SU408183A1

SU408183A1 - Способ динамической градуировки манометров низкого давления

Info

Publication number: SU408183A1
Application number: SU1787507A
Authority: SU
Inventors: В. Кузьмин В.
Priority date: 1972-05-23
Filing date: 1972-05-23
Publication date: 1973-12-10

Description

1

Изобретение относитс к вакуумной технике , в частности к градуировке манометров низкого давлени динамическим методом.

Известный способ градуировки с помощью трех камер, последовательно соединенных через отверсти с известными проводимост ми, и откачиваемых вакуумным насосом, характеризуетс недостаточной точностью; кроме того , в известном способе сложен процесс градуировки .

Цель изобретени - повышение точности и упрощение процесса градуировки.

Это достигаетс тем, что вначале посредством кланана, помещенного в камере низкого давлени , открывают одно из отверстий, расположенных между градуировочнои камерой и камерой низкого давлени , фиксируют при этом по манометру сравнени значение давлени в градуировочнои камере, затем закрывают это отверстие и нонижают давление газа в камере с образцовым манометром до значени , при котором показание манометра сравнени станет таким же, когда отверстие было открыто, и затем, вновь открыва отверстие , понижают давление в градуировочнои камере до значени , определ емого расчетом и соответствующего показанию градуируемого манометра.

На чертеже представлена схема вакуумной

системы, используемой в предлагаемом способе .

Вакуумна система состоит из трех последовательно соединенных камер, откачиваемых

насосом 1, примыкающим к одной из них - камере 2. В этой камере устанавливаетс самое низкое давление РН. Следующа за камерой 2 камера 3 - градуировочна - отделена от предыдущей двум диафрагмами 4 и 4

с отверсти ми, размеры и форма которого таковы , что позвол ют рассчитать их проводимость Ll и f/2 соответственно но известной формуле. Одну из диафрагм - 4 (U) можно открывать или закрывать с помощью кланана

(или задвижки) 5, наход щегос в камере 2. К градуировочнои камере 3, в которой устанавливаетс давление Р, значительно более высокое по сравнению с РШ с другой стороны через диафрагму 6 известной малой проводимостн Uo присоединена последн из трех камер - камера 7, исходное давлеиие РО в ко торой (значительно более высокое по сравнению с Р) измер ют образцовым абсолютным манометром 8. Градуируемые рабочие манометры (или манометрические преобразователи ) 9 присоедин ют к камере 3. Манометр 10 сравнени нрисоединен к градуировочнои камере 3. Предлагаемый способ представл ет собой

следующую последовательность операций.

После предварительной откачки системы в камере образцового манометра устанавливают давление Ра, измер емое этим манометром; при этом клапан открыт. Давление Р в градуировочной камере, фиксируемое манометром сравнени , рассчитывают ио формуле:

Р„.

t/,

Закрывают клапан. После этого в камере образцового манометра устанавливают такое давление Ро , чтобы манометр сравнени вновь зафиксировал значение Р (причем Ро и уже не может быть измерено непосредственно образцовым манометром). Тогда

t/o

Р

Ро.

и.

отсюда

Ui

I Р

Ро + Ui

Открывают клапан. Давление Р , фиксируемое манометром сравнени , рассчитывают по формуле:

0 D: f/of/i

Р -

Ро

-P..

Ui + Ut

Ui -f f/2 Ut+ f/j

Сопоставл ют расчетное значение давле П1 Р с сигналом градуируемого манометра.

Предмет изобретени

Способ динамической градуировки манометров низкого давлени с помощью вакуумной

системы, содержащей три камеры, последовательно соединенные через отверсти с известными проводимост ми: камеру с относительно высоким давлением, к которой подсоединен образцовый манометр, градуировочную камеру , к которой присоединены манометр сравнени и градуируемый манометр, и камеру низкого давлени , св занную с вакуумным насосом, отличающийс тем, что, с целью повыщени точности и упрощени процесса градуировки, вначале посредством клапана , помещенного в камере низкого давлени , открывают одно из отверстий, расположенных между градуировочной камерой и камерой низкого давлени , фиксируют при этом по

манометру сравнени значение давлени в градуировочной камере, затем закрывают это отверстие и понижают давление газа в камере с образцовым манометром до значени , при котором показание манометра сравнени станет таким же, когда отверстие было открыто, и затем, вновь открыва отверстие, понижают давление в градуировочной камере до значени , определ емого расчетом и соответствующего показанию градуируемого манометра.

7/

10