SU1569608A1 - Датчик абсолютного давлени - Google Patents

Abstract

Датчик абсолютного давлени  может быть использован дл  измерени  абсолютного давлени  с повышенной точностью. С этой целью в вакуумируемой камере размещают геттерный узел, состо щий из пластины 7, расположенной над ниппельным отверстием, и нанесенного на пластину геттерного материала 8. В результате после нагрева датчика достигаетс  более низкое остаточное давление в опорной камере. 2 ил.

Description

1

О1

Изобретение относитс  к области измерительной техники и может быть использовано при конструировании и изготовлении датчиков абсолютного давлени .

Целью изобретени   вл етс  увеличение точности измерени  за счет повышени  эффективности откачки и уменьшени  давлени  остаточных газов в ю вакуумируемой полости.

На фиг,1 представлен датчик абсолютного давлени ; на фиг.2 - вид А на фиг.1.

Датчик абсолютного давлени , в 1 который встроено устройство вакуумиро- вани , содержит с одной стороны приемный штуцер 1, через который воздействует измер емое давление РХ, корпус 2, воспринимающий элемент 3, вы- 2 полн емый в виде мембраны, передаточный шток 4, св занный с чувствительным элементом 5, ас другой стороны - вакуумируемую камеру 6, в которой содержитс  геттерный узел, выполненный 2 в виде пластины 7, на которую нанесен геттерный материал 8,

Дл  откачки воздуха в процессе изготовлени  и настройки датчиков служит ниппель 9.3

Датчик абсолютного давлени , разделенный па две полости: приемную (ограниченную приемным штуцером 1 и воспринимающим элементом - мембраной 3) и опорную-вакуумируемую (ограниченную э воспринимающим элементом 3, корпусом 2 и вакуумируемой камерой 6), помещают в откачной объем. При этом в датчике ниппель 9 открыт и через него идет откачка воздуха из опорной полости. 4

После достижени  необходимого разрежени  в откачном объеме и соответственно , в опорной полости датчика 1СГ3- рт.ст, отверстие в ниппеле 9 завариваетс , т.е. опорна  д полость изолируетс  от окружающей среды. Из-за газовыделени  внутри

опорной полости датчика разрежение

-i

в ней уменьшаетс  до величины 10 рт.ст,, Поэтому дл  поглощени  остаточных и адсорбированных газов датчик вместе с встроенным в него геттерным устройством нагревают до температуры активизации геттрг. .

ю

15 20 25

6084

го материала 8 (практически до 200- 250 С) и выдерживают его при такой температуре в течение 15-25 мин. За это врем  адсорбированные на внутренней поверхности опорной полости датчика газы успевают десорбировать- с  и поглотитьс  геттерным материалом, Благодар  тому, что геттерный материал находитс  на пластине, расположенной над отверстием, он не подвергаетс  уносу и не затрудн ет откачку воздуха и остаточных газов при ва- куумировании датчика.

Геттерный материал 8 может быть нанесен на пластину 7 в виде пленки (например, титана) или в виде спеченной композиции (титан 60-65%, магний 40-3 3%).

Работа датчика абсолютного давлени  происходит следующим образом.

При изменении давлени  РХ усилие, развиваемое воспринимающим элементом 3, передаетс  на чувствительный элемент 5.

Усилие, развиваемое чувствительным элементом 5 от давлени  в опорной камере Р , вычитаетс  из усили  от давлени  Р.

Чем меньше давление Р0 , тем точнее измерение абсолютного давлени .

Изобретение позвол ет создавать в опорной камере более низкие давлени  .

Claims (1)

1. Формула изобретени 

   Датчик абсолютного давлени , содержащий корпус, мембранный чувствительный элемент, который раздел ет корпус на опорную и измерительную камеру , ниппель с отверстием, закрепленный в сгенке опорной камеры, и расположенный в опорной камере геттерный узел, отличающийс  тем, что, с целью увеличени  точности измерени  за счет повышени  эффективности откачки и уменьшени  давлени  остаточных газов, в нем геттерный узел выполнен в виде пластины, котора  закреплена на внутренней стенке опорной камеры над отверстием ниппел , причем на пластину нанесен геттерный материал .

   Фиг. Z