |
SU462097A1 (ru) | Способ динамической гградуировки измерителей парциальных давлений | |
SE7610151L (sv) | Elektronisk vermemengdmetare | |
SU767592A1 (ru) | Способ градуировки вакуумметров | |
SU1597638A1 (ru) | Способ динамической поверки манометров | |
SU1191858A1 (ru) | Способ поверки электросорбционных датчиков влажности газа | |
Warshawsky | Piston manometer as an absolute standard for vacuum-gauge calibration | |
SU1315814A1 (ru) | Пьезометрический способ измерени уровн жидкости в герметичных емкост х | |
US3464270A (en) | Mcleod gage | |
JPH0143246B2 (ru) | ||
SU1307253A1 (ru) | Датчик давлени | |
SU608059A1 (ru) | Гидростатический уровнемер | |
WO2000008432A2 (en) | Pressure measuring device | |
SU1462131A2 (ru) | Способ градуировки вакуумметров | |
RU1791738C (ru) | Способ поверки мембранного датчика абсолютного давлени на низкие пределы измерени | |
SU721706A1 (ru) | Устройство дл определени параметров массопереноса | |
SU823916A2 (ru) | Способ динамической градуировкиВАКууММЕТРОВ АбСОлюТНОгО дАВлЕНи | |
SU460463A1 (ru) | Способ калибровки мембранного емкостного манометра | |
SU1252011A1 (ru) | Устройство дл определени усадочных напр жений и объемной усадки керамических покрытий |