RU1791738C

RU1791738C - Способ поверки мембранного датчика абсолютного давлени на низкие пределы измерени

Info

Publication number: RU1791738C
Application number: SU904877565A
Authority: RU
Inventors: Валентин Васильевич Уткин
Original assignee: Государственный научно-исследовательский институт теплоэнергетического приборостроения
Priority date: 1990-10-26
Filing date: 1990-10-26
Publication date: 1993-01-30

Abstract

Изобретение относитс к метрологии и может быть использовано дл поверки датчиков абсолютного давлени . Цель: повышение точности поверки датчиков абсолютного давлени на низкие пределы измерени при отсутствии задатчиков абсолютного давлени необходимого класса точности . Сущность изобретени : в способе, включающем создание разрежени в рабо: чей полости и определение зависимости выходного сигнала от величины рабочего хода мембранного блока, поддерживают постр- нным в процессе поверки разрежение в рабочей полости, равное разрежению в от- вакуумированной полости, а рабочий ход мембранного блока задают изменением рабочего положени датчика, при котором измен ют угол, образуемый плоскостью мембранного чувствительного элемента и горизонтальной плоскостью, и определ ют соответствующие значени выходного сигнала , которые вл ютс тарировочнымм дл данного датчика абсолютного давлени . Положительный .эффект: обеспечение высокоточной поверки датчика при его эксплуатации на объекте без использовани задатчика абсолютного давлени высокого класса точности. С

Description

Изобретение относитс к области метрологии , в частности к способам поверки датчиков абсолютного давлени на низкие пределы измерени , например, основанных на тензорезистивном эффекте.

Известны способы поверки датчиков абсолютного давлени , основанные на определении и анализе зависимости выходного сигнала датчика от величины задаваемого в рабочей полости абсолютного давлени .

Наиболее близким к изобретению вл етс способ поверки датчиков абсолютного давлени , согласно которому задают контролируемое давление с помощью манометра абсолютного давлени , фиксируют

изменение выходного сигнала и определ ют основную погрешность датчика.

Недостатком известного способа вл етс ограниченна точность поверки, обусловленна большим значением предела допускаемой основной погрешности контрольного задатчика-манометра абсолютного давлени (дл МПА-15 ТУ 50-62-78 равной ±6,65 Па), что не позвол ет обеспечить необходимое соотношение точности контрольного и повер емого прибора (1:4) при поверке датчиков класса точности 1,0: 0,5 и выше с верхними пределами измерени 0,25:0,4:0,6; 1,0 кПа.

Целью изобретени вл етс повышение точности поверки датчиков абсолютноы

го давлени на низкие пределы измерени при отсутствии задатчиков абсолютного давлени необходимого класса точности.

Цель достигаетс тем, что в способе поверки мембранного датчика абсолютного давлени на низкие пределы измерени , включающем создание разрежени в рабочей полости датчика и определение зависимости его выходного сигнала от величины рабочего мембранного блока, в рабо- чей полости датчика создают и поддерживают в процессе поверки разрежение, равное разрежению в отвакуумированной полости, а рабочий ход мембранного блока задают изменением рабочего положени датчика, при котором измен ют угол, образуемый плоскостью мембраны чувствительного элемента и .горизонтальной плоскостью, при этом дл р да дискретных значений угла фиксируют соответствующие.им значени выходного сигнала, которые вл ютс тари- ровочными дл данного датчика абсолютного давлени .

Способ реализуетс следующим образом . При изготовлении датчика абсолютно- го давлени , после его настройки по избыточному давлению и герметизации отвакуумированной полости, датчик закреп- л етс в рабочем положении в универсальной делительной головке (типа УДГ-Д-250) или другом устройстве, позвол ющем измен ть вышеуказанный угол на заданные величины с требуемой точностью. В рабочей полости датчика создаетс и поддерживаетс в процессе поверки разреже- ние, равное созданному в отвакуумированной полости, затем последовательно увеличивают угол наклона от начального положени до максимального,

соответствующего верхнему значению выходного сигнала, и фиксируют его промежут очные значениг.. Полученные данные по р ду выбранных значений выходного сигнала и соответствующие им значени угла занос тс в паспорт датчика и вл ютс тариро- вочными дл поверки в процессе эксплуатации тем же способом.

Отсутствие задатчика абсолютного давлени , высока повтор емость и стабильность показаний выходного сигнала от угла поворота датчика позвол ет обеспечить высокоточную поверку датчика при его эксплуатации на объекте. Это дает возможность регул рно контролировать техническое состо ние датчика и тем самым продлить его ресурс.

Claims

Формула изобретени Способ поверки мембранного датчика абсолютного давлени на низкие пределы измерени , включающий создание разрежени в рабочей полости датчика и определение зависимости его выходного сигнала от величины рабочего хода мембранного блока, отличающийс тем, что, с целью повышени точности поверки, в рабочей полости датчика создают и поддерживают в процессе поверки разрежение, равное разрежению в отвакуумированной полости датчика , а рабочий ход мембранного блока задают изменением рабочего положени датчика, при котором измен ют угол, образуемый плоскостью мембраны чувствительного элемента и горизонтальной плоскостью, при этом дл р да дискретных значений угла фиксируют соответствующие им значени выходного сигнала, которые вл ютс тарировочными дл данного датчика абсолютного давлени ,